-
Zergatik den SiC kontsola-paleta funtsezkoa LPCVD labe modernoen prozesamendurako
Erdieroaleen fabrikazioa gailu-geometria txikiagoetarantz, oblea-errendimendu handiagoarantz eta kutsadura-kontrolerako estandar gero eta zorrotzagoetarantz eboluzionatzen duen heinean, prozesatzeko ekipamendu termikoek aurrekaririk gabeko ingeniaritza-erronkei aurre egin behar diete. LPCVD, oxidazio termikoa, dopanteen difusioa bezalako prozesuak, ...Irakurri gehiago -
Zer da SiC difusio-hodi bat? Funtzioak, materialak eta erdieroaleen prozesuen aplikazioak
Erdieroaleen fabrikazioan, tenperatura altuko prozesamendu termikoa ezinbestekoa da obleen fabrikazio-urratsetarako, hala nola oxidazioa, difusioa, erreketa eta LPCVD deposizioa. Prozesu hauek normalean 800 °C eta 1200 °C artean funtzionatzen duten erdieroaleen labe-sistemen barruan egiten dira, non tenperatura...Irakurri gehiago -
Zer da grafito porotsua? Ezaugarriak, aplikazioak eta erdieroaleen abantailak
Sarrera: Zergatik den garrantzitsua grafito porotsua erdieroaleen fabrikazioan Erdieroaleen fabrikazioa nodo aurreratuetara eta erdieroale konposatuetara (SiC bezalakoetara) jotzen duen heinean, materialen eskakizunak gero eta zorrotzagoak dira. Tenperatura altuko egonkortasuna, purutasun ultra-handia eta gas zehatza...Irakurri gehiago -
Zein dira grafito-feltroaren aplikazioak erdieroaleen prozesuetan?
Erdieroaleen fabrikazioa muturreko zehaztasunaren eta muturreko inguruneen arteko elkargunean funtzionatzen du. Epitaxia, kristalen hazkundea eta tenperatura altuko errekuntza bezalako prozesuek 1000 °C-tik gorako tenperaturak gainditzen dituzte normalean, eta gorabehera termiko txikiek ere filmaren lodieraren aldakuntza neurgarriak eragin ditzakete...Irakurri gehiago -
Nola funtzionatzen dute grafitozko plaka bipolarrek erregai-piletan?
I. Grafitozko Plaka Bipolarren Zeregin Zentrala Industriaren Boomean "Karbono bikoitzaren" helburuen eta hidrogeno ekonomiaren garapen azkarraren testuinguruan, erregai-pilak (batez ere PEM erregai-pilak) erakustaldi-fasetik aplikazio handira igarotzen ari dira. Bidaiarien garraiotik...Irakurri gehiago -
Zein dira grafito-feltroaren aplikazioak erregai-pilen teknologian?
Etengabe eboluzionatzen ari diren energia-sistema elektrokimikoetan, grafito-feltroa karbono-oinarritutako material polifazetiko gisa nabarmentzen da, egiturazko, elektriko eta kimiko propietate bereziak dituena. Erregai-pila arkitektura guztiek ez duten arren grafito-feltroa unibertsalki erabiltzen, bere eginkizuna —batez ere erregai-pila aurreratuetan—...Irakurri gehiago -
Erdieroaleen Grafitozko Euskarriak: Erdieroaleen Fabrikazioan Prozesuko Osagai Kritikoak
Erdieroaleen fabrikazio prozesuan, funtsezko material eta osagai askok zehazten dute prozesuaren egonkortasuna eta produktuaren etekina. Erdieroaleen grafitozko euskarriak ez dira wafer edo jomugak bezainbesteko arreta jasotzen, baina etengabe funtsezko zeregina dute tenperatura altuko prozesamenduan, epitaxian...Irakurri gehiago -
Zergatik da ezinbestekoa CVD estalduraren foku-eraztun bat grabatzeko zehaztasun handiko erdieroaleen grabatzeko?
CVD estalduraren foku-eraztunek funtsezko zeregina dute erdieroaleen grabatu modernoan, plasma-mugak egonkortuz eta oblean zehar ioien banaketa uniformea bermatuz. Artikulu honek azaltzen du zergatik diren ezinbestekoak nodo aurreratuentzat, grabatuaren uniformetasunean, CD kontrolean, kutsaduran duten eragina azpimarratuz...Irakurri gehiago -
Kristal bakarreko hazkuntza-labearen muina: grafitozko eremu termiko puruen sekretuak agerian uzten
Kristal bakarreko hazkuntza-labe baten muina kristalen ekoizpenean funtsezko ekipamendua da, eta haren eremu termikoaren diseinuak zuzenean eragiten dio kristalaren purutasunari eta kalitateari. Labearen osagai zentral gisa, purutasun handiko grafitozko eremu termikoak eroankortasun termiko bikaina eskaintzen du,...Irakurri gehiago