Grafiti yenye mipako ya TaC

I. Uchunguzi wa vigezo vya mchakato

1. Mfumo wa TaCl5-C3H6-H2-Ar

2. Halijoto ya uwekaji:

Kulingana na fomula ya thermodynamic, imehesabiwa kwamba wakati halijoto ni kubwa kuliko 1273K, nishati huru ya Gibbs ya mmenyuko huwa chini sana na mmenyuko huwa kamili kiasi. Kigezo cha mmenyuko KP ni kikubwa sana katika 1273K na huongezeka haraka kadri halijoto inavyoongezeka, na kiwango cha ukuaji hupungua polepole katika 1773K.

Ushawishi kwenye mofolojia ya uso wa mipako: Wakati halijoto haifai (juu sana au chini sana), uso hutoa mofolojia ya kaboni huru au vinyweleo vilivyolegea.

(1) Katika halijoto ya juu, kasi ya mwendo wa atomi au vikundi vya kiakinzani kinachofanya kazi ni ya haraka sana, ambayo itasababisha usambazaji usio sawa wakati wa mkusanyiko wa nyenzo, na maeneo tajiri na maskini hayawezi kubadilika vizuri, na kusababisha vinyweleo.

(2) Kuna tofauti kati ya kiwango cha mmenyuko wa pyrolysis cha alkani na kiwango cha mmenyuko wa kupunguza cha tantalum pentachloride. Kaboni ya pyrolysis ni nyingi sana na haiwezi kuunganishwa na tantalum kwa wakati, na kusababisha uso kufunikwa na kaboni.

Wakati halijoto inafaa, uso waMipako ya TaCni mnene.

TaCChembe huyeyuka na kuungana pamoja, umbo la fuwele limekamilika, na mpaka wa chembe hubadilika vizuri.

3. Uwiano wa hidrojeni:

Kwa kuongezea, kuna mambo mengi yanayoathiri ubora wa mipako:

-Ubora wa uso wa substrate

-Ugavi wa gesi

-Kiwango cha usawa wa mchanganyiko wa gesi ya kisekta

II. Kasoro za kawaida zamipako ya kabidi ya tantalum

1. Kupasuka na kung'oa mipako

Mgawo wa upanuzi wa joto wa mstari CTE ya mstari:

2. Uchambuzi wa kasoro:

(1) Sababu:

(2) Mbinu ya uainishaji wa wahusika

① Tumia teknolojia ya mtawanyiko wa X-ray kupima mkazo uliobaki.

② Tumia sheria ya Hu Ke kukadiria mkazo uliobaki.

(3) Fomula zinazohusiana

3. Boresha utangamano wa mitambo wa mipako na substrate

(1) Mipako ya ukuaji wa ndani ya uso

Teknolojia ya uwekaji na usambazaji wa mmenyuko wa joto TRD

Mchakato wa chumvi iliyoyeyuka

Rahisisha mchakato wa uzalishaji

Punguza halijoto ya mmenyuko

Gharama ya chini kiasi

Rafiki zaidi kwa mazingira

Inafaa kwa uzalishaji mkubwa wa viwanda

(2) Mipako ya mpito ya mchanganyiko

Mchakato wa uwekaji pamoja

CVDmchakato

Mipako ya vipengele vingi

Kuchanganya faida za kila sehemu

Rekebisha kwa urahisi muundo na uwiano wa mipako

4. Teknolojia ya uwekaji na usambazaji wa mmenyuko wa joto TRD

(1) Utaratibu wa Mwitikio

Teknolojia ya TRD pia huitwa mchakato wa kupachika, ambao hutumia mfumo wa asidi boroni-tantalum pentoksidi-sodiamu floridi-boroni oksidi-boroni kabidi kuandaamipako ya kabidi ya tantalum.

① Asidi ya boroni iliyoyeyuka huyeyusha pentioksidi ya tantalum;

② Pentoksidi ya Tantalum hupunguzwa kuwa atomi hai za tantalum na huenea kwenye uso wa grafiti;

③ Atomu za tantalum zinazofanya kazi huingizwa kwenye uso wa grafiti na huitikia pamoja na atomi za kaboni ili kuundamipako ya kabidi ya tantalum.

(2) Ufunguo wa Mwitikio

Aina ya mipako ya kabidi lazima ikidhi sharti kwamba nishati isiyo na uundaji wa oksidi ya kipengele kinachounda kabidi iwe kubwa kuliko ile ya oksidi ya boroni.

Nishati isiyo na Gibbs ya kabidi ni ya chini vya kutosha (vinginevyo, boroni au boridi inaweza kuundwa).

Tantalum pentoksidi ni oksidi isiyo na upande wowote. Katika borax iliyoyeyuka yenye joto la juu, inaweza kuguswa na oksidi kali ya alkali oksidi ya sodiamu na kuunda tantalate ya sodiamu, na hivyo kupunguza halijoto ya awali ya mmenyuko.