TaC белән капланган графит

I. Процесс параметрларын өйрәнү

1. TaCl5-C3H6-H2-Ar системасы

2. Чүпләү температурасы:

Термодинамик формула буенча, температура 1273К тан югарырак булганда, реакциянең Гиббс ирекле энергиясе бик түбән һәм реакция чагыштырмача тулы була дип исәпләнә. Реакция константасы KP 1273К да бик зур һәм температура белән тиз арта, ә үсеш тизлеге 1773К да акрынлап әкренләп кими.

Капламаның өслек морфологиясенә йогынтысы: Температура яраклы булмаганда (бик югары яки бик түбән), өслектә ирекле углерод морфологиясе яки йомшак мәсамә барлыкка килә.

(1) Югары температурада актив реагент атомнары яки төркемнәренең хәрәкәт тизлеге бик югары, бу материаллар туплану вакытында тигез булмаган бүленешкә китерә, һәм бай һәм ярлы өлкәләр шома күчә алмый, нәтиҗәдә мәсамә барлыкка килә.

(2) Алканнарның пиролиз реакциясе тизлеге белән тантал пентахлоридының кайтару реакциясе тизлеге арасында аерма бар. Пиролиз углеродлары артык күп һәм вакыт узу белән тантал белән кушылып булмый, нәтиҗәдә өслек углерод белән урала.

Температура тиешле булганда, өслекTaC каплавытыгыз.

TaCкисәкчәләр бер-берсе белән эри һәм агрегацияләнә, кристалл формасы тулысынча барлыкка килә, һәм бөртекләр чиге шома күчә.

3. Водород нисбәте:

Моннан тыш, каплау сыйфатына тәэсир итүче күп факторлар бар:

-Субстрат өслеге сыйфаты

-Газ кыры утырмалары

- Реагент газ катнашмасының тигезлек дәрәҗәсе

II. Гадәти җитешсезлекләртантал карбиды каплавы

1. Каплауның ярылуы һәм кабыгуы

Сызыклы җылылык киңәю коэффициенты сызыклы CTE:

2. Кимчелекләрне анализлау:

(1) Сәбәп:

(2) Характеристика ысулы

① Калдык деформацияне үлчәү өчен рентген дифракциясе технологиясен кулланыгыз.

2 Калдык көчәнешне якынча исәпләү өчен Ху Кэ законын кулланыгыз.

(3) Бәйле формулалар

3. Каплама һәм нигезнең механик туры килүен яхшырту

(1) Өслек эчендә үсү өчен каплау

Термик реакция урнаштыру һәм диффузия технологиясе TRD

Эретелгән тоз эшкәртү

Җитештерү процессын гадиләштерегез

Реакция температурасын төшерегез

Чагыштырмача түбәнрәк бәя

Әйләнә-тирә мохиткә зыянсызрак

Зур күләмле сәнәгать җитештерүе өчен яраклы

(2) Композит күчеш капламасы

Бергәләп урнаштыру процессы

йөрәк-кан тамырлары авыруларыпроцесс

Күп компонентлы каплау

Һәр компонентның өстенлекләрен берләштерү

Каплау составын һәм пропорциясен сыгылмалы рәвештә көйләгез

4. Термик реакция урнаштыру һәм диффузия технологиясе TRD

(1) Реакция механизмы

TRD технологиясе шулай ук ​​​​эчү процессы дип атала, ул бор кислотасы-тантал пентоксиды-натрий фториды-бор оксиды-бор карбиды системасын әзерләү өчен куллана.тантал карбиды каплавы.

① Эретелгән бор кислотасы тантал пентоксидын эретә;

2 Тантал пентоксиды актив тантал атомнарына әйләнә һәм графит өслегендә тарала;

③ Актив тантал атомнары графит өслегендә адсорбцияләнә һәм углерод атомнары белән реакциягә кереп, барлыкка киләтантал карбиды каплавы.

(2) Реакция ачкычы

Карбид каплавы төре карбидны формалаштыручы элементның оксидлашу барлыкка килү ирекле энергиясе бор оксидыныкыннан югарырак булу таләбен канәгатьләндерергә тиеш.

Карбидның Гиббс ирекле энергиясе җитәрлек түбән (югыйсә, бор яки борид барлыкка килергә мөмкин).

Тантал пентоксиды - нейтраль оксид. Югары температурада эретелгән боракуста ул көчле селте оксиды натрий оксиды белән реакциягә кереп, натрий танталаты барлыкка китерә ала, шуның белән башлангыч реакция температурасын киметә.