SiC ଆବୃତ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ହାଫମୁନ୍ ପାର୍ଟଏହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟବହୃତ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ଉପାଦାନ, ବିଶେଷକରି SiC ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଉପକରଣ ପାଇଁ। ଏହାର ଗଠନାତ୍ମକ ଡିଜାଇନ୍ ଏବଂ ସାମଗ୍ରୀ ଗୁଣଗୁଡ଼ିକ ସିଧାସଳଖ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ୱେଫର୍ସର ଗୁଣବତ୍ତା ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଦକ୍ଷତା ନିର୍ଣ୍ଣୟ କରେ।
ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଚାମ୍ବର ନିର୍ମାଣ:
ଅର୍ଦ୍ଧଚନ୍ଦ୍ର ଅଂଶ ଦୁଇଟି ଅଂଶରେ ଗଠିତ, ଉପର ଏବଂ ତଳ ଅଂଶ, ଯାହାକୁ ଏକତ୍ର ବକଲ୍ କରାଯାଇ ଏକ ବନ୍ଦ ବୃଦ୍ଧି ପ୍ରକୋଷ୍ଠ ଗଠନ କରାଯାଏ, ଯାହା ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (ସାଧାରଣତଃ 4H-SiC କିମ୍ବା 6H-SiC)କୁ ସମାହିତ କରେ ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ପ୍ରବାହ କ୍ଷେତ୍ରକୁ ସଠିକ୍ ଭାବରେ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କରି ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର ବୃଦ୍ଧି ହାସଲ କରେ (ଯେପରିକି SiH₄, C₃H₈, ଏବଂ H₂ ର ମିଶ୍ରଣ)।
ତାପମାତ୍ରା କ୍ଷେତ୍ର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ:
ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତର ଘନତାର ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଇଣ୍ଡକ୍ସନ୍ ହିଟିଂ କଏଲ ସହିତ ମିଶ୍ରିତ ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ବେସ୍ 1500-1700°C ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଚାମ୍ବର ତାପମାତ୍ରା ସମାନତା (±5°C ମଧ୍ୟରେ) ବଜାୟ ରଖିପାରିବ।
ବାୟୁପ୍ରବାହ ମାର୍ଗଦର୍ଶନ:
ବାୟୁ ପ୍ରବେଶ ଏବଂ ପ୍ରବେଶ ପଥ (ଯେପରିକି ଭୂସମାନ୍ତର ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ ବଡିର ପାର୍ଶ୍ୱ ବାୟୁ ପ୍ରବେଶ ଏବଂ ଉପର ବାୟୁ ପ୍ରବେଶ ପଥ) ର ସ୍ଥିତି ଡିଜାଇନ୍ କରି, ପ୍ରତିକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସ ଲାମିନାର ପ୍ରବାହକୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ପୃଷ୍ଠ ଦେଇ ନିର୍ଦ୍ଦେଶିତ କରାଯାଏ ଯାହା ଦ୍ଵାରା ଅଶାନ୍ତି ଯୋଗୁଁ ବୃଦ୍ଧି ତ୍ରୁଟି ହ୍ରାସ ପାଇଥାଏ।
ମୂଳ ସାମଗ୍ରୀ: ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍
ପବିତ୍ରତା ଆବଶ୍ୟକତା:ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ସ୍ତରକୁ ଦୂଷିତ କରିବା ପାଇଁ କୌଣସି ଅଶୁଦ୍ଧତା ଅବଶେଷ ନ ହେବା ନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ କାର୍ବନ ପରିମାଣ ≥99.99%, ପାଉଁଶ ପରିମାଣ ≤5ppm।
କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ସୁବିଧା:
ଉଚ୍ଚ ତାପଜ ପରିବାହୀତା:କୋଠରୀ ତାପମାତ୍ରାରେ ତାପଜ ପରିବାହୀତା 150W/(m・K) ରେ ପହଞ୍ଚିଥାଏ, ଯାହା ତମ୍ବା ସ୍ତରର ନିକଟତର ଏବଂ ଶୀଘ୍ର ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରିପାରେ।
ନିମ୍ନ ବିସ୍ତାର ଗୁଣାଙ୍କ:୫×୧୦-6/℃ (25-1000℃), ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ (4.2×10) ସହିତ ମେଳ ଖାଉଥିବା-6/℃), ତାପଜ ଚାପ ହେତୁ ଆବରଣର ଫାଟକୁ ହ୍ରାସ କରିଥାଏ।
ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣ ସଠିକତା:ଚାମ୍ବରକୁ ସିଲ୍ କରିବା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ CNC ମେସିନିଂ ମାଧ୍ୟମରେ ±0.05mm ପରିମାଣର ଏକ ଡାଇମେନ୍ସନ୍ଲ ସହନଶୀଳତା ହାସଲ କରାଯାଏ।
CVD SiC ଏବଂ CVD TaC ର ପୃଥକ ପ୍ରୟୋଗ
| ଆବରଣ | ପ୍ରକ୍ରିୟା | ତୁଳନା | ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ |
| CVD-SiCName | ତାପମାତ୍ରା: ୧୦୦୦-୧୨୦୦℃ଚାପ: ୧୦-୧୦୦ ଟର୍ | କଠିନତା HV2500, ଘନତା 50-100um, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅକ୍ସିଡେସନ ପ୍ରତିରୋଧ (1600℃ ତଳେ ସ୍ଥିର) | ହାଇଡ୍ରୋଜେନ ଏବଂ ସାଇଲେନ୍ ଭଳି ପାରମ୍ପରିକ ବାୟୁମଣ୍ଡଳ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ ସାର୍ବଜନୀନ ଏପିଟାକ୍ସିଆଲ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍ |
| ସିଭିଡି-ଟାସି | ତାପମାତ୍ରା: ୧୬୦୦-୧୮୦୦℃ଚାପ: ୧-୧୦ ଟର୍ | କଠିନତା HV3000, ମୋଟେଇ 20-50um, ଅତ୍ୟନ୍ତ କ୍ଷୟ-ପ୍ରତିରୋଧୀ (HCl, NH₃, ଇତ୍ୟାଦି କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସଗୁଡିକୁ ସହ୍ୟ କରିପାରେ) | ଅତ୍ୟଧିକ କ୍ଷୟକାରୀ ପରିବେଶ (ଯେପରିକି GaN ଏପିଟାକ୍ସି ଏବଂ ଏଚିଂ ଉପକରଣ), କିମ୍ବା 2600°C ଅତି-ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଆବଶ୍ୟକ କରୁଥିବା ସ୍ୱତନ୍ତ୍ର ପ୍ରକ୍ରିୟା। |
VET Energy ହେଉଛି ଏକ ବୃତ୍ତିଗତ ନିର୍ମାତା ଯାହା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍, କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଭଳି ଉଚ୍ଚମାନର ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀର ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ, ଏବଂ SiC ଆବରଣ, TaC ଆବରଣ, ଗ୍ଲାସି କାର୍ବନ ଆବରଣ, ପାଇରୋଲାଇଟିକ୍ କାର୍ବନ ଆବରଣ, ଇତ୍ୟାଦି ସାମଗ୍ରୀ ଚିକିତ୍ସା ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ। ଏହି ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ନୂତନ ଶକ୍ତି, ଧାତୁବିଦ୍ୟା ଇତ୍ୟାଦିରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଆମର ବୈଷୟିକ ଦଳ ଶ୍ରେଷ୍ଠ ଘରୋଇ ଗବେଷଣା ପ୍ରତିଷ୍ଠାନରୁ ଆସିଛନ୍ତି, ଆପଣଙ୍କ ପାଇଁ ଅଧିକ ବୃତ୍ତିଗତ ସାମଗ୍ରୀ ସମାଧାନ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବେ।
VET ଶକ୍ତିର ସୁବିଧାଗୁଡ଼ିକରେ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ:
• ନିଜସ୍ୱ କାରଖାନା ଏବଂ ବୃତ୍ତିଗତ ପରୀକ୍ଷାଗାର;
• ଶିଳ୍ପ-ଅଗ୍ରଣୀ ଶୁଦ୍ଧତା ସ୍ତର ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା;
• ପ୍ରତିଯୋଗିତାମୂଳକ ମୂଲ୍ୟ ଏବଂ ଦ୍ରୁତ ବିତରଣ ସମୟ;
• ବିଶ୍ୱବ୍ୟାପୀ ବହୁବିଧ ଶିଳ୍ପ ସହଭାଗୀତା;
ଯେକୌଣସି ସମୟରେ ଆମର କାରଖାନା ଏବଂ ପରୀକ୍ଷାଗାର ଦେଖିବାକୁ ଆପଣଙ୍କୁ ସ୍ୱାଗତ କରୁଛୁ!
