Grafít með TaC húðun

I. Könnun á ferlisbreytum

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar kerfið

2. Útfellingarhitastig:

Samkvæmt varmafræðilegri formúlu er reiknað út að þegar hitastigið er hærra en 1273K er Gibbs-fríorka hvarfsins mjög lág og hvarfið er tiltölulega fullkomið. Hvarfstuðullinn KP er mjög stór við 1273K og eykst hratt með hitastigi og vaxtarhraðinn hægist smám saman við 1773K.

Áhrif á yfirborðsformgerð húðunarinnar: Þegar hitastigið er ekki viðeigandi (of hátt eða of lágt) sýnir yfirborðið frítt kolefnisformgerð eða lausar svitaholur.

(1) Við hátt hitastig er hreyfihraði virku hvarfefnaatómanna eða hópanna of mikill, sem leiðir til ójafnrar dreifingar við uppsöfnun efna og ríku og fátæku svæðin geta ekki skiptst vel um, sem leiðir til svitahola.

(2) Það er munur á hraða hitasundrunar alkana og afoxunarhraða tantalpentaklóríðs. Hitasundrunarkolefnið er of mikið og getur ekki blandast tantalinu með tímanum, sem veldur því að yfirborðið er hulið kolefni.

Þegar hitastigið er viðeigandi, yfirborðið áTaC húðuner þétt.

TaCAgnirnar bráðna og safnast saman, kristallaformið er lokið og kornamörkin breytast mjúklega.

3. Vetnishlutfall:

Að auki eru margir þættir sem hafa áhrif á gæði húðunarinnar:

-Gæði undirlags

-Gassvæði fyrir útfellingar

-Jafnvægi blöndunar hvarfefnagassins

II. Dæmigert gallatantalkarbíðhúðun

1. Sprungur og flögnun húðunar

Línulegur varmaþenslustuðull línulegur CTE:

2. Gallagreining:

(1) Orsök:

(2) Einkennisgreiningaraðferð

① Notið röntgengeislunartækni til að mæla leifarálag.

② Notaðu lögmál Hu Ke til að nálga leifarspennuna.

(3) Tengdar formúlur

3. Auka vélræna eindrægni húðunarinnar og undirlagsins

(1) Yfirborðshúðun á staðnum

Varmaviðbragðsútfellingar- og dreifingartækni TRD

Brætt saltferli

Einfalda framleiðsluferlið

Lækkaðu viðbragðshitastigið

Tiltölulega lægri kostnaður

Umhverfisvænni

Hentar fyrir stórfellda iðnaðarframleiðslu

(2) Samsett umbreytingarhúðun

Samútfellingarferli

Hjarta- og æðasjúkdómurferli

Fjölþátta húðun

Að sameina kosti hvers íhlutar

Stilltu húðunarsamsetningu og hlutfall sveigjanlega

4. Varmaviðbrögð og dreifingartækni TRD

(1) Viðbragðsferli

TRD tækni er einnig kölluð innfellingarferli, sem notar bórsýru-tantalpentoxíð-natríumflúoríð-bóroxíð-bórkarbíð kerfi til að undirbúatantalkarbíðhúðun.

① Brædd bórsýra leysir upp tantalpentoxíð;

② Tantalpentoxíð er afoxað í virk tantalatóm og dreifist á grafítyfirborðinu;

③ Virk tantalatóm eru aðsoguð á grafítyfirborðið og hvarfast við kolefnisatóm til að myndatantalkarbíðhúðun.

(2) Viðbragðslykill

Tegund karbíðhúðunar verður að uppfylla þá kröfu að oxunarmyndunarfríorka frumefnisins sem myndar karbíðið sé hærri en bóroxíðs.

Gibbs-fríorka karbíðsins er nógu lág (annars gæti bór eða bóríð myndast).

Tantalpentoxíð er hlutlaust oxíð. Í bráðnu boraxi við háan hita getur það hvarfast við sterka basíska oxíðið natríumoxíð til að mynda natríumtantalat og þannig lækka upphafshiti hvarfsins.