Keramisk skivevarmer AlN aluminiumoksidvarmeelement
I halvlederproduksjon må wafere bearbeides i ulike prosesser, som tynnfilmavsetning, etsing osv. I disse koblingene må wafere varmes opp til en viss temperatur, og det er strenge krav til temperaturen, fordi temperaturens jevnhet har en svært viktig innvirkning på produktutbyttet, og varmekomponenter er uunnværlige.
Keramisk varmeovnpåføres direkte på prosesskammeret og er i direkte kontakt med waferen. De bærer ikke bare waferen, men sørger også for at waferen oppnår en stabil og jevn prosesstemperatur. De er nøkkelkomponenter i tynnfilmavsetningsutstyr for halvledere!
Den keramiske varmeren har en keramisk base som støtter waferen og et sylindrisk støttelegeme på baksiden som støtter den. I tillegg til motstandselementet (varmelaget) for oppvarming, er det også radiofrekvenselektroder (RF-lag) inni eller på overflaten av den keramiske basen. For å oppnå rask oppvarming og avkjøling bør tykkelsen på den keramiske basen være tynn, men for tynn vil også redusere stivheten.
Støtten til den keramiske varmeren er vanligvis laget av keramisk materiale med en termisk utvidelseskoeffisient som ligner på basens. Varmeapparatet har en unik struktur med en akselforbindelse i bunnen for å beskytte terminalene og ledningene mot effekten av plasma og korrosive kjemiske gasser. Støtten er utstyrt med et innløps- og utløpsrør for varmeoverføringsgass for å sikre jevn temperatur på varmeapparatet. Basen og støtten er kjemisk bundet med et bindelag.
Keramiske varmeelementer kan være laget av keramikk som aluminiumnitrid (AlN), silisiumnitrid (Si3N4) og alumina (Al2O3). Blant disse er AlN det beste valget for keramiske varmeelementer. Sammenlignet med andre materialer har VET Energys AlN-keramikk følgende egenskaper:
(1) God varmeledningsevne;
(2) Tilpasset termisk ekspansjonskoeffisient til halvledersilisiummaterialer;
(3) Gode mekaniske egenskaper, utmerket slitestyrke og omfattende mekaniske egenskaper er bedre enn berylliumoksid og tilsvarende aluminiumoksid;
(4) Utmerkede omfattende elektriske egenskaper, utmerket elektrisk isolasjon og lavt dielektrisk tap;
(5) Giftfri og miljøvennlig.
Datablad for keramiske materialer
| Punkt | 95 % aluminiumoksid | 99 % aluminiumoksid | Zirkoniumoksid | Silisiumkarbid | SilisiumNitride | AluminiumNitride |
| Farge | hvit | Lys gul | hvit | svart | svart | grå |
| Tetthet (g/cm3) | 3,7 g/cm3 | 3,9 g/cm3 | 6,02 g/cm3 | 3,2 g/cm3 | 3,25 g/cm3 | 3,2 g/cm3 |
| Vannabsorpsjon | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% | 0% |
| Hardhet (HV) | 23,7 | 23,7 | 16,5 | 33 | 20 | - |
| Bøyestyrke (MPa) | 300 MPa | 400 MPa | 1100 MPa | 450 MPa | 800 MPa | 310 MPa |
| Trykkfasthet (MPa) | 2500 MPa | 2800 MPa | 3600 MPa | 2000 MPa | 2600 MPa | - |
| Youngs elastisitetsmodul | 300 GPa | 300 GPa | 320 GPa | 450 GPa | 290 GPa | 310~350 GPa |
| Poissons forhold | 0,23 | 0,23 | 0,25 | 0,14 | 0,24 | 0,24 |
| Termisk konduktivitet | 20 W/m°C | 32 W/m°C | 3W/m°C | 50W/m°C | 25 W/m°C | 150 W/m°C |
| Dielektrisk styrke | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm | 14 kV/mm |
| Volumresistivitet (25 ℃) | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm | >105Ω·cm | >1014Ω·cm | >1014Ω·cm |
VET Energy er en profesjonell produsent som fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av avanserte materialer som grafitt, silisiumkarbid, kvarts, samt materialbehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.
VET Energys fordeler inkluderer:
• Egen fabrikk og profesjonelt laboratorium;
• Bransjeledende renhetsnivåer og kvalitet;
• Konkurransedyktig pris og rask leveringstid;
• Flere bransjepartnerskap over hele verden;
Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken og laboratoriet vårt når som helst!
