-
Af hverju SiC Cantilever Paddle er mikilvæg fyrir nútíma LPCVD ofnvinnslu
Þar sem framleiðsla hálfleiðara þróast í átt að minni tækjaformum, meiri afköstum í skífum og sífellt strangari mengunarvarnastöðlum, stendur varmavinnslubúnaður frammi fyrir fordæmalausum verkfræðilegum áskorunum. Ferlar eins og LPCVD, varmaoxun, dreifing efnis, ...Lesa meira -
Hvað er SiC dreifingarrör? Virkni, efni og notkun hálfleiðaraferla
Í framleiðslu hálfleiðara er háhitastigsvinnsla nauðsynleg fyrir skref eins og oxun, dreifingu, glæðingu og LPCVD-útfellingu í skífum. Þessi ferli eru venjulega framkvæmd inni í hálfleiðaraofnakerfum sem starfa á milli 800°C og 1200°C, þar sem hitastig...Lesa meira -
Hvað er porós grafít? Eiginleikar, notkun og kostir hálfleiðara
Inngangur: Af hverju gegndræpt grafít skiptir máli í framleiðslu hálfleiðara Þar sem framleiðsla hálfleiðara færist í átt að háþróaðri hnúta og samsettum hálfleiðurum (eins og SiC) hafa kröfur um efni orðið sífellt strangari. Stöðugleiki við háan hita, afar mikill hreinleiki og nákvæm gasf...Lesa meira -
Hver eru notkunarmöguleikar grafítfilts í hálfleiðaraferlum?
Framleiðsla hálfleiðara starfar á mótum mikillar nákvæmni og öfgafullra umhverfa. Ferlar eins og epitaxía, kristalvöxtur og háhitaglæðing fara reglulega yfir 1000°C, þar sem jafnvel minniháttar hitasveiflur geta leitt til mælanlegra breytinga á filmuþykkt...Lesa meira -
Hvernig virka tvípólar grafítplötur í eldsneytisfrumum?
I. Lykilhlutverk tvípóla grafítplatna í iðnaðaruppsveiflunni Í ljósi markmiða um „tvíþætt kolefni“ og hraðrar þróunar vetnishagkerfisins eru eldsneytisfrumur (sérstaklega PEM eldsneytisfrumur) að færast úr sýnikennslufasa yfir í stórfellda notkun. Frá farþegaflutningum...Lesa meira -
Hver eru notkunarmöguleikar grafítfilts í eldsneytisfrumutækni?
Í síbreytilegum rafefnafræðilegum orkukerfum stendur grafítfilt upp úr sem fjölhæft kolefnisbundið efni með einstaka byggingar-, rafmagns- og efnafræðilega eiginleika. Þó að ekki allar eldsneytisfrumuhönnun noti grafítfilt almennt, þá er hlutverk þess - sérstaklega í háþróaðri eldsneytisfrumugerð ...Lesa meira -
Grafítfestingar úr hálfleiðurum: Mikilvægir íhlutir í framleiðslu hálfleiðara
Í framleiðsluferli hálfleiðara ákvarða mörg lykilefni og íhlutir stöðugleika ferlisins og afköst afurða. Þó að grafítfestingar fyrir hálfleiðara fái ekki eins mikla athygli og skífur eða skotmörk, gegna þær stöðugt mikilvægu hlutverki í háhitavinnslu, epitaxiu...Lesa meira -
Hvers vegna er CVD húðunarfókushringur fyrir etsun mikilvægur fyrir nákvæma hálfleiðaraetsun?
Fókushringir fyrir CVD-húðun gegna mikilvægu hlutverki í nútíma hálfleiðaraetsun með því að koma á stöðugleika plasmamörkum og tryggja jafna jónadreifingu yfir skífuna. Þessi grein útskýrir hvers vegna þeir eru nauðsynlegir fyrir háþróaða hnúta og leggur áherslu á áhrif þeirra á etsunareinsleitni, geislameðferðarstjórnun, mengun...Lesa meira -
Kjarni einkristallavaxtarofnsins: Að afhjúpa leyndarmál hreinleika grafítvarmasviða
Kjarninn í einkristalla vaxtarofni er lykilbúnaðurinn í kristallaframleiðslu og hönnun hitasviðs hans hefur bein áhrif á hreinleika og gæði kristallsins. Sem aðalþáttur ofnsins býður hitasviðið með mikilli hreinleika grafít upp á framúrskarandi varmaleiðni, mikla...Lesa meira