Горњи и доњи графитни део у облику полумесеца за SiC пећ

Кратак опис:

VET Energy је професионални произвођач и добављач основних компоненти силицијум-карбидних епитаксијалних пећи. Нашграфитни део полумесеца Користи графит високе чистоће у комбинацији са напредном CVD технологијом премазивања. Дизајниран је за високотемпературна и веома корозивна епитаксијална окружења. Графит високе чистоће даје компоненти одличну отпорност на високе температуре (>1600) и термичку стабилност, обезбеђујући уједначеност термичког поља; CVD премаз формира густи заштитни слој на површини кроз CVD технологију, значајно побољшавајући својства против оксидације и нагризања, и продужавајући век трајања за више од 3 пута.

 


  • Материјал:Изостатички графит високе чистоће
  • Пречишћавање: <5 ппм
  • CVD премаз:SiC, TaC, пиролитички угљеник
  • Прилагођавање:Стандардно или ОЕМ доступно
  • Детаљи производа

    Ознаке производа

    СЗДФГЗДФЦ
    сАДфСДфц
    ФДВСДЦВКСЦВ
    сАДфСДфц

    Графитни полумесецје кључна компонента која се користи у процесима производње полупроводника, посебно за SiC епитаксијалну опрему. Користимо нашу патентирану технологију да бисмо направили полумесец са изузетно високом чистоћом, добром уједначеношћу премаза и одличним веком трајања, као и високом хемијском отпорношћу и термичком стабилношћу.

    VET Energy је прави произвођач прилагођених производа од графита и силицијум карбида са CVD премазом, може да испоручи разне прилагођене делове за полупроводничку и фотонапонску индустрију. Наш технички тим долази из водећих домаћих истраживачких институција и може вам пружити професионалнија материјална решења.

    Континуирано развијамо напредне процесе како бисмо обезбедили напредније материјале и развили смо ексклузивну патентирану технологију која може учинити везу између премаза и подлоге чвршћом и мање склоном одвајању.

    Карактеристике наших производа:

    1. Отпорност на оксидацију на високим температурама до 1700 ℃.
    2. Висока чистоћа и термичка униформност
    3. Одлична отпорност на корозију: киселине, алкалије, соли и органски реагенси.
    4. Висока тврдоћа, компактна површина, фине честице.
    5. Дужи век трајања и издржљивији

    КВБ SiC薄膜基本物理性能

    Основна физичка својства CVD SiC-апремаз

    性质 / Некретнина

    典型数值 / Типична вредност

    晶体结构 / Кристална структура

    FCC β фаза多晶, 主要为(111)取向

    密度 / Густина

    3,21 г/цм³

    硬度 / Тврдоћа

    2500 维氏硬度 (500г оптерећење)

    晶粒大小 / Величина зрна

    2~10μm

    纯度 / Хемијска чистоћа

    99,99995%

    热容 / Топлотни капацитет

    640 Ј·кг-1·К-1

    升华温度 / Температура сублимације

    2700℃

    抗弯强度 / Чврстоћа на савијање

    415 MPa RT 4-тачкасти

    杨氏模量 / Јангов модул еластичности

    430 Gpa, 4pt, 1300℃

    导热系数 / ТермалПроводљивост

    300W·m-1·К-1

    热膨胀系数 / Термичко ширење (CTE)

    4,5×10-6K-1

    1

    2

    VET Energy Graphite

    2

    VET Energy је професионални произвођач фокусиран на истраживање и развој и производњу врхунских напредних материјала као што су графит, силицијум карбид, кварц, као и на обраду материјала попут SiC премаза, TaC премаза, премаза од стакластог угљеника, пиролитичког угљеничног премаза итд. Производи се широко користе у фотонапонској индустрији, полупроводничкој индустрији, новој енергији, металургији итд.

    Наш технички тим долази из водећих домаћих истраживачких институција и може вам пружити професионалнија материјална решења.

    Предности VET Energy укључују:
    • Сопствена фабрика и професионална лабораторија;
    • Водећи нивои чистоће и квалитета у индустрији;
    • Конкурентна цена и брза испорука;
    • Вишеструка индустријска партнерства широм света;

    Позивамо вас да посетите нашу фабрику и лабораторију у било које време!

    研发团队

    公司客户


  • Претходно:
  • Следеће:

  • Онлајн ћаскање на WhatsApp-у!