-
Kāpēc SiC konsoles lāpstiņa ir kritiski svarīga mūsdienu LPCVD krāsns apstrādei
Pusvadītāju ražošanai attīstoties virzienā uz mazākām ierīču ģeometrijām, lielāku vafeļu caurlaidspēju un arvien stingrākiem piesārņojuma kontroles standartiem, termiskās apstrādes iekārtas saskaras ar vēl nepieredzētiem inženiertehniskiem izaicinājumiem. Tādi procesi kā LPCVD, termiskā oksidācija, piemaisījumu difūzija, ...Lasīt vairāk -
Kas ir SiC difūzijas caurule? Funkcijas, materiāli un pusvadītāju procesa pielietojumi
Pusvadītāju ražošanā augstas temperatūras termiskā apstrāde ir būtiska tādiem vafeļu izgatavošanas posmiem kā oksidēšana, difūzija, atkvēlināšana un LPCVD nogulsnēšana. Šie procesi parasti tiek veikti pusvadītāju krāsns sistēmās, kas darbojas temperatūrā no 800 °C līdz 1200 °C, kur rūdīšana...Lasīt vairāk -
Kas ir porains grafīts? Īpašības, pielietojums un pusvadītāju priekšrocības
Ievads: Kāpēc porains grafīts ir svarīgs pusvadītāju ražošanā? Pusvadītāju ražošanā virzoties uz progresīviem mezgliem un saliktiem pusvadītājiem (piemēram, SiC), materiālu prasības ir kļuvušas arvien stingrākas. Augstas temperatūras stabilitāte, īpaši augsta tīrība un precīza gāzes padeve...Lasīt vairāk -
Kādi ir grafīta filca pielietojumi pusvadītāju procesos?
Pusvadītāju ražošana notiek ārkārtējas precizitātes un ekstremālu vides apstākļu krustpunktā. Tādi procesi kā epitaksija, kristālu augšana un augstas temperatūras atkvēlināšana regulāri pārsniedz 1000 °C, kur pat nelielas termiskās svārstības var izraisīt izmērāmas plēves biezuma variācijas...Lasīt vairāk -
Kā grafīta bipolārās plāksnes darbojas degvielas elementos?
I. Grafīta bipolāro plākšņu centrālā loma rūpniecības uzplaukumā. Ņemot vērā "divkāršā oglekļa" mērķus un straujo ūdeņraža ekonomikas attīstību, degvielas elementi (īpaši PEM degvielas elementi) pāriet no demonstrācijas fāzes uz plaša mēroga pielietojumu. No pasažieru...Lasīt vairāk -
Kādi ir grafīta filca pielietojumi degvielas elementu tehnoloģijā?
Pastāvīgi attīstošajās elektroķīmiskajās enerģijas sistēmās grafīta filcs izceļas kā daudzpusīgs uz oglekļa bāzes veidots materiāls ar unikālām strukturālām, elektriskām un ķīmiskām īpašībām. Lai gan ne visās degvielas elementu arhitektūrās grafīta filcs tiek izmantots visur, tā loma — īpaši progresīvās degvielas elementu...Lasīt vairāk -
Pusvadītāju grafīta armatūra: kritiski svarīgi procesa komponenti pusvadītāju ražošanā
Pusvadītāju ražošanas procesā daudzi galvenie materiāli un komponenti nosaka procesa stabilitāti un produkta ražu. Lai gan pusvadītāju grafīta stiprinājumiem netiek pievērsta tik liela uzmanība kā plāksnēm vai mērķiem, tiem vienmēr ir būtiska loma augstas temperatūras apstrādē, epitaksijā...Lasīt vairāk -
Kāpēc CVD pārklājuma fokusēšanas gredzens kodināšanai ir kritiski svarīgs augstas precizitātes pusvadītāju kodināšanai?
CVD pārklājuma fokusa gredzeniem ir izšķiroša nozīme mūsdienu pusvadītāju kodināšanā, stabilizējot plazmas robežas un nodrošinot vienmērīgu jonu sadalījumu visā plāksnē. Šajā rakstā ir paskaidrots, kāpēc tie ir svarīgi progresīviem mezgliem, izceļot to ietekmi uz kodināšanas vienmērīgumu, CD kontroli, piesārņojumu...Lasīt vairāk -
Monokristāla augšanas krāsns kodols: augstas tīrības pakāpes grafīta termisko lauku noslēpumu atklāšana
Monokristāla audzēšanas krāsns kodols ir galvenais kristālu ražošanas aprīkojums, un tās termiskā lauka konstrukcija tieši ietekmē kristāla tīrību un kvalitāti. Kā krāsns centrālā sastāvdaļa augstas tīrības pakāpes grafīta termiskais lauks piedāvā izcilu siltumvadītspēju, augstu...Lasīt vairāk