Avansert porøs keramisk vakuumchuck
Porøs keramisk vakuumchucker en lastbærende plattform som bruker prinsippet om vakuumadsorpsjon for å fikse arbeidsstykker. Den delen av vakuumchucken som overfører vakuum er en porøs keramisk plate. Den porøse keramiske platen er montert i synkehullet i basen, og periferien er bundet og forseglet med basen. Basen er laget av presisjonskeramikk eller metallmaterialer. Ved å kombinere en metall- eller keramisk base med en spesiell porøs keramikk, muliggjør utformingen av den interne presisjonsluftveien jevn og stabil vedheft av arbeidsstykket til vakuumsugekoppen når den utsettes for negativt trykk.
På grunn av de ekstremt fine porene i porøs keramikk, kan arbeidsstykkets overflate festes til vakuumsugekoppen uten negative faktorer som riper eller bulker forårsaket av undertrykk.
Kjennetegn på porøs keramisk vakuumchuck:
① Tett og jevn struktur: Motstår adsorpsjon av silikonpulver/sliperester, enkel å rengjøre.
② Høy styrke og slitestyrke: Ingen deformasjon under sliping, minimerer avskalling/fragmentering av kantene.
③ Lang levetid: Utmerket formbestandighet på overflaten, lang avrettingssyklus med minimal fjerning.
④ Høy isolasjon: Eliminerer statisk elektrisitet.
⑤ Gjenbrukbar og enkel å behandle: Ingen sprekker/avskalling under overflatebehandling, mulig med flere omganger.
⑥ Støvfri og stabil: Fullstendig sintret, ingen partikkelutslipp.
⑦ Lett: Porøs struktur reduserer vekten betydelig.
⑧ Kjemisk resistens: Kan tilpasses for korrosive miljøer via material-/prosesskontroll.
Keramisk vakuumchuck VS tradisjonell metallsugekopp:
Keramisk vakuumchuck innen halvlederfeltet
Keramiske vakuumchucker fungerer som klemme- og bæreverktøy i produksjon av halvlederskiver. De har høy flathet og parallellitet, en tett og jevn struktur, høy styrke, god luftgjennomtrengelighet, jevn adsorpsjonskraft og enkel avretting. Disse egenskapene gjør dem egnet for prosesser i produksjon av halvlederskiver som tynning, skiving, sliping, rengjøring og håndtering. De håndterer effektivt utfordringer som waferpreging, elektrostatisk nedbrytning av brikker og partikkelforurensning, og oppnår ekstremt høy prosesseringskvalitet for halvlederskiver i praktiske anvendelser.
Datablad for keramiske materialer
| Punkt | 95 % aluminiumoksid | 99 % aluminiumoksid | Zirkoniumoksid | Silisiumkarbid | SilisiumNitride | AluminiumNitride |
| Farge | hvit | Lys gul | hvit | svart | svart | grå |
| Tetthet (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Vannabsorpsjon | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Hardhet (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Bøyestyrke (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Trykkfasthet (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Youngs elastisitetsmodul | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| Poissons forhold | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Termisk konduktivitet | 20 W/m°C | 32 W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25 W/m°C | 150 W/m°C |
| Dielektrisk styrke | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm |
| Volumresistivitet (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy er en profesjonell produsent som fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av avanserte materialer som grafitt, silisiumkarbid, kvarts, samt materialbehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.
VET Energys fordeler inkluderer:
• Egen fabrikk og profesjonelt laboratorium;
• Bransjeledende renhetsnivåer og kvalitet;
• Konkurransedyktig pris og rask leveringstid;
• Flere bransjepartnerskap over hele verden;
Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken og laboratoriet vårt når som helst!
