Parte superior e inferior em meia-lua de grafite para forno de SiC

Descrição curta:

A VET Energy é uma fabricante e fornecedora profissional de componentes essenciais para fornos epitaxiais de carboneto de silício. Nossaparte meia-lua de grafite Utiliza grafite de alta pureza combinada com tecnologia avançada de revestimento CVD. É projetado para ambientes epitaxiais de alta temperatura e alta corrosão. O grafite de alta pureza confere ao componente excelente resistência a altas temperaturas (>1600°C) e estabilidade térmica, garantindo a uniformidade do campo térmico; o revestimento CVD forma uma densa camada protetora na superfície por meio da tecnologia CVD, melhorando significativamente as propriedades antioxidantes e anticorrosivas e estendendo a vida útil em mais de 3 vezes.

 


  • Material:Grafite isostático de alta pureza
  • Purificação: <5 ppm
  • Revestimento CVD:SiC, TaC, Carbono Pirolítico
  • Personalização:Padrão ou OEM disponível
  • Detalhes do produto

    Etiquetas de produtos

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    Peça meia-lua de grafiteé um componente essencial utilizado em processos de fabricação de semicondutores, especialmente em equipamentos epitaxiais de SiC. Utilizamos nossa tecnologia patenteada para fabricar a peça em formato de meia-lua com altíssima pureza, boa uniformidade de revestimento e excelente vida útil, além de alta resistência química e estabilidade térmica.

    A VET Energy é a verdadeira fabricante de produtos personalizados de grafite e carboneto de silício com revestimento CVD, podendo fornecer diversas peças personalizadas para a indústria de semicondutores e fotovoltaica. Nossa equipe técnica é formada por instituições de pesquisa nacionais de ponta, podendo fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

    Desenvolvemos continuamente processos avançados para fornecer materiais mais avançados e desenvolvemos uma tecnologia patenteada exclusiva, que pode tornar a ligação entre o revestimento e o substrato mais firme e menos propensa ao descolamento.

    Características dos nossos produtos:

    1. Resistência à oxidação em altas temperaturas de até 1700℃.
    2. Alta pureza e uniformidade térmica
    3. Excelente resistência à corrosão: ácidos, álcalis, sais e reagentes orgânicos.
    4. Alta dureza, superfície compacta, partículas finas.
    5. Maior vida útil e maior durabilidade

    DCV SiC薄膜基本物理性能

    Propriedades físicas básicas do SiC CVDrevestimento

    性质 / Propriedade

    典型数值 / Valor típico

    晶体结构 / Estrutura Cristalina

    Fase β da FCC多晶, 主要为(111)取向

    密度 / Densidade

    3,21 g/cm³

    硬度 / Dureza

    2500 unidades (carga de 500g)

    晶粒大小 / Tamanho do grão

    2~10μm

    纯度 / Pureza Química

    99,99995%

    热容 / Capacidade de Calor

    640 J·kg-1·K-1

    升华温度 / Temperatura de Sublimação

    2700℃

    抗弯强度 / Resistência à flexão

    415 MPa RT 4 pontos

    杨氏模量 / Módulo de Young

    430 Gpa 4pt curva, 1300℃

    导热系数 / TermaeuCondutividade

    300 W·m-1·K-1

    热膨胀系数 / Expansão Térmica (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy Graphite

    2

    A VET Energy é uma fabricante profissional com foco em P&D e produção de materiais avançados de alta qualidade, como grafite, carboneto de silício, quartzo, bem como tratamento de materiais como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc. Os produtos são amplamente utilizados em energia fotovoltaica, semicondutores, novas energias, metalurgia, etc.

    Nossa equipe técnica é formada por importantes instituições de pesquisa nacionais e pode fornecer soluções de materiais mais profissionais para você.

    As vantagens da VET Energy incluem:
    • Fábrica própria e laboratório profissional;
    • Níveis de pureza e qualidade líderes do setor;
    • Preço competitivo e prazo de entrega rápido;
    • Múltiplas parcerias industriais em todo o mundo;

    Convidamos você a visitar nossa fábrica e laboratório a qualquer momento!

    研发团队

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