የሲቪዲ ሽፋን

ለላቀ ሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ የሲቪዲ ሽፋኖች

ለአስፈላጊ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ አካባቢዎች የተነደፉት የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD) ሲሊከን ካርባይድ (SiC)፣ የታንታለም ካርባይድ (TaC) እና ፒሮሊቲክ ካርቦን (PyC) ሽፋኖች እጅግ በጣም ጥሩ የኬሚካል ኢንተለጀንስ፣ ከፍተኛ የሙቀት መረጋጋት እና እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህናን (< 5 ppm) ያቀርባሉ። ከፍተኛ ንፅህና ያላቸውን ግራፋይት እና የሴራሚክ ንጣፎችን ከኃይለኛ ፕላዝማ፣ ምላሽ ሰጪ የሂደት ጋዞች እና ከፍተኛ የሙቀት ዑደት ለመጠበቅ የተነደፈ ሲሆን የላቁ ሽፋኖቻችን የቅንጣት ማመንጨትን ይቀንሳሉ እና የክፍሉን ዕድሜ በከፍተኛ ሁኔታ ያራዝማሉ።ሲሊከን/ሲሲ ኤፒታክሲ፣ ሞኮቪዲ፣ ፕላዝማ ኢቺንግ እና ሞኖክሪስታል ግሮውዝአፕሊኬሽኖች።

እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና (< 5 ppm)

ወሳኝ በሆኑ ሂደቶች ውስጥ የዋፈር ብክለትን ለመከላከል በGDMS የተረጋገጠ ዝቅተኛ የብረት ቆሻሻ።

የላቀ የፕላዝማ እና የጋዝ መቋቋም

ጥቅጥቅ ያለ የክሪስታሊን መዋቅር ከሃሎጅን ፕላዝማ (CF₄፣ NF₃፣ Cl₂) እና ከዝገት ጋዞች ይከላከላል።

የተመቻቸ የሙቀት ማዛመጃ

ጥብቅ የCTE ቁጥጥር በከባድ የሙቀት ድንጋጤዎች ወቅት ጥቃቅን ስንጥቆችን እና የሽፋን መበላሸትን ያስወግዳል።

የሽፋን አይነት	ቁልፍ የቴክኒክ ጥቅም	ዋና የሂደት ማመልከቻ
የሲቪዲ ሲሲ ሽፋን	ከፍተኛ የሙቀት ማስተላለፊያ፣ እጅግ በጣም ጥሩ የፕላዝማ መሸርሸር መቋቋም	ደረቅ ኤች፣ ሲ ኤፒታክሲ፣ ኤምኦሲቪዲ፣ ክሪስታል ግሮውዝ
የሲቪዲ ታሲ ሽፋን	ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም (>2000°C)፣ የዝገት መከላከያ H₂/SiH₄	SiC Epitaxy፣ Single-Crystal SiC PVT Growth
የፒሲ ሽፋን	የሄርሜቲክ ጋዝ ማሸጊያ፣ እጅግ በጣም ለስላሳ አኒሶትሮፒክ የካርቦን ወለል	የሙቀት መስክ መከላከያ፣ CZ ሞኖክሪስታሊን ሲሊከን