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炭素/炭素複合材（以下「C / CまたはCFC）は、炭素をベースとし、炭素繊維およびその製品（炭素繊維プリフォーム）で強化された複合材料の一種です。炭素の慣性と炭素繊維の高い強度を兼ね備え、優れた機械的特性、耐熱性、耐腐食性、摩擦減衰性、熱伝導性、電気伝導性を備えています。
CVD-SiCコーティングは、均一な構造、緻密な材料、耐高温性、耐酸化性、高純度、耐酸性・耐アルカリ性、有機試薬に対する耐性、安定した物理的・化学的性質などの特徴を備えています。
高純度グラファイト材料と比較すると、グラファイトは400℃で酸化が始まり、酸化による粉末の損失を引き起こし、周辺機器や真空チャンバーへの環境汚染を引き起こし、高純度環境の不純物を増加させます。
しかし、SiCコーティングは1600度でも物理的および化学的安定性を維持できるため、現代の産業、特に半導体産業で広く使用されています。
当社は、CVD法を用いてグラファイト、セラミックス等の材料表面にSiCコーティング加工サービスを提供しています。炭素とシリコンを含む特殊ガスを高温で反応させることで、高純度のSiC分子が得られます。この分子はコーティングされた材料の表面に堆積し、SiC保護層を形成します。形成されたSiCはグラファイト基材に強固に結合し、グラファイト基材に特殊な特性を付与します。これにより、グラファイト表面は緻密で、無孔性、耐高温性、耐腐食性、耐酸化性などの特性を備えています。
主な特徴:
1. 高温酸化耐性：
温度が 1600 ℃ まで上昇しても、耐酸化性は非常に良好です。
2. 高純度：高温塩素化条件下での化学蒸着により製造されます。
3. 耐侵食性：高硬度、緻密な表面、微粒子。
4. 耐腐食性：酸、アルカリ、塩、有機試薬。
CVD-SICコーティングの主な仕様：
| SiC-CVD | ||
| 密度 | （グラム/cc）
| 3.21 |
| 曲げ強度 | （メガパスカル）
| 470 |
| 熱膨張 | （10-6/K） | 4
|
| 熱伝導率 | （W/mK） | 300
|
