I. ການສຳຫຼວດພາລາມິເຕີຂອງຂະບວນການ
1. ລະບົບ TaCl5-C3H6-H2-Ar
2. ອຸນຫະພູມການຕົກຕະກອນ:
ອີງຕາມສູດທາງເທີໂມໄດນາມິກ, ມັນໄດ້ຖືກຄິດໄລ່ວ່າເມື່ອອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1273K, ພະລັງງານເສລີ Gibbs ຂອງປະຕິກິລິຍາຈະຕໍ່າຫຼາຍ ແລະ ປະຕິກິລິຍາແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສົມບູນ. ຄ່າຄົງທີ່ຂອງປະຕິກິລິຍາ KP ແມ່ນໃຫຍ່ຫຼາຍທີ່ 1273K ແລະ ເພີ່ມຂຶ້ນຢ່າງໄວວາຕາມອຸນຫະພູມ, ແລະ ອັດຕາການເຕີບໂຕຈະຊ້າລົງເທື່ອລະກ້າວທີ່ 1773K.
ອິດທິພົນຕໍ່ຮູບຮ່າງພື້ນຜິວຂອງການເຄືອບ: ເມື່ອອຸນຫະພູມບໍ່ເໝາະສົມ (ສູງເກີນໄປ ຫຼື ຕໍ່າເກີນໄປ), ພື້ນຜິວຈະມີຮູບຮ່າງຄາບອນເສລີ ຫຼື ຮູຂຸມຂົນວ່າງ.
(1) ໃນອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມໄວໃນການເຄື່ອນທີ່ຂອງອະຕອມ ຫຼື ກຸ່ມຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນປະຕິກິລິຍາທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວຈະໄວເກີນໄປ, ເຊິ່ງຈະນໍາໄປສູ່ການແຈກຢາຍທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີໃນລະຫວ່າງການສະສົມຂອງວັດສະດຸ, ແລະ ພື້ນທີ່ທີ່ອຸດົມສົມບູນ ແລະ ພື້ນທີ່ທີ່ທຸກຍາກບໍ່ສາມາດຫັນປ່ຽນໄດ້ຢ່າງລຽບງ່າຍ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດຮູຂຸມຂົນ.
(2) ມີຄວາມແຕກຕ່າງລະຫວ່າງອັດຕາການປະຕິກິລິຍາໄພໂຣໄລຊິສຂອງອານເຄນ ແລະ ອັດຕາການປະຕິກິລິຍາຫຼຸດຜ່ອນຂອງແທນທາລຳເພນທາຄລໍໄຣດ໌. ຄາບອນໄພໂຣໄລຊິສມີປະລິມານຫຼາຍເກີນໄປ ແລະ ບໍ່ສາມາດລວມກັບແທນທາລຳໄດ້ຕາມເວລາ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຖືກຫໍ່ດ້ວຍຄາບອນ.
ເມື່ອອຸນຫະພູມເໝາະສົມ, ໜ້າດິນຂອງການເຄືອບ TaCມີຄວາມໜາແໜ້ນ.
TaCອະນຸພາກລະລາຍ ແລະ ລວມຕົວກັນ, ຮູບຮ່າງຜລຶກຈະສົມບູນ, ແລະ ຂອບເຂດຂອງເມັດພືດມີການປ່ຽນແປງຢ່າງລຽບງ່າຍ.
3. ອັດຕາສ່ວນໄຮໂດຣເຈນ:
ນອກຈາກນັ້ນ, ຍັງມີຫຼາຍປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງການເຄືອບ:
- ຄຸນນະພາບຂອງໜ້າຜິວຂອງພື້ນຜິວ
- ແຫຼ່ງອາຍແກັສທີ່ຕົກຄ້າງ
- ລະດັບຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການປະສົມອາຍແກັສສານຕັ້ງຕົ້ນ
II. ຂໍ້ບົກຜ່ອງທົ່ວໄປຂອງການເຄືອບ tantalum carbide
1. ການແຕກ ແລະ ການປອກເປືອກຂອງຊັ້ນເຄືອບ
ສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນເສັ້ນຊື່ CTE ເສັ້ນຊື່:
2. ການວິເຄາະຂໍ້ບົກຜ່ອງ:
(1) ສາເຫດ:
(2) ວິທີການອະທິບາຍລັກສະນະ
① ໃຊ້ເທັກໂນໂລຢີການຫັກເຫລັງສີເອັກສ໌ເພື່ອວັດແທກຄວາມເຄັ່ງຕຶງທີ່ຍັງເຫຼືອ.
② ໃຊ້ກົດໝາຍຂອງ Hu Ke ເພື່ອປະມານຄ່າຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອ.
(3) ສູດທີ່ກ່ຽວຂ້ອງ
3. ເສີມຂະຫຍາຍຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ທາງກົນຈັກຂອງການເຄືອບແລະຊັ້ນຮອງພື້ນ
(1) ການເຄືອບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງພື້ນຜິວໃນສະຖານທີ່
ເຕັກໂນໂລຊີການວາງ ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍປະຕິກິລິຍາຄວາມຮ້ອນ TRD
ຂະບວນການເກືອລະລາຍ
ເຮັດໃຫ້ຂະບວນການຜະລິດງ່າຍຂຶ້ນ
ຫຼຸດອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາລົງ
ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍທີ່ຕໍ່າກວ່າ
ເປັນມິດກັບສິ່ງແວດລ້ອມຫຼາຍຂຶ້ນ
ເໝາະສຳລັບການຜະລິດອຸດສາຫະກຳຂະໜາດໃຫຍ່
(2) ການເຄືອບແບບປະສົມ
ຂະບວນການລວມຕົວ
ພະຍາດຫົວໃຈແລະຫຼອດເລືອດຂະບວນການ
ການເຄືອບຫຼາຍອົງປະກອບ
ການລວມເອົາຂໍ້ດີຂອງແຕ່ລະອົງປະກອບເຂົ້າກັນ
ປັບສ່ວນປະກອບ ແລະ ສັດສ່ວນຂອງການເຄືອບໄດ້ຢ່າງຍືດຫຍຸ່ນ
4. ເຕັກໂນໂລຊີການວາງ ແລະ ການແຜ່ກະຈາຍປະຕິກິລິຍາຄວາມຮ້ອນ TRD
(1) ກົນໄກປະຕິກິລິຍາ
ເຕັກໂນໂລຊີ TRD ຍັງຖືກເອີ້ນວ່າຂະບວນການຝັງ, ເຊິ່ງໃຊ້ລະບົບ boric acid-tantalum pentoxide-sodium fluoride-boron oxide-boron carbide ເພື່ອກະກຽມການເຄືອບ tantalum carbide.
① ກົດ boric ທີ່ລະລາຍແລ້ວຈະລະລາຍ tantalum pentoxide;
② Tantalum pentoxide ຖືກຫຼຸດລົງເປັນອະຕອມ tantalum ທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວແລະແຜ່ກະຈາຍຢູ່ເທິງໜ້າດິນ graphite;
③ ອະຕອມແທນທາລຳທີ່ມີການເຄື່ອນໄຫວຖືກດູດຊຶມຢູ່ເທິງໜ້າດິນແກຣໄຟ ແລະ ປະຕິກິລິຍາກັບອະຕອມຄາບອນເພື່ອສ້າງການເຄືອບ tantalum carbide.
(2) ປຸ່ມປະຕິກິລິຍາ
ປະເພດຂອງການເຄືອບຄາໄບຕ້ອງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ວ່າພະລັງງານທີ່ບໍ່ມີການສ້າງຕັ້ງອົກຊີເດຊັນຂອງອົງປະກອບທີ່ປະກອບເປັນຄາໄບສູງກວ່າພະລັງງານຂອງໂບຣອນອອກໄຊ.
ພະລັງງານອິດສະຫຼະຂອງກິບສ໌ຂອງຄາໄບແມ່ນຕໍ່າພຽງພໍ (ຖ້າບໍ່ດັ່ງນັ້ນ, ໂບຣອນ ຫຼື ໂບໄຣດ໌ອາດຈະຖືກສ້າງຂຶ້ນ).
ແທນທາລຳເພນທອກໄຊດ໌ເປັນອົກໄຊດ໌ທີ່ເປັນກາງ. ໃນໂບແຣັກທີ່ລະລາຍໃນອຸນຫະພູມສູງ, ມັນສາມາດປະຕິກິລິຍາກັບໂຊດຽມອອກໄຊດ໌ທີ່ເປັນດ່າງທີ່ແຂງແຮງເພື່ອສ້າງໂຊດຽມແທນທາເລດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາເບື້ອງຕົ້ນຫຼຸດລົງ.
ເວລາໂພສ: ວັນທີ 21 ພະຈິກ 2024





