Part superior i inferior de mitja lluna de grafit per a forn de SiC

Descripció breu:

VET Energy és un fabricant i proveïdor professional de components bàsics de forns epitaxials de carbur de silici. El nostrepart de mitja lluna de grafit utilitza un grafit d'alta puresa combinat amb una tecnologia avançada de recobriment CVD. Està dissenyat per a entorns epitaxials d'alta temperatura i altament corrosius. El grafit d'alta puresa proporciona al component una excel·lent resistència a altes temperatures (>1600℃) i estabilitat tèrmica, garantint la uniformitat del camp tèrmic; el recobriment CVD forma una densa capa protectora a la superfície mitjançant la tecnologia CVD, millorant significativament les propietats antioxidants i antigravades, i allargant la vida útil en més de 3 vegades.

Material:Grafit isostàtic d'alta puresa

Purificació: <5 ppm

Recobriment CVD:SiC, TaC, carboni pirolític

Personalització:Estàndard o OEM disponible

Envia'ns un correu electrònic Descarrega com a PDF

Detall del producte

Etiquetes de producte

Part de mitja lluna de grafités un component clau utilitzat en els processos de fabricació de semiconductors, especialment per a equips epitaxials de SiC. Utilitzem la nostra tecnologia patentada per fabricar la peça de mitja lluna amb una puresa extremadament alta, una bona uniformitat de recobriment i una excel·lent vida útil, així com propietats d'alta resistència química i estabilitat tèrmica.

VET Energy és el fabricant real de productes personalitzats de grafit i carbur de silici amb recobriment CVD, i pot subministrar diverses peces personalitzades per a la indústria dels semiconductors i la fotovoltaica. El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i pot proporcionar-vos solucions de materials més professionals.

Desenvolupem contínuament processos avançats per oferir materials més avançats i hem elaborat una tecnologia patentada exclusiva que pot fer que la unió entre el recobriment i el substrat sigui més ferma i menys propensa al despreniment.

Característiques dels nostres productes:

1. Resistència a l'oxidació a altes temperatures fins a 1700 ℃.
2. Alta puresa i uniformitat tèrmica
3. Excel·lent resistència a la corrosió: àcids, àlcalis, sals i reactius orgànics.
4. Alta duresa, superfície compacta, partícules fines.
5. Vida útil més llarga i més durador

CVD SiC薄膜基本物理性能 Propietats físiques bàsiques del SiC CVDrecobriment
性质 / Propietat	典型数值 / Valor típic
晶体结构 / Estructura cristal·lina	Fase β de la FCC多晶，主要为（111）取向
密度 / Densitat	3,21 g/cm³
硬度 / Duresa	2500 维氏硬度（càrrega de 500g）
晶粒大小 / Mida del gra	2~10 μm
纯度 / Puresa química	99,99995%
热容 / Capacitat calorífica	640 J·kg^-1·K^-1
升华温度 / Temperatura de sublimació	2700 ℃
抗弯强度 / Resistència a la flexió	415 MPa RT 4 punts
杨氏模量 / Mòdul de Young	Corba de 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
导热系数 / TermalConductivitat	300 W·m^-1·K^-1
热膨胀系数 / Expansió tèrmica (CTE)	4,5 × 10^-6K^-1

VET Energy és un fabricant professional centrat en la R+D i la producció de materials avançats d'alta gamma com ara grafit, carbur de silici, quars, així com el tractament de materials com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc. Els productes s'utilitzen àmpliament en fotovoltaica, semiconductors, noves energies, metal·lúrgia, etc.

El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.

Els avantatges energètics de VET inclouen:
• Fàbrica pròpia i laboratori professional;
• Nivells de puresa i qualitat líders en la indústria;
• Preu competitiu i termini de lliurament ràpid;
• Múltiples associacions industrials a tot el món;

Us convidem a visitar la nostra fàbrica i laboratori en qualsevol moment!