Grafit ak kouch TaC

I. Eksplorasyon paramèt pwosesis la

1. Sistèm TaCl5-C3H6-H2-Ar

2. Tanperati depo:

Selon fòmil tèmodinamik la, yo kalkile ke lè tanperati a pi gran pase 1273K, enèji lib Gibbs reyaksyon an trè ba epi reyaksyon an relativman konplè. Konstan reyaksyon KP a trè gwo nan 1273K epi li ogmante rapidman ak tanperati a, epi to kwasans lan ralanti piti piti nan 1773K.

Enfliyans sou mòfoloji sifas kouch la: Lè tanperati a pa apwopriye (twò wo oswa twò ba), sifas la prezante yon mòfoloji kabòn lib oswa porositë ki lach.

(1) Nan tanperati ki wo, vitès mouvman atòm oswa gwoup reyaktif aktif yo twò vit, sa ki pral mennen nan yon distribisyon inegal pandan akimilasyon materyèl yo, epi zòn rich ak pòv yo pa ka fè tranzisyon san pwoblèm, sa ki lakòz porositë.

(2) Gen yon diferans ant vitès reyaksyon piroliz alkan yo ak vitès reyaksyon rediksyon pentaklorid tantal la. Kabòn piroliz la twòp epi li pa ka konbine avèk tantal la alè, sa ki lakòz sifas la vlope pa kabòn.

Lè tanperati a apwopriye, sifas laKouch TaCse dans.

TaCPatikil yo fonn epi rasanble youn ak lòt, fòm kristal la konplè, epi limit grenn yo chanje san pwoblèm.

3. Pwopòsyon idwojèn:

Anplis de sa, gen anpil faktè ki afekte kalite kouch la:

-Kalite sifas substrat la

-Jaden gaz depo

-Degre inifòmite melanj gaz reyaktif la

II. Defo tipik nankouch carbure tantal

1. Kouch fann ak kale

Koyefisyan ekspansyon tèmik lineyè CTE lineyè:

2. Analiz defo:

(1) Kòz:

(2) Metòd karakterizasyon

① Sèvi ak teknoloji difraksyon reyon X pou mezire souch rezidyèl la.

② Sèvi ak lwa Hu Ke a pou estime estrès rezidyèl la.

(3) Fòmil ki gen rapò

3. Amelyore konpatibilite mekanik kouch la ak substra a

(1) Kouch kwasans sifas in-situ

Teknoloji depozisyon ak difizyon reyaksyon tèmik TRD

Pwosesis sèl fonn

Senplifye pwosesis pwodiksyon an

Diminye tanperati reyaksyon an

Pri relativman pi ba

Plis zanmitay anviwònman an

Apwopriye pou pwodiksyon endistriyèl sou gwo echèl

(2) Kouch tranzisyon konpoze

Pwosesis ko-depozisyon an

Maladi Kadyovaskilè (MKV)pwosesis

Kouch milti-konpozan

Konbine avantaj chak eleman

Ajiste konpozisyon ak pwopòsyon kouch la avèk fleksibilite

4. Teknoloji depozisyon ak difizyon reyaksyon tèmik TRD

(1) Mekanis Reyaksyon

Teknoloji TRD a rele tou pwosesis embedding, ki itilize sistèm asid borik-tantalyòm pentoksid-flyorid sodyòm-oksid bor-karbid bor pou prepare.kouch carbure tantal.

① Asid borik fonn fonn pentoksid tantal;

② Pentoksid tantal la redwi an atòm tantal aktif epi li difize sou sifas grafit la;

③ Atòm tantal aktif yo adsorbe sou sifas grafit la epi reyaji avèk atòm kabòn pou fòmekouch carbure tantal.

(2) Kle Reyaksyon

Kalite kouch carbure a dwe satisfè egzijans ke enèji lib fòmasyon oksidasyon eleman ki fòme carbure a pi wo pase sa ki nan oksid bor.

Enèji lib Gibbs karbid la ba ase (sinon, bor oswa borid ka fòme).

Tantal pentoksid se yon oksid net. Nan boraks ki fonn nan tanperati ki wo, li ka reyaji avèk oksid sodyòm ki fòtman alkalin pou fòme tantalat sodyòm, kidonk diminye tanperati reyaksyon inisyal la.