TaC 코팅이 된 흑연

I. 공정 매개변수 탐색

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar 시스템

2. 증착 온도:

열역학 공식에 따르면, 온도가 1273K보다 높을 때 반응의 깁스 자유 에너지가 매우 낮아 반응이 비교적 완전하게 진행된다고 계산된다. 반응 상수 KP는 1273K에서 매우 크고 온도가 증가함에 따라 급격히 증가하며, 1773K에서는 증가 속도가 점차 느려진다.

코팅 표면 형태에 미치는 영향: 온도가 적절하지 않을 경우(너무 높거나 너무 낮을 경우), 표면에 자유 탄소 형태 또는 느슨한 기공이 나타납니다.

(1) 고온에서는 활성 반응물 원자 또는 그룹의 이동 속도가 너무 빨라 물질 축적 중에 불균일한 분포가 발생하고 풍부하고 부족한 영역이 원활하게 전환되지 않아 기공이 생깁니다.

(2) 알칸의 열분해 반응 속도와 오염화탄탈륨의 환원 반응 속도 사이에는 차이가 있다. 열분해 탄소가 과잉되어 탄탈륨과 제때 결합되지 못하고 표면이 탄소로 둘러싸이게 된다.

온도가 적절할 때, 표면은TaC 코팅밀도가 높습니다.

타씨입자들이 녹아 서로 응집되면서 결정 형태가 완성되고, 결정립 경계가 매끄럽게 변한다.

3. 수소 비율:

또한 코팅 품질에 영향을 미치는 요인은 매우 많습니다.

-기판 표면 품질

-증착 가스전

-반응 기체 혼합의 균일도

II. 일반적인 결함탄탈륨 카바이드 코팅

1. 코팅 갈라짐 및 벗겨짐

선형 열팽창 계수(선형 열팽창 계수, CTE):

2. 결함 분석:

(1) 원인:

(2) 특성 분석 방법

① X선 회절 기술을 이용하여 잔류 변형률을 측정한다.

② 후커의 법칙을 이용하여 잔류응력을 근사적으로 구한다.

(3) 관련 공식

3. 코팅과 기판의 기계적 호환성을 향상시킵니다.

(1) 표면 현장 성장 코팅

열반응 증착 및 확산 기술(TRD)

용융염 공정

생산 공정을 단순화하세요

반응 온도를 낮추세요

상대적으로 낮은 비용

더욱 환경친화적

대규모 산업 생산에 적합합니다.

(2) 복합 전이 코팅

공침착 공정

심혈관계 질환프로세스

다성분 코팅

각 구성 요소의 장점을 결합

코팅 조성 및 비율을 유연하게 조절할 수 있습니다.

4. 열 반응 증착 및 확산 기술(TRD)

(1) 반응 메커니즘

TRD 기술은 붕산-오산화탄탈륨-불화나트륨-산화붕소-탄화붕소 시스템을 사용하여 준비하는 임베딩 공정이라고도 합니다.탄탈륨 카바이드 코팅.

① 용융 붕산은 오산화탄탈륨을 용해시킵니다.

② 오산화탄탈륨은 활성 탄탈륨 원자로 환원되어 흑연 표면으로 확산됩니다.

③ 활성 탄탈륨 원자는 흑연 표면에 흡착되어 탄소 원자와 반응하여 형성됩니다.탄탈륨 카바이드 코팅.

(2) 반응 키

탄화물 코팅의 종류는 탄화물을 구성하는 원소의 산화 생성 자유 에너지가 산화붕소의 산화 생성 자유 에너지보다 높아야 한다는 요건을 충족해야 합니다.

탄화물의 깁스 자유 에너지는 충분히 낮습니다 (그렇지 않으면 붕소 또는 붕화물이 형성될 수 있습니다).

오산화탄탈륨은 중성 산화물입니다. 고온의 용융 붕사에서 오산화탄탈륨은 강알칼리성 산화물인 산화나트륨과 반응하여 탄탈산나트륨을 형성함으로써 초기 반응 온도를 낮출 수 있습니다.