-
Kodėl SiC konsolinis mentelis yra labai svarbus šiuolaikinei LPCVD krosnies apdorojimui?
Puslaidininkių gamybai vystantis link mažesnių įrenginių geometrijų, didesnio plokštelių našumo ir vis griežtesnių užterštumo kontrolės standartų, terminio apdorojimo įranga susiduria su precedento neturinčiais inžineriniais iššūkiais. Tokie procesai kaip LPCVD, terminė oksidacija, legiruojančių medžiagų difuzija...Skaityti daugiau -
Kas yra SiC difuzijos vamzdelis? Funkcijos, medžiagos ir puslaidininkių procesų taikymas
Puslaidininkių gamyboje aukštos temperatūros terminis apdorojimas yra būtinas tokiems plokštelių gamybos etapams kaip oksidacija, difuzija, atkaitinimas ir LPCVD nusodinimas. Šie procesai paprastai atliekami puslaidininkių krosnių sistemose, veikiančiose 800–1200 °C temperatūroje, kur grūdinimas...Skaityti daugiau -
Kas yra akytasis grafitas? Savybės, pritaikymas ir puslaidininkių pranašumai
Įvadas: Kodėl akytasis grafitas yra svarbus puslaidininkių gamyboje. Puslaidininkių gamybai pereinant prie pažangių mazgų ir sudėtinių puslaidininkių (pvz., SiC), medžiagų reikalavimai tampa vis griežtesni. Aukštos temperatūros stabilumas, itin didelis grynumas ir tikslus dujų...Skaityti daugiau -
Kokios yra grafito veltinio panaudojimo galimybės puslaidininkių procesuose?
Puslaidininkių gamyba vyksta itin didelio tikslumo ir ekstremalių aplinkų sankirtoje. Tokie procesai kaip epitaksija, kristalų augimas ir aukštoje temperatūroje atkaitinimas įprastai viršija 1000 °C, kur net ir nedideli terminiai svyravimai gali lemti išmatuojamus plėvelės storio pokyčius...Skaityti daugiau -
Kaip grafito bipolinės plokštės veikia kuro elementuose?
I. Grafito bipolinių plokščių pagrindinis vaidmuo pramonės bumo metu. Atsižvelgiant į „dvigubos anglies“ tikslus ir sparčią vandenilio ekonomikos plėtrą, kuro elementai (ypač PEM kuro elementai) pereina iš demonstracinės fazės į didelio masto taikymą. Nuo keleivinių...Skaityti daugiau -
Kokios yra grafito veltinio panaudojimo galimybės kuro elementų technologijoje?
Nuolat besivystančiose elektrocheminėse energijos sistemose grafito veltinis išsiskiria kaip universali anglies pagrindo medžiaga, pasižyminti unikaliomis struktūrinėmis, elektrinėmis ir cheminėmis savybėmis. Nors ne visose kuro elementų architektūrose grafito veltinis naudojamas visuotinai, jo vaidmuo, ypač pažangiuose kuro elementuose...Skaityti daugiau -
Puslaidininkių grafito tvirtinimo detalės: svarbiausi puslaidininkių gamybos proceso komponentai
Puslaidininkių gamybos procese daugelis pagrindinių medžiagų ir komponentų lemia proceso stabilumą ir produkto išeigą. Nors puslaidininkių grafito tvirtinimo detalėms neskiriama tiek daug dėmesio, kiek plokštelėms ar taikiniams, jos nuolat atlieka gyvybiškai svarbų vaidmenį aukštos temperatūros apdorojime, epitaksijoje...Skaityti daugiau -
Kodėl CVD dangos fokusavimo žiedas ėsdinimui yra labai svarbus atliekant didelio tikslumo puslaidininkių ėsdinimą?
CVD dangos fokusavimo žiedai atlieka itin svarbų vaidmenį šiuolaikiniame puslaidininkių ėsdinime, stabilizuodami plazmos ribas ir užtikrindami vienodą jonų pasiskirstymą visoje plokštelėje. Šiame straipsnyje paaiškinama, kodėl jie yra būtini pažangiems mazgams, pabrėžiant jų poveikį ėsdinimo vienodumui, CD kontrolei, užterštumui...Skaityti daugiau -
Monokristalinės augimo krosnies šerdis: atskleisti didelio grynumo grafito terminių laukų paslaptis
Monokristalų auginimo krosnies šerdis yra pagrindinė kristalų gamybos įranga, o jos terminio lauko konstrukcija tiesiogiai veikia kristalo grynumą ir kokybę. Kaip pagrindinis krosnies komponentas, didelio grynumo grafito terminis laukas pasižymi puikiu šilumos laidumu, dideliu...Skaityti daugiau