VET MalosiagaO le PECVD process graphite carrier ose mea'ai maualuga e fa'aogaina mo le PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). O lenei vaʻa graphite e faia i le maualuga-mama, maualuga-density graphite mea, faʻatasi ai ma le maualuga maualuga o le teteʻeina o le vevela, teteʻe o le corrosion, tulaga mautu ma isi uiga, e mafai ona maua ai se faʻamautu faʻamautu mo le faagasologa o le PECVD, e faʻamautinoa ai le tutusa ma le mafolafola o le faʻaputuina o ata manifinifi.
O lo'o i ai fa'ailoga o lo'o i ai fa'amaumauga nei:
▪ maualuga le mama: matua maualalo le mama i totonu, aloese mai le faaleagaina o le ata ma faʻamautinoa le lelei o ata.
▪ Maualuga maualuga: maualuga maualuga, malosi faʻainisinia maualuga, mafai ona tatalia le maualuga o le vevela ma le maualuga o le siosiomaga PECVD.
▪ Tulaga lelei: suiga laiti i le vevela maualuga, faʻamautinoa le mautu o le faagasologa.
▪ E lelei tele le fe'avea'i o le vevela: fe'avea'i lelei le vevela e puipuia ai le vevela tele.
▪ Malosi e tete'e i le pala: mafai ona tete'e le tafia e ala eseese kasa ma le plasma.
▪ Auaunaga faʻapitoa: e mafai ona faʻapipiʻiina e faʻapipiʻi graphite o lapopoa ma foliga eseese e tusa ai ma manaʻoga o tagata faʻatau.
Mea kalafi mai le SGL:
| Fa'ailoga masani: R6510 | |||
| Fa'asinomaga | Su'ega tulaga | Taua | Vaega |
| Ole fua ole fua | ISO 13320 | 10 | μm |
| Fa'atosina tele | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Matala porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Lapo'a pore feololo | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Talitonu | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Malosi Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Fa'asao eletise fa'apitoa | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Malosi fa'apa'u | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Malosi fa'amalosi | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus a talavou | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Fa'alautelega vevela(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Amioga vevela (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O lo'o fa'atulagaina faapitoa mo le gaosiga o le la, e lagolagoina ai le G12 tele-tele-tele fa'agaoioiga. Fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga va'ava'a e fa'atuputeleina le fa'asili, ma fa'atupu ai le maualuga o fua fa'atatau ma fa'aitiitia tau o gaosiga.
| Aitema | Ituaiga | Numera wafer ave |
| PEVCD Grephite vaa - Le 156 faasologa | 156-13 vaa grephite | 144 |
| 156-19 vaa grephite | 216 | |
| 156-21 vaa grephite | 240 | |
| 156-23 vaa kalafi | 308 | |
| PEVCD Grephite vaa - Le 125 faasologa | 125-15 vaa grephite | 196 |
| 125-19 vaa grephite | 252 | |
| 125-21 vaa griphite | 280 |
