-
Пример из практики: Модернизация горячезонной зоны композитной печи C/C в немецкой вакуумной печи: предотвращение деформации и снижение веса.
Пример из практики | Компания Hot Zone Materials: модернизация термической зоны немецкой вакуумной печи с использованием композитных материалов C/C: защита от деформации и снижение веса. Автор: д-р Ван | Технический директор, подразделение материалов для термической зоны, VET Energy. 27 августа 2026 г. -62% от собственного веса термической зоны +35% от несущей способности -22% от энергии закалки >3x от длины компонента...Читать далее -
Пример из практики: повышение выхода и срока службы кристаллов CZ при вытягивании с помощью тиглей из высокочистого графита.
Пример из практики: Повышение выхода годных изделий и срока службы кристаллов CZ при вытягивании с помощью тиглей из высокочистого графита. Руководитель проекта: д-р Маркус и группа инженеров VET по тепловому полю кристаллов и материалам высокой чистоты. Технический отчет: Пример из практики оптимизации полупроводниковых материалов и процессов VET (...Читать далее -
Пример из практики: Компоненты из высокочистого графита для создания тепловых полей в монокристаллических 32-дюймовых структурах при выращивании кремния N-типа.
Пример из практики: Компоненты из высокочистого графита для создания тепловых полей в монокристаллических структурах N-типа диаметром 32 дюйма. Автор: д-р Стивен Цю, старший инженер-материаловед и технический директор компании VET Energy. Опубликовано: август 2026 г. | Технический отчет с места эксплуатации и инженерный анализ...Читать далее -
Полное руководство по высокочистым графитовым сусцепторам
В современном производстве полупроводниковых приборов и выпуске полупроводниковых соединений третьего поколения (таких как карбид кремния [SiC] и нитрид галлия [GaN]) дискуссии в отрасли часто сосредоточены вокруг сверхсовременных установок для EUV-литографии, плазменных травильных установок или чистоты газовых прекурсоров. Однако внутри отрасли...Читать далее -
Решения для нагрева высокочистого графита в процессе эпитаксии полупроводников.
Решения для нагрева высокочистого графита в полупроводниковой эпитаксии. В высокотемпературных полупроводниковых процессах, таких как MOCVD (металлоорганическое химическое осаждение из газовой фазы) и эпитаксиальный рост SiC, контроль теплового поля напрямую определяет однородность толщины осажденной пленки, концентрацию легирования и т. д.Читать далее -
Графитовый тигель: свойства материала, производственный процесс и применение в высокотемпературных полупроводниковых процессах.
Введение: Графитовые тигли — важнейшие компоненты для производства при экстремально высоких температурах. В сфере современного высокотехнологичного производства многие критически важные процессы зависят от условий, характеризующихся экстремально высокими температурами. От традиционной выплавки металлов до производства третьего поколения...Читать далее -
Корпус для изостатического графитового тигля высокой чистоты, изготовленный на заказ: как решить проблемы растрескивания и загрязнения при высокочастотной индукционной плавке.
1. Краткое изложение / Краткий обзор ключевых данных: От 12 до 40 циклов – Четкая оценка рисков и ценности. Основной вывод: Первоначально клиент столкнулся с частыми трещинами при закалке и загрязнением золой при высокочастотной индукционной плавке. Нашим решением стал изостатический графитовый тигель, оптимизированный с помощью материалов...Читать далее -
Обработка и свойства пористой керамики из карбида кремния
I. Введение. Пористая керамика из карбида кремния (пористый SiC) — это передовые керамические материалы, сочетающие в себе выдающиеся свойства карбида кремния с тщательно разработанной пористой структурой. В отличие от плотной керамики SiC, пористый SiC имеет взаимосвязанные поры, обеспечивающие дополнительные...Читать далее -
Техническое руководство и справочник по выбору изостатических графитовых тиглей высокой чистоты для индукционной плавки и полупроводниковых процессов.
1. Материаловедение и основные технические характеристики. Ключевая идея: Холодное изостатическое прессование (ХИП) создает высокоплотную однородную микроструктуру, которая значительно превосходит традиционный экструдированный или вибрационно-формованный графит по механической прочности, стойкости к эрозии и тепловой эффективности...Читать далее