ଉନ୍ନତ ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ପାଇଁ CVD ଆବରଣ

ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଇଞ୍ଜିନିୟର ହୋଇଥିବା, ଆମର ରାସାୟନିକ ବାଷ୍ପ ଜମା ​​(CVD) ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (SiC), ଟାଣ୍ଟାଲମ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ (TaC), ଏବଂ ପାଇରୋଲାଇଟିକ୍ କାର୍ବନ (PyC) ଆବରଣ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା, ଅତ୍ୟନ୍ତ ତାପଜ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ-ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା (< 5 ppm) ପ୍ରଦାନ କରେ। ଆକ୍ରମଣାତ୍ମକ ପ୍ଲାଜ୍ମା, ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ୍ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ସାଇକେଲିଂରୁ ଉଚ୍ଚ-ବିଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଏବଂ ସିରାମିକ୍ ସବ୍ଷ୍ଟେଟ୍‌ଗୁଡ଼ିକୁ ସୁରକ୍ଷା ଦେବା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା, ଆମର ଉନ୍ନତ ଆବରଣ କଣିକା ସୃଷ୍ଟିକୁ ହ୍ରାସ କରେ ଏବଂ ଉପାଦାନର ଜୀବନକାଳକୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରେ।ସିଲିକନ୍/SiC ଏପିଟାକ୍ସି, MOCVD, ପ୍ଲାଜ୍ମା ଏଚିଂ, ଏବଂ ମନୋକ୍ରିଷ୍ଟାଲ୍ ଅଭିବୃଦ୍ଧିଆପ୍ଲିକେସନ୍‌ଗୁଡ଼ିକ।