طلاءات الترسيب الكيميائي للبخار لمعالجة أشباه الموصلات المتقدمة

صُممت طبقاتنا من كربيد السيليكون (SiC) وكربيد التنتالوم (TaC) والكربون المحلل حرارياً (PyC) بتقنية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD) خصيصاً لبيئات تصنيع أشباه الموصلات الحساسة، حيث توفر خمولاً كيميائياً فائقاً، وثباتاً حرارياً عالياً، ونقاءً فائقاً (أقل من 5 جزء في المليون). صُممت هذه الطبقات المتقدمة لحماية ركائز الجرافيت والسيراميك عالية النقاء من البلازما القوية، وغازات العمليات التفاعلية، والتعرض لدورات حرارية عالية، مما يقلل من توليد الجسيمات ويطيل عمر المكونات بشكل ملحوظ.نمو طبقات السيليكون/كربيد السيليكون، والترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني، والحفر بالبلازما، ونمو البلورات الأحاديةالتطبيقات.