ציפוי CVD

ציפויי CVD לעיבוד מוליכים למחצה מתקדם

ציפויי סיליקון קרביד (SiC), טנטלום קרביד (TaC) ופחמן פירוליטי (PyC) שלנו, המתוכננים עבור סביבות ייצור קריטיות של מוליכים למחצה, מספקים אינרטיות כימית יוצאת דופן, יציבות תרמית קיצונית וטוהר גבוה במיוחד (< 5 ppm). הציפויים המתקדמים שלנו, שנועדו להגן על מצעים גרפיט וקרמיים בעלי טוהר גבוה מפני פלזמה אגרסיבית, גזי תהליך ריאקטיביים ומחזורי חום גבוהים, ממזערים את יצירת החלקיקים ומאריכים משמעותית את תוחלת החיים של הרכיבים.אפיטקסיה של סיליקון/SiC, MOCVD, איכול בפלזמה וגידול מונוקריסטלייישומים.

טוהר אולטרה-גבוה (< 5 ppm)

זיהומים מתכתיים נמוכים מאומתים על ידי GDMS למניעת זיהום פרוסות סיליקון בתהליכים קריטיים.

עמידות מעולה לפלזמה וגז

מבנה גבישי צפוף מגן מפני פלזמת הלוגן (CF₄, NF₃, Cl₂) וגזים קורוזיביים.

התאמה תרמית אופטימלית

בקרת CTE קפדנית מבטלת סדקים מיקרוסקופיים והתפרקות ציפוי תחת זעזועים תרמיים חמורים.

סוג ציפוי	יתרון טכני מרכזי	יישום תהליך ראשוני
ציפוי CVD SiC	מוליכות תרמית גבוהה, עמידות מצוינת בפני שחיקת פלזמה	איכול יבש, אפיטקסיה של סיליקה, MOCVD, צמיחת גבישים
ציפוי CVD TaC	עמידות לטמפרטורות קיצוניות (מעל 2000°C), מחסום קורוזיה H₂/SiH₄	אפיטקסיה של SiC, גידול PVT של SiC גבישי יחיד
ציפוי PyC	איטום גז הרמטי, משטח פחמן אניזוטרופי חלק במיוחד	בידוד שדה תרמי, סיליקון מונוקריסטלי CZ