MOCVD K465i用長寿命SICコーティンググラファイトヒーター、エピタキシャル成長用グラファイトヒーター、
MOCVD用コーティンググラファイトヒーター、グラファイトヒーター、ヒーター、コーティンググラファイトヒーター,
MOCVD K465i用長寿命SICコーティンググラファイトヒーター
グラファイトヒーター部品は、真空環境下で2200℃、脱酸素・導入ガス環境下で3000℃に達する高温炉で使用される。
グラファイトヒーターの主な特徴:
1. 加熱構造の均一性。
2. 優れた電気伝導性と高い電気負荷。
3. 耐食性。
4. 不酸化性。
5. 高い化学的純度。
6. 高い機械的強度。
利点は、エネルギー効率が高く、価値が高く、メンテナンスの手間が少ないことです。
当社では、抗酸化性と長寿命に優れた黒鉛るつぼ、黒鉛鋳型、および黒鉛ヒーターのあらゆる部品を製造できます。
グラファイトヒーターの主なパラメータ:
| 技術仕様 | VET-M3 |
| かさ密度(g/cm³) | ≥1.85 |
| 灰分含有量(ppm) | ≤500 |
| ショア硬度 | 45歳以上 |
| 比抵抗(μΩ・m) | ≤12 |
| 曲げ強度(MPa) | 40歳以上 |
| 圧縮強度(MPa) | 70歳以上 |
| 最大粒径(μm) | ≤43 |
| 熱膨張係数(mm/℃) | ≤4.4×10⁻⁶ |
電気炉用黒鉛ヒーターは、耐熱性、耐酸化性、優れた電気伝導性、そして高い機械的強度といった特性を備えています。お客様のご要望に応じて、様々なタイプの黒鉛ヒーターを製造いたします。


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