-
ಆಧುನಿಕ LPCVD ಫರ್ನೇಸ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಗೆ SiC ಕ್ಯಾಂಟಿಲಿವರ್ ಪ್ಯಾಡಲ್ ಏಕೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಸಣ್ಣ ಸಾಧನ ಜ್ಯಾಮಿತಿಗಳು, ಹೆಚ್ಚಿನ ವೇಫರ್ ಥ್ರೋಪುಟ್ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚು ಕಠಿಣ ಮಾಲಿನ್ಯ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮಾನದಂಡಗಳ ಕಡೆಗೆ ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ಉಷ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣಾ ಉಪಕರಣಗಳು ಅಭೂತಪೂರ್ವ ಎಂಜಿನಿಯರಿಂಗ್ ಸವಾಲುಗಳನ್ನು ಎದುರಿಸುತ್ತಿವೆ. LPCVD, ಉಷ್ಣ ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಡೋಪಂಟ್ ಪ್ರಸರಣ, ... ನಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು.ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
SiC ಡಿಫ್ಯೂಷನ್ ಟ್ಯೂಬ್ ಎಂದರೇನು? ಕಾರ್ಯಗಳು, ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು
ಅರೆವಾಹಕ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ, ಆಕ್ಸಿಡೀಕರಣ, ಪ್ರಸರಣ, ಅನೀಲಿಂಗ್ ಮತ್ತು LPCVD ಶೇಖರಣೆಯಂತಹ ವೇಫರ್ ತಯಾರಿಕೆಯ ಹಂತಗಳಿಗೆ ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಉಷ್ಣ ಸಂಸ್ಕರಣೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ. ಈ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳನ್ನು ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 800°C ಮತ್ತು 1200°C ನಡುವೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಅರೆವಾಹಕ ಕುಲುಮೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆಗಳ ಒಳಗೆ ನಡೆಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಅಲ್ಲಿ ತಾಪಮಾನ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಪೋರಸ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಎಂದರೇನು? ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು, ಅನ್ವಯಿಕೆಗಳು ಮತ್ತು ಅರೆವಾಹಕ ಅನುಕೂಲಗಳು
ಪರಿಚಯ: ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ಸರಂಧ್ರ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಏಕೆ ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯು ಮುಂದುವರಿದ ನೋಡ್ಗಳು ಮತ್ತು ಸಂಯುಕ್ತ ಅರೆವಾಹಕಗಳ (SiC ನಂತಹ) ಕಡೆಗೆ ಚಲಿಸುತ್ತಿದ್ದಂತೆ, ವಸ್ತು ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳು ಹೆಚ್ಚು ಕಠಿಣವಾಗಿವೆ. ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಸ್ಥಿರತೆ, ಅಲ್ಟ್ರಾ-ಹೈ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ನಿಖರವಾದ ಅನಿಲ ಎಫ್...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಅರೆವಾಹಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಅನ್ನು ಯಾವ ರೀತಿಯಲ್ಲಿ ಬಳಸಬಹುದು?
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯು ತೀವ್ರ ನಿಖರತೆ ಮತ್ತು ತೀವ್ರ ಪರಿಸರಗಳ ಛೇದಕದಲ್ಲಿ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತದೆ. ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿ, ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಅನೀಲಿಂಗ್ನಂತಹ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಳು ವಾಡಿಕೆಯಂತೆ 1000°C ಗಿಂತ ಹೆಚ್ಚಾಗುತ್ತವೆ, ಅಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಉಷ್ಣ ಏರಿಳಿತಗಳು ಸಹ ಫಿಲ್ಮ್ ದಪ್ಪದಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಬಹುದಾದ ವ್ಯತ್ಯಾಸಗಳಾಗಿ ಅನುವಾದಿಸಬಹುದು...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಇಂಧನ ಕೋಶಗಳಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೈಪೋಲಾರ್ ಪ್ಲೇಟ್ಗಳು ಹೇಗೆ ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುತ್ತವೆ?
I. ಉದ್ಯಮದ ಉತ್ಕರ್ಷದಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೈಪೋಲಾರ್ ಪ್ಲೇಟ್ಗಳ ಕೇಂದ್ರ ಪಾತ್ರ "ಡ್ಯುಯಲ್ ಕಾರ್ಬನ್" ಗುರಿಗಳು ಮತ್ತು ಹೈಡ್ರೋಜನ್ ಆರ್ಥಿಕತೆಯ ತ್ವರಿತ ಅಭಿವೃದ್ಧಿಯ ಹಿನ್ನೆಲೆಯಲ್ಲಿ, ಇಂಧನ ಕೋಶಗಳು (ವಿಶೇಷವಾಗಿ PEM ಇಂಧನ ಕೋಶಗಳು) ಪ್ರದರ್ಶನ ಹಂತದಿಂದ ದೊಡ್ಡ-ಪ್ರಮಾಣದ ಅನ್ವಯಕ್ಕೆ ಪರಿವರ್ತನೆಗೊಳ್ಳುತ್ತಿವೆ. ಪ್ರಯಾಣಿಕರಿಂದ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಇಂಧನ ಕೋಶ ತಂತ್ರಜ್ಞಾನದಲ್ಲಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫೆಲ್ಟ್ನ ಅನ್ವಯಗಳು ಯಾವುವು?
ನಿರಂತರವಾಗಿ ವಿಕಸನಗೊಳ್ಳುತ್ತಿರುವ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಕೆಮಿಕಲ್ ಎನರ್ಜಿ ಸಿಸ್ಟಮ್ಗಳಲ್ಲಿ, ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫೆಲ್ಟ್ ಬಹುಮುಖ ಇಂಗಾಲ-ಆಧಾರಿತ ವಸ್ತುವಾಗಿ ಎದ್ದು ಕಾಣುತ್ತದೆ, ಇದು ವಿಶಿಷ್ಟವಾದ ರಚನಾತ್ಮಕ, ವಿದ್ಯುತ್ ಮತ್ತು ರಾಸಾಯನಿಕ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ. ಎಲ್ಲಾ ಇಂಧನ ಕೋಶ ವಾಸ್ತುಶಿಲ್ಪಗಳು ಸಾರ್ವತ್ರಿಕವಾಗಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫೆಲ್ಟ್ ಅನ್ನು ಬಳಸದಿದ್ದರೂ, ಅದರ ಪಾತ್ರ - ವಿಶೇಷವಾಗಿ ಮುಂದುವರಿದ ಇಂಧನ ಕೋಶದಲ್ಲಿ ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಫಿಕ್ಚರ್ಗಳು: ಸೆಮಿಕಂಡಕ್ಟರ್ ತಯಾರಿಕೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಘಟಕಗಳು
ಅರೆವಾಹಕ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯಲ್ಲಿ, ಅನೇಕ ಪ್ರಮುಖ ವಸ್ತುಗಳು ಮತ್ತು ಘಟಕಗಳು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪನ್ನ ಇಳುವರಿಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸುತ್ತವೆ. ಅರೆವಾಹಕ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ನೆಲೆವಸ್ತುಗಳು ವೇಫರ್ಗಳು ಅಥವಾ ಗುರಿಗಳಷ್ಟು ಗಮನವನ್ನು ಪಡೆಯದಿದ್ದರೂ, ಅವು ಹೆಚ್ಚಿನ-ತಾಪಮಾನದ ಸಂಸ್ಕರಣೆ, ಎಪಿಟಾಕ್ಸಿಯಾದಲ್ಲಿ ಸ್ಥಿರವಾಗಿ ಪ್ರಮುಖ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಹೆಚ್ಚಿನ ನಿಖರತೆಯ ಅರೆವಾಹಕ ಎಚ್ಚಣೆಗೆ ಎಚ್ಚಣೆಗಾಗಿ CVD ಲೇಪನ ಫೋಕಸ್ ರಿಂಗ್ ಏಕೆ ನಿರ್ಣಾಯಕವಾಗಿದೆ?
ಸಿವಿಡಿ ಲೇಪನ ಫೋಕಸ್ ಉಂಗುರಗಳು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಗಡಿಗಳನ್ನು ಸ್ಥಿರಗೊಳಿಸುವ ಮೂಲಕ ಮತ್ತು ವೇಫರ್ನಾದ್ಯಂತ ಏಕರೂಪದ ಅಯಾನು ವಿತರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳುವ ಮೂಲಕ ಆಧುನಿಕ ಅರೆವಾಹಕ ಎಚ್ಚಣೆಯಲ್ಲಿ ನಿರ್ಣಾಯಕ ಪಾತ್ರವನ್ನು ವಹಿಸುತ್ತವೆ. ಈ ಲೇಖನವು ಮುಂದುವರಿದ ನೋಡ್ಗಳಿಗೆ ಅವು ಏಕೆ ಅತ್ಯಗತ್ಯ ಎಂಬುದನ್ನು ವಿವರಿಸುತ್ತದೆ, ಎಚ್ಚಣೆ ಏಕರೂಪತೆ, ಸಿಡಿ ನಿಯಂತ್ರಣ, ಮಾಲಿನ್ಯದ ಮೇಲೆ ಅವುಗಳ ಪ್ರಭಾವವನ್ನು ಎತ್ತಿ ತೋರಿಸುತ್ತದೆ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು -
ಏಕ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಕುಲುಮೆಯ ತಿರುಳು: ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರಗಳ ರಹಸ್ಯಗಳನ್ನು ಅನಾವರಣಗೊಳಿಸುವುದು.
ಒಂದೇ ಸ್ಫಟಿಕ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ಕುಲುಮೆಯ ತಿರುಳು ಸ್ಫಟಿಕ ಉತ್ಪಾದನೆಯಲ್ಲಿ ಪ್ರಮುಖ ಸಾಧನವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಅದರ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರ ವಿನ್ಯಾಸವು ಸ್ಫಟಿಕದ ಶುದ್ಧತೆ ಮತ್ತು ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ನೇರವಾಗಿ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತದೆ. ಕುಲುಮೆಯ ಕೇಂದ್ರ ಅಂಶವಾಗಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಉಷ್ಣ ಕ್ಷೇತ್ರವು ಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆಯನ್ನು ನೀಡುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ...ಮತ್ತಷ್ಟು ಓದು
- English
- French
- German
- Portuguese
- Spanish
- Russian
- Japanese
- Korean
- Arabic
- Irish
- Greek
- Turkish
- Italian
- Danish
- Romanian
- Indonesian
- Czech
- Afrikaans
- Swedish
- Polish
- Basque
- Catalan
- Esperanto
- Hindi
- Lao
- Albanian
- Amharic
- Armenian
- Azerbaijani
- Belarusian
- Bengali
- Bosnian
- Bulgarian
- Cebuano
- Chichewa
- Corsican
- Croatian
- Dutch
- Estonian
- Filipino
- Finnish
- Frisian
- Galician
- Georgian
- Gujarati
- Haitian
- Hausa
- Hawaiian
- Hebrew
- Hmong
- Hungarian
- Icelandic
- Igbo
- Javanese
- Kannada
- Kazakh
- Khmer
- Kurdish
- Kyrgyz
- Latin
- Latvian
- Lithuanian
- Luxembou..
- Macedonian
- Malagasy
- Malay
- Malayalam
- Maltese
- Maori
- Marathi
- Mongolian
- Burmese
- Nepali
- Norwegian
- Pashto
- Persian
- Punjabi
- Serbian
- Sesotho
- Sinhala
- Slovak
- Slovenian
- Somali
- Samoan
- Scots Gaelic
- Shona
- Sindhi
- Sundanese
- Swahili
- Tajik
- Tamil
- Telugu
- Thai
- Ukrainian
- Urdu
- Uzbek
- Vietnamese
- Welsh
- Xhosa
- Yiddish
- Yoruba
- Zulu
- Kinyarwanda
- Tatar
- Oriya
- Turkmen
- Uyghur