Ihe eserese eserese maka usoro PECVD

Ihe osise eserese maka usoro PECVD egosipụtara

Nkọwa dị mkpirikpi:

Ụgwọ nke ụlọ ọrụ VET EnergyỤgbọ mmiri Graphite PECVD maka Ogwe Igwe Ọdụdọ bụ ihe dị elu emebere nke ọma maka imepụta ogwe ọkụ dị elu. Ejiri ya na usoro Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), ụgbọ mmiri graphite a na-ahụ maka njikwa ihe kachasị mma yana itinye otu ihe nkiri dị mkpa na sel anyanwụ. N'ịbụ nke e mere maka nkenke na ịdịte aka, ọ na-enye conductivity nke okpomọkụ dị elu, nkwụsị nke corrosion dị elu, na obere mmetọ, bụ nke dị mkpa maka mmepụta nke ọma, nke dị elu nke anyanwụ.

Zitere anyị email Budata dị ka PDF

Nkọwa ngwaahịa

Mkpado ngwaahịa

Ụgwọ nke ụlọ ọrụ VET EnergyPECVD usoro graphite ebu bụ ihe eji eme ihe dị elu ahaziri maka usoro PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Nke a graphite ụgbọelu na-mere nke elu-ọcha, elu-njupụta graphite ihe onwunwe, na magburu onwe elu okpomọkụ na-eguzogide, corrosion iguzogide, akụkụ kwụsie ike na ndị ọzọ e ji mara, nwere ike inye a kwụsiri ike ụgbọelu ikpo okwu maka PECVD usoro, iji hụ na uniformity na flatness nke mkpa film deposition.

Ndị na-ebu eserese maka usoro PECVD nwere njirimara ndị a:

▪ Ịdị ọcha dị elu: ọdịnaya adịghị ọcha dị oke ala, na-ezere mmetọ nke ihe nkiri ahụ na ịgba mbọ hụ na ọ dị mma.

▪ Nnukwu njupụta: nnukwu njupụta, ike igwe dị elu, nwere ike iguzogide ọnọdụ okpomọkụ dị elu na nnukwu nrụgide PECVD.

▪ Nkwụsi ike nke akụkụ dị mma: obere mgbanwe mgbanwe na oke okpomọkụ, na-eme ka usoro kwụsie ike.

▪ Nrụpụta ọkụ dị mma: nyefee okpomọkụ nke ọma iji gbochie ikpo ọkụ wafer.

▪ Nguzogide corrosion siri ike: nwee ike iguzogide mbuze site na gas dị iche iche na-emebi emebi na plasma.

▪ Ọrụ ahaziri ahazi: Enwere ike ịhazi ndị na-ebu graphite nke nha na ụdị dị iche iche dabere na mkpa ndị ahịa.

Ihe eserese si na SGL:

Oke oke: R6510
Index	Nlele ọkọlọtọ	Uru	Nkeji
Nkezi nha ọka	ISO 13320	10	μm
Nnukwu njupụta	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Mepee porosity	DIN66133	10	%
Ogo pore ọkara	DIN66133	1.8	μm
Nkwenye	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell hardness HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specific eletriki resistivity	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Ike mgbanwe	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Ike mkpakọ	DIN 51910	130	MPa
modul nke ntorobịa	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Mgbasa ọkụ (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Nrụpụta ọkụ (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Emebere ya kpọmkwem maka nrụpụta cell cell dị elu nke ọma, na-akwado G12 nnukwu nhazi wafer. Nhazi ụgbọelu emebere nke ọma na-abawanye mmepụta nke ukwuu, na-eme ka ọnụego mkpụrụ dị elu na ọnụ ahịa mmepụta dị ala.

Ihe	Ụdị	Onye na-ebu wafer nọmba
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 156	156-13 grephite ụgbọ mmiri	144
	156-19 grephite ụgbọ mmiri	216
	156-21 grephite ụgbọ mmiri	240
	156-23 ụgbọ mmiri graphite	308
Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 125	125-15 grephite ụgbọ mmiri	196
	125-19 grephite ụgbọ mmiri	252
	125-21 grphite ụgbọ mmiri	280