କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ୱେଫର୍ ଡଙ୍ଗାଏହା ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ, ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍ କୋଷ ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀ ଗବେଷଣା ଏବଂ ବିକାଶରେ ଏକ ପ୍ରମୁଖ ବାହକ ଉପକରଣ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ତାପମାନ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ସ୍ଥିର ୱେଫର ସ୍ଥାନାନ୍ତର ଏବଂ ସ୍ଥିତିକରଣ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି। ଏହି ଉତ୍ପାଦଟି ଅତ୍ୟଧିକ-ଉଚ୍ଚ ଶୁଦ୍ଧତା ଫ୍ୟୁଜଡ୍ ସିଲିକା (SiO2) ରେ ତିଆରି, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, ରାସାୟନିକ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅତ୍ୟଧିକ-ନିମ୍ନ ଧାତୁ ପ୍ରଦୂଷଣ ଗୁଣ ସହିତ, ପ୍ରସାରଣ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, ଅକ୍ସିଡେସନ୍ ଫର୍ଣ୍ଣେସ୍, PECVD/LPCVD ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ଉପକରଣ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ, ୱେଫର ଆବରଣ, ଆୟନ୍ ଇମ୍ପ୍ଲାଣ୍ଟେସନ୍, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଆନିଲିଂ ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ କୋର୍ ପ୍ରକ୍ରିୟାରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ।
VET ଏନର୍ଜିର କ୍ୱାର୍ଟଜ୍ ଡଙ୍ଗାର ମୁଖ୍ୟ ଲାଭ:
- ଅତ୍ୟଧିକ-ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା ସାମଗ୍ରୀ
ଶୁଦ୍ଧତା ≥99.99%: ଅଶୁଦ୍ଧତା ପରିମାଣ (Na, K, Fe, ଇତ୍ୟାଦି) <5ppm, ୱାଫର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଏଡାଏ ଏବଂ ଚିପ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଗ୍ୟାରେଣ୍ଟି ଦିଏ।
କମ୍ ବୃଷ୍ଟିପାତ ଏବଂ ଶୋଷଣ: କଣିକା ଆବଦ୍ଧତା ଏବଂ ଗ୍ୟାସ ଅବଶିଷ୍ଟ୍ୟକୁ ହ୍ରାସ କରିବା ପାଇଁ ପୃଷ୍ଠକୁ ସୁପର-ପଲିସ୍ (Ra≤0.4μm) କରାଯାଇଛି। - ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ସ୍ଥିରତା
ତାପମାତ୍ରା ସୀମା: ଦୀର୍ଘକାଳୀନ କାର୍ଯ୍ୟ ତାପମାତ୍ରା 1100 ℃, କ୍ଷଣସ୍ଥାୟୀ ସର୍ବାଧିକ 1300 ℃, କୌଣସି ବିକୃତି ନାହିଁ, କୌଣସି ସ୍ଫଟିକ ଅବପାତ ନାହିଁ।
କମ୍ ତାପଜ ପ୍ରସାରଣ ଗୁଣାଙ୍କ (5.5x10-7/℃), ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ଆଘାତ ପ୍ରତିରୋଧ, ଦ୍ରୁତ ତାପମାତ୍ରା ବୃଦ୍ଧି ଏବଂ ହ୍ରାସ ପ୍ରକ୍ରିୟା (ଯଥା RTP ଦ୍ରୁତ ଆନିଲିଂ) ସହିତ ଅନୁକୂଳନଯୋଗ୍ୟ। - ସଠିକ୍ ଗଠନମୂଳକ ଡିଜାଇନ୍
ସ୍ଲଟ୍ ସଠିକତା±0.1mm: 2” ରୁ 12” ୱେଫରଗୁଡ଼ିକୁ ମେଳ ଖାଉଥିବା, ବ୍ୟବଧାନ ଏକରୂପତା ତ୍ରୁଟି <0.05mm, ନିଶ୍ଚିତ କରୁଛି ଯେ ୱେଫରଗୁଡ଼ିକର କୌଣସି ଅଫସେଟ୍ ନାହିଁ।
ଉଚ୍ଚ ଲୋଡ୍ କ୍ଷମତା: ଗୋଟିଏ ଡଙ୍ଗାରେ ସର୍ବାଧିକ 50ଟି ୱାଫର (12” ୱାଫର ଦୃଷ୍ଟିରୁ) ଲୋଡ୍, ପତଳା ୱାଫରର ସ୍ଥିର ସ୍ଥାନାନ୍ତରକୁ ସମର୍ଥନ କରେ (≥100um)। - ରାସାୟନିକ ଜଡ଼ତା
କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧ: ଏସିଡ୍ (HF ବ୍ୟତୀତ), କ୍ଷାର ଏବଂ ଜୈବ ଦ୍ରାବକ କ୍ଷୟ ପ୍ରତିରୋଧୀ, CMP ସଫା ପ୍ରକ୍ରିୟା ସହିତ ସୁସଙ୍ଗତ।
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଗ୍ୟାସ୍ ନିବିଡ଼ତା: ଲିକେଜ୍ ହାର <5x10-10 Pa.m3/s, ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଏବଂ ସୁରକ୍ଷାାତ୍ମକ ଗ୍ୟାସ୍ ପରିବେଶ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ। - ଦୀର୍ଘ ଜୀବନ ଏବଂ ରକ୍ଷଣାବେକ୍ଷଣ କ୍ଷମତା
ଜୀବନକାଳ ≥ 5000 ଚକ୍ର (ସାଧାରଣ କାର୍ଯ୍ୟ ଅବସ୍ଥା), ପୃଷ୍ଠକୁ ବାରମ୍ବାର ସଫା ଏବଂ ବ୍ୟବହାର କରାଯାଇପାରିବ, ଯାହା ଦ୍ଵାରା ମୋଟ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ ପାଇବ।
ମଡ୍ୟୁଲାର୍ ଡିଜାଇନ୍: ଆଂଶିକ ପ୍ରତିସ୍ଥାପନକୁ ସମର୍ଥନ କରେ (ଯଥା ଗୋଟିଏ ଡଙ୍ଗା ଦାନ୍ତ), ଡାଉନଟାଇମ୍ ହ୍ରାସ କରେ।
ଆମେ ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ ସ୍ୱଚ୍ଛ ଏବଂ ତୁଷାରପାତିତ ପୃଷ୍ଠ ଉଭୟ ପ୍ରଦାନ କରୁ:
ନିଙ୍ଗବୋ ଭିଇଟି ଏନର୍ଜି ଟେକ୍ନୋଲୋଜି କୋ., ଲିମିଟେଡ୍ ଏକ ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରଯୁକ୍ତି ଉଦ୍ୟୋଗ ଯାହା ଉଚ୍ଚ-ପ୍ରଯୁକ୍ତିଗତ ଉନ୍ନତ ସାମଗ୍ରୀର ଉତ୍ପାଦନ ଏବଂ ବିକ୍ରୟ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ କେନ୍ଦ୍ରିତ କରେ, ଗ୍ରାଫାଇଟ୍, ସିଲିକନ୍ କାର୍ବାଇଡ୍, ସେରାମିକ୍ସ, ପୃଷ୍ଠ ଚିକିତ୍ସା ଯେପରିକି SiC ଆବରଣ, TaC ଆବରଣ, ଗ୍ଲାସି କାର୍ବନ ଆବରଣ, ପାଇରୋଲାଇଟିକ୍ କାର୍ବନ ଆବରଣ, ଇତ୍ୟାଦି ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା, ଏହି ଉତ୍ପାଦଗୁଡ଼ିକ ଫଟୋଭୋଲଟାଇକ୍, ସେମିକଣ୍ଡକ୍ଟର, ନୂତନ ଶକ୍ତି, ଧାତୁବିଦ୍ୟା ଇତ୍ୟାଦିରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
ଆମର ବୈଷୟିକ ଦଳ ଶ୍ରେଷ୍ଠ ଘରୋଇ ଗବେଷଣା ପ୍ରତିଷ୍ଠାନରୁ ଆସିଛନ୍ତି, ଏବଂ ଉତ୍ପାଦ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ଗୁଣବତ୍ତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିବା ପାଇଁ ଅନେକ ପେଟେଣ୍ଟ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ବିକଶିତ କରିଛନ୍ତି, ଗ୍ରାହକମାନଙ୍କୁ ବୃତ୍ତିଗତ ସାମଗ୍ରୀ ସମାଧାନ ମଧ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବେ।
