Ike VETPECVD process graphite carrier bụ ihe eji eri nri dị elu nke e mere maka usoro PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). Ejiri ihe graphite dị ọcha, nke nwere njupụta dị elu mee ihe a, nke nwere ezigbo iguzogide okpomọkụ dị elu, iguzogide nchara, nkwụsi ike nha na njirimara ndị ọzọ, nwere ike inye ikpo okwu ebu ibu kwụsiri ike maka usoro PECVD, iji hụ na ihe nkiri dị gịrịgịrị dị n'otu na ịdị larịị.
Ndị na-ebu graphite maka usoro PECVD nwere njirimara ndị a:
▪ Ịdị ọcha dị elu: adịghị ọcha nke ukwuu, na-ezere mmetọ nke ihe nkiri ahụ ma na-ahụ na ihe nkiri ahụ dị mma.
▪ Oke njupụta: oke njupụta, ike igwe dị elu, ike iguzogide oke okpomọkụ na oke nrụgide gburugburu ebe obibi PECVD.
▪ Ịkwụsi ike dị mma n'akụkụ: obere mgbanwe n'akụkụ n'oge okpomọkụ dị elu, na-eme ka usoro ahụ kwụsie ike.
▪ Ọkwa okpomọkụ dị mma: nyefee okpomọkụ nke ọma iji gbochie oke okpomọkụ nke wafer.
▪ Ike siri ike nke na-eguzogide nchara: nwere ike iguzogide mbuze site na gas na plasma dị iche iche.
▪ Ọrụ ahaziri ahazi: enwere ike ịhazi ihe ndị na-ebu graphite nke nha na ọdịdị dị iche iche dịka mkpa ndị ahịa si dị.
Ihe e ji graphite mee site na SGL:
| Nha nkịtị: R6510 | |||
| Ndepụta Ndekọ | Ụkpụrụ nnwale | Uru | Ngalaba |
| Nkezi nha ọka | ISO 13320 | 10 | μm |
| Njupụta dị ukwuu | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Oghere mepere emepe | DIN66133 | 10 | % |
| Nha oghere dị ọkara | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Ịgafe | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Ike siri ike nke Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Nguzogide eletriki kpọmkwem | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Ike flexural | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Ike mkpakọ | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulu nke Young | DIN 51915 | 11.5 × 10³ | MPa |
| Mgbasawanye okpomọkụ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Ọkụ conductivity (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
E mere ya kpọmkwem maka imepụta sel anyanwụ dị elu, na-akwado nhazi wafer G12 buru ibu. Nhazi ụgbọ ibu kachasị mma na-eme ka mmepụta ya dịkwuo elu nke ukwuu, na-eme ka ọnụego mmepụta dị elu ma na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta.
| ihe | Ụdị | Onye na-ebu nọmba wafer |
| Ụgbọ mmiri PEVCD Grephite - Usoro 156 | Ụgbọ mmiri grephite nke 156-13 | 144 |
| Ụgbọ mmiri grephite nke 156-19 | 216 | |
| Ụgbọ mmiri grephite nke 156-21 | 240 | |
| Ụgbọ mmiri graphite 156-23 | 308 | |
| Ụgbọ mmiri Grephite nke PEVCD - Usoro 125 | Ụgbọ mmiri grephite 125-15 | 196 |
| Ụgbọ mmiri grephite nke 125-19 | 252 | |
| Ụgbọ mmiri grephite 125-21 | 280 |
-
Electric mgbapụta graphite na-agba bushing okpomọkụ res ...
-
Mgbanaka akara graphite dị elu na-eguzogide okpomọkụ c ...
-
Factory Graphite okpomọkụ maka agụụ ọkụ na-abụ abụ ...
-
Ihe eji eme ka eriri carbon sie ike, ihe ndị mejupụtara C/C
-
Ngwaahịa ọhụrụ mpempe akwụkwọ graphite akwụkwọ isostatic pres ...
-
Mgbaaka graphite omenala isostatic nrụgide graphit ...

