-
ಪ್ರಕರಣ ಅಧ್ಯಯನ: ಜರ್ಮನ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಫರ್ನೇಸ್ ಸಿ/ಸಿ ಕಾಂಪೋಸಿಟ್ ಹಾಟ್ ಝೋನ್ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್: ಆಂಟಿ-ಡಿಫಾರ್ಮೇಶನ್ ಮತ್ತು ಲೈಟ್ವೈಟಿಂಗ್
ಕೇಸ್ ಸ್ಟಡಿ | ಹಾಟ್ ಝೋನ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ಜರ್ಮನ್ ವ್ಯಾಕ್ಯೂಮ್ ಫರ್ನೇಸ್ ಸಿ/ಸಿ ಕಾಂಪೋಸಿಟ್ ಹಾಟ್ ಝೋನ್ ಅಪ್ಗ್ರೇಡ್: ಆಂಟಿ-ಡಿಫಾರ್ಮೇಶನ್ ಮತ್ತು ಲೈಟ್ವೈಟಿಂಗ್ ಡಾ. ವಾಂಗ್ ಅವರಿಂದ | ಸಿಟಿಒ, ಹಾಟ್ ಝೋನ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ವಿಭಾಗ, ವಿಇಟಿ ಎನರ್ಜಿ ಆಗಸ್ಟ್ 27, 2026 -62% ಹಾಟ್ ಝೋನ್ ಟೇರ್ ತೂಕ +35% ನಿವ್ವಳ ಲೋಡ್ ಸಾಮರ್ಥ್ಯ -22% ಕ್ವೆನ್ಚಿಂಗ್ ಎನರ್ಜಿ >3x ಕಾಂಪೊನೆಂಟ್ ಎಲ್...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಪ್ರಕರಣ ಅಧ್ಯಯನ: ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ಗಳೊಂದಿಗೆ CZ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಪುಲ್ಲಿಂಗ್ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು.
ಕೇಸ್ ಸ್ಟಡಿ: ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ಸ್ನೊಂದಿಗೆ CZ ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಪುಲ್ಲಿಂಗ್ ಇಳುವರಿ ಮತ್ತು ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ಹೆಚ್ಚಿಸುವುದು ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಲೀಡ್: ಡಾ. ಮಾರ್ಕಸ್ ಮತ್ತು VET ಕ್ರಿಸ್ಟಲ್ ಥರ್ಮಲ್ ಫೀಲ್ಡ್ & ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ತಂಡ ತಾಂತ್ರಿಕ ವರದಿ: VET ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ & ಪ್ರೊಸೆಸ್ ಆಪ್ಟಿಮೈಸೇಶನ್ ಕೇಸ್ ಸ್ಟಡಿ (...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಪ್ರಕರಣ ಅಧ್ಯಯನ: N-ಟೈಪ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯಲ್ಲಿ 32-ಇಂಚಿನ ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕೀಯ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಘಟಕಗಳು.
ಪ್ರಕರಣ ಅಧ್ಯಯನ: N-ಟೈಪ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯಲ್ಲಿ 32-ಇಂಚಿನ ಏಕ-ಸ್ಫಟಿಕೀಯ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಘಟಕಗಳು ಲೇಖಕ: ಡಾ. ಸ್ಟೀವನ್ ಕ್ಯು, ಹಿರಿಯ ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಮೆಟೀರಿಯಲ್ಸ್ ಎಂಜಿನಿಯರ್ ಮತ್ತು VET ಎನರ್ಜಿಯಲ್ಲಿ ತಾಂತ್ರಿಕ ನಿರ್ದೇಶಕ ಪ್ರಕಟಣೆ: ಆಗಸ್ಟ್ 2026 | ತಾಂತ್ರಿಕ ಕ್ಷೇತ್ರ ವರದಿ ಮತ್ತು ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ವಿಶ್ಲೇಷಣೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಸೆಪ್ಟರ್ಗಳಿಗೆ ಸಮಗ್ರ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ
ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಸಾಧನ ತಯಾರಿಕೆ ಮತ್ತು ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ (ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ [SiC] ಮತ್ತು ಗ್ಯಾಲಿಯಮ್ ನೈಟ್ರೈಡ್ [GaN] ನಂತಹ), ಉದ್ಯಮದ ಚರ್ಚೆಗಳು ಹೆಚ್ಚಾಗಿ ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಅಡ್ವಾನ್ಸ್ಡ್ EUV ಲಿಥೋಗ್ರಫಿ ಯಂತ್ರಗಳು, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಎಚ್ಚಣೆಗಳು ಅಥವಾ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಅನಿಲ ಶುದ್ಧತೆಯ ಸುತ್ತ ಕೇಂದ್ರೀಕೃತವಾಗಿರುತ್ತವೆ. ಆದಾಗ್ಯೂ, ಒಳಗೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹೀಟರ್ ಪರಿಹಾರಗಳು
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಗಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ-ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಹೀಟರ್ ಪರಿಹಾರಗಳು MOCVD (ಲೋಹ-ಸಾವಯವ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಮತ್ತು SiC ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಲ್ ಬೆಳವಣಿಗೆಯಂತಹ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ, ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ನಿಯಂತ್ರಣವು ನೇರವಾಗಿ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣಾ ದಪ್ಪದ ಏಕರೂಪತೆ, ಡೋಪಿಂಗ್ ಸಾಂದ್ರತೆ ಮತ್ತು ಯು... ಅನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತದೆ.ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ವಿವರಣೆ: ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ವಸ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಮತ್ತು ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
ಪರಿಚಯ: ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ಗಳು — ಅತಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದ ಉತ್ಪಾದನೆಗೆ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಘಟಕಗಳು ಆಧುನಿಕ ಉನ್ನತ-ಮಟ್ಟದ ಉತ್ಪಾದನೆಯ ಕ್ಷೇತ್ರದಲ್ಲಿ, ಅನೇಕ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ತೀವ್ರ ಶಾಖದಿಂದ ನಿರೂಪಿಸಲ್ಪಟ್ಟ ಪರಿಸರಗಳನ್ನು ಅವಲಂಬಿಸಿವೆ. ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಲೋಹದ ಕರಗುವಿಕೆಯಿಂದ ಮೂರನೇ ತಲೆಮಾರಿನ ಉತ್ಪಾದನೆಯವರೆಗೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಕಸ್ಟಮ್ ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಕೇಸ್: ಹೈ-ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ ಇಂಡಕ್ಷನ್ ಮೆಲ್ಟಿಂಗ್ನಲ್ಲಿ ಕ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಮಾಲಿನ್ಯದ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಹೇಗೆ ಪರಿಹರಿಸುವುದು
1. ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಾಹಕ ಸಾರಾಂಶ / ಪ್ರಮುಖ ದತ್ತಾಂಶ ಸ್ನ್ಯಾಪ್ಶಾಟ್: 12 ರಿಂದ 40 ಚಕ್ರಗಳು - ಸ್ಪಷ್ಟ ಅಪಾಯ ಮತ್ತು ಮೌಲ್ಯ ಮೌಲ್ಯಮಾಪನ ಕೋರ್ ಟೇಕ್ಅವೇ: ಕ್ಲೈಂಟ್ ಆರಂಭದಲ್ಲಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ಆವರ್ತನದ ಇಂಡಕ್ಷನ್ ಕರಗುವಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಆಗಾಗ್ಗೆ ತಣಿಸುವ ಬಿರುಕುಗಳು ಮತ್ತು ಬೂದಿ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ಎದುರಿಸಿದರು. ನಮ್ಮ ಪರಿಹಾರವು ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ಆಗಿತ್ತು - ಮೇಟ್ ಮೂಲಕ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾಗಿಸಲಾಗಿದೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಸರಂಧ್ರ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಮತ್ತು ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು
Ⅰ. ಪರಿಚಯ ಪೋರಸ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ (ಪೋರಸ್ SiC) ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ ಸಿಲಿಕಾನ್ ಕಾರ್ಬೈಡ್ನ ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಎಚ್ಚರಿಕೆಯಿಂದ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ಪೋರಸ್ ರಚನೆಯೊಂದಿಗೆ ಸಂಯೋಜಿಸುವ ಸುಧಾರಿತ ಸೆರಾಮಿಕ್ ವಸ್ತುಗಳಾಗಿವೆ. ದಟ್ಟವಾದ SiC ಸೆರಾಮಿಕ್ಸ್ಗಿಂತ ಭಿನ್ನವಾಗಿ, ಪೋರಸ್ SiC ಹೆಚ್ಚುವರಿ ಒದಗಿಸುವ ಪರಸ್ಪರ ಸಂಪರ್ಕಿತ ರಂಧ್ರಗಳನ್ನು ಪರಿಚಯಿಸುತ್ತದೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಇಂಡಕ್ಷನ್ ಕರಗುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗಾಗಿ ಹೈ-ಪ್ಯೂರಿಟಿ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಕ್ರೂಸಿಬಲ್ ತಾಂತ್ರಿಕ ಕೈಪಿಡಿ ಮತ್ತು ಆಯ್ಕೆ ಮಾರ್ಗದರ್ಶಿ
1. ಮೆಟೀರಿಯಲ್ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಕೋರ್ ತಾಂತ್ರಿಕ ವಿಶೇಷಣಗಳು ಕೋರ್ ಒಳನೋಟ: ಕೋಲ್ಡ್ ಐಸೊಸ್ಟಾಟಿಕ್ ಪ್ರೆಸ್ಸಿಂಗ್ (CIP) ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ, ಏಕರೂಪದ ಸೂಕ್ಷ್ಮ ರಚನೆಯನ್ನು ಸೃಷ್ಟಿಸುತ್ತದೆ, ಇದು ಸಾಂಪ್ರದಾಯಿಕ ಹೊರತೆಗೆದ ಅಥವಾ ಕಂಪನ-ಅಚ್ಚೊತ್ತಿದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅನ್ನು ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಸವೆತ ನಿರೋಧಕತೆ ಮತ್ತು ಉಷ್ಣ ದಕ್ಷತೆಯಲ್ಲಿ ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಮೀರಿಸುತ್ತದೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು