I. Ferkenning fan prosesparameters
1. TaCl5-C3H6-H2-Ar systeem
2. Ofsettingstemperatuer:
Neffens de termodynamyske formule wurdt berekkene dat as de temperatuer heger is as 1273K, de frije Gibbs-enerzjy fan 'e reaksje tige leech is en de reaksje relatyf foltôge is. De reaksjekonstante KP is tige grut by 1273K en nimt rap ta mei de temperatuer, en de groeisnelheid fertraget stadichoan by 1773K.
Ynfloed op 'e oerflakmorfology fan 'e coating: As de temperatuer net geskikt is (te heech of te leech), presintearret it oerflak in frije koalstofmorfology of losse poaren.
(1) By hege temperatueren is de bewegingssnelheid fan 'e aktive reaktantatomen of groepen te fluch, wat sil liede ta ûngelikense ferdieling tidens de opgarjen fan materialen, en de rike en earme gebieten kinne net soepel oergean, wat resulteart yn poaren.
(2) Der is in ferskil tusken de pyrolyse-reaksjesnelheid fan alkanen en de reduksje-reaksjesnelheid fan tantaalpentachloride. De pyrolysekoalstof is tefolle en kin net op 'e tiid kombinearre wurde mei tantaal, wêrtroch't it oerflak mei koalstof omwikkele wurdt.
As de temperatuer passend is, wurdt it oerflak fan 'eTaC-coatingis ticht.
TaCdieltsjes smelte en aggregearje mei-inoar, de kristalfoarm is foltôge, en de kerrelgrins giet soepel oer.
3. Wetterstofferhâlding:
Derneist binne d'r in protte faktoaren dy't de kwaliteit fan 'e coating beynfloedzje:
-Kwaliteit fan it substraatoerflak
-Deposysje gasfjild
-De mjitte fan uniformiteit fan it mingen fan reaktantgas
II. Typyske mankeminten fantantaalkarbide coating
1. Skuorren en ôfbladderjen fan 'e coating
Lineêre termyske útwreidingskoëffisjint lineêr CTE:
2. Defektanalyse:
(1) Oarsaak:
(2) Karakterisaasjemetoade
① Brûk röntgendiffraksjetechnology om de oerbleaune spanning te mjitten.
② Brûk de wet fan Hu Ke om de restspanning te benaderjen.
(3) Ferlykbere formules
3. Ferbetterje de meganyske kompatibiliteit fan 'e coating en it substraat
(1) Oerflak yn-situ groeicoating
Termyske reaksjeôfsetting en diffúzjetechnology TRD
Proses fan smolten sâlt
Fereinfâldigje it produksjeproses
Ferleegje de reaksjetemperatuer
Relatyf legere kosten
Mear miljeufreonlik
Geskikt foar grutskalige yndustriële produksje
(2) Komposite oergongscoating
Ko-ôfsettingsproses
CVDproses
Mearkomponint coating
De foardielen fan elke komponint kombinearje
Pas de gearstalling en proporsje fan 'e coating fleksibel oan
4. Termyske reaksjeôfsetting en diffúzjetechnology TRD
(1) Reaksjemeganisme
TRD-technology wurdt ek wol ynbêdingsproses neamd, dat gebrûk makket fan boorsûr-tantaalpentoxide-natriumfluoride-booroxide-boorkarbidsysteem om ta te riedentantaalkarbide coating.
① Smelten boorsûr lost tantaalpentokside op;
② Tantaalpentokside wurdt redusearre ta aktive tantaalatomen en ferspriedt op it grafytoppervlak;
③ Aktive tantaalatomen wurde adsorbearre op it grafytoppervlak en reagearje mei koalstofatomen om te foarmjentantaalkarbide coating.
(2) Reaksjekaai
It type karbidcoating moat foldwaan oan de eask dat de frije enerzjy foar oksidaasjefoarming fan it elemint dat it karbid foarmet heger is as dy fan boorokside.
De frije enerzjy fan Gibbs fan it karbid is leech genôch (oars kin boar of boride foarme wurde).
Tantaalpentokside is in neutraal okside. Yn smelte boraks by hege temperatuer kin it reagearje mei it sterke alkaline okside natriumokside om natriumtantalaat te foarmjen, wêrtroch't de earste reaksjetemperatuer ferlege wurdt.
Pleatsingstiid: 21 novimber 2024