I. ការរុករកប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការ
១. ប្រព័ន្ធ TaCl5-C3H6-H2-Ar
២. សីតុណ្ហភាពនៃការដាក់សារធាតុរាវ៖
យោងតាមរូបមន្តទែរម៉ូឌីណាមិក វាត្រូវបានគណនាថា នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពធំជាង 1273K ថាមពលសេរី Gibbs នៃប្រតិកម្មគឺទាបណាស់ ហើយប្រតិកម្មគឺពេញលេញ។ ថេរប្រតិកម្ម KP គឺធំណាស់នៅ 1273K ហើយកើនឡើងយ៉ាងឆាប់រហ័សជាមួយនឹងសីតុណ្ហភាព ហើយអត្រាកំណើនថយចុះបន្តិចម្តងៗនៅ 1773K។
ឥទ្ធិពលលើរូបរាងផ្ទៃនៃថ្នាំកូត៖ នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពមិនសមស្រប (ខ្ពស់ពេក ឬទាបពេក) ផ្ទៃបង្ហាញរូបរាងកាបូនសេរី ឬរន្ធញើសរលុង។
(1) នៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ល្បឿនចលនារបស់អាតូម ឬក្រុមសារធាតុប្រតិកម្មសកម្មគឺលឿនពេក ដែលនឹងនាំឱ្យមានការចែកចាយមិនស្មើគ្នាក្នុងអំឡុងពេលប្រមូលផ្តុំនៃសម្ភារៈ ហើយតំបន់សម្បូរបែប និងតំបន់ក្រីក្រមិនអាចផ្លាស់ប្តូរបានរលូនទេ ដែលបណ្តាលឱ្យមានរន្ធញើស។
(2) មានភាពខុសគ្នារវាងអត្រាប្រតិកម្ម pyrolysis នៃអាល់កាន និងអត្រាប្រតិកម្មកាត់បន្ថយនៃ tantalum pentachloride។ កាបូន pyrolysis មានច្រើនលើសលប់ ហើយមិនអាចផ្សំជាមួយ tantalum ទាន់ពេលវេលា ដែលបណ្តាលឱ្យផ្ទៃត្រូវបានរុំព័ទ្ធដោយកាបូន។
នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពសមស្រប ផ្ទៃនៃថ្នាំកូត TaCគឺក្រាស់។
តាស៊ីភាគល្អិតរលាយ និងប្រមូលផ្តុំគ្នា ទម្រង់គ្រីស្តាល់ពេញលេញ ហើយព្រំដែនគ្រាប់ធញ្ញជាតិផ្លាស់ប្តូរយ៉ាងរលូន។
៣. សមាមាត្រអ៊ីដ្រូសែន៖
លើសពីនេះ មានកត្តាជាច្រើនដែលប៉ះពាល់ដល់គុណភាពថ្នាំកូត៖
- គុណភាពផ្ទៃស្រទាប់ខាងក្រោម
- វាលឧស្ម័នដែលដាក់
-កម្រិតនៃឯកសណ្ឋាននៃការលាយឧស្ម័នប្រតិកម្ម
II. ពិការភាពធម្មតានៃថ្នាំកូតកាប៊ីតតាតាលូម
១. ការប្រេះ និងការរបកថ្នាំកូត
មេគុណពង្រីកកម្ដៅលីនេអ៊ែរ CTE លីនេអ៊ែរ៖
២. ការវិភាគកំហុស៖
(1) មូលហេតុ៖
(2) វិធីសាស្ត្រកំណត់លក្ខណៈ
① ប្រើបច្ចេកវិទ្យាឌីផ្រាក់ស្យុងកាំរស្មីអ៊ិចដើម្បីវាស់ភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់។
② ប្រើច្បាប់របស់ Hu Ke ដើម្បីប៉ាន់ស្មានភាពតានតឹងដែលនៅសេសសល់។
(3) រូបមន្តពាក់ព័ន្ធ
៣. បង្កើនភាពឆបគ្នាខាងមេកានិចនៃថ្នាំកូត និងស្រទាប់ខាងក្រោម
(1) ថ្នាំកូតលូតលាស់នៅនឹងផ្ទៃ
បច្ចេកវិទ្យាដាក់ និងសាយភាយប្រតិកម្មកម្ដៅ TRD
ដំណើរការអំបិលរលាយ
ធ្វើឱ្យដំណើរការផលិតមានភាពសាមញ្ញ
បន្ថយសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្ម
តម្លៃទាបជាង
កាន់តែងាយស្រួលសម្រាប់បរិស្ថាន
សមស្របសម្រាប់ផលិតកម្មឧស្សាហកម្មទ្រង់ទ្រាយធំ
(2) ថ្នាំកូតអន្តរកាលសមាសធាតុ
ដំណើរការដាក់បញ្ចូលគ្នា
ជំងឺ CVDដំណើរការ
ថ្នាំកូតពហុសមាសធាតុ
ការរួមបញ្ចូលគ្នានៃគុណសម្បត្តិនៃសមាសធាតុនីមួយៗ
កែសម្រួលសមាសធាតុ និងសមាមាត្រនៃថ្នាំកូតបានយ៉ាងបត់បែន
៤. បច្ចេកវិទ្យាដាក់ស្រទាប់ប្រតិកម្មកម្ដៅ និងសាយភាយ TRD
(1) យន្តការប្រតិកម្ម
បច្ចេកវិទ្យា TRD ក៏ត្រូវបានគេហៅថាដំណើរការបង្កប់ ដែលប្រើប្រព័ន្ធអាស៊ីត boric-tantalum pentoxide-sodium fluoride-boron oxide-boron carbide ដើម្បីរៀបចំថ្នាំកូតកាប៊ីតតាតាលូម.
① អាស៊ីតបូរិករលាយរំលាយតង់តាលូមប៉ែនតូស៊ីត;
② តង់តាលូម ប៉ែនតូស៊ីត ត្រូវបានកាត់បន្ថយទៅជាអាតូមតង់តាលូមសកម្ម ហើយសាយភាយលើផ្ទៃក្រាហ្វីត។
③ អាតូមតាល់ុមសកម្មត្រូវបានស្រូបយកនៅលើផ្ទៃក្រាហ្វីត ហើយមានប្រតិកម្មជាមួយអាតូមកាបូនដើម្បីបង្កើតថ្នាំកូតកាប៊ីតតាតាលូម.
(2) គន្លឹះប្រតិកម្ម
ប្រភេទនៃថ្នាំកូតកាប៊ីតត្រូវតែបំពេញតាមតម្រូវការដែលថាថាមពលសេរីនៃការបង្កើតអុកស៊ីតកម្មនៃធាតុដែលបង្កើតកាប៊ីតគឺខ្ពស់ជាងអុកស៊ីដបូរ៉ុន។
ថាមពលសេរី Gibbs នៃកាបូអ៊ីដមានកម្រិតទាបគ្រប់គ្រាន់ (បើមិនដូច្នោះទេ បូរ៉ុន ឬ បូរីត អាចនឹងត្រូវបានបង្កើតឡើង)។
តង់តាលូម ប៉ែនតូស៊ីត គឺជាអុកស៊ីដអព្យាក្រឹត។ នៅក្នុងបូរ៉ាក់រលាយនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ វាអាចមានប្រតិកម្មជាមួយអុកស៊ីដអាល់កាឡាំងខ្លាំង សូដ្យូមអុកស៊ីដ ដើម្បីបង្កើតជាសូដ្យូម តាតាឡាត ដោយហេតុនេះកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពប្រតិកម្មដំបូង។
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២១ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៤