VET MalosiagaO le avega karapiti o le faagasologa o le PECVD o se mea e fa'aaogaina maualuga le tulaga lelei ua mamanuina mo le faagasologa o le PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition). O lenei avega karapiti e faia i mea karapiti e maualuga le mama, maualuga le mafiafia, e matua'i tete'e atu i le vevela maualuga, tete'e atu i le 'ele, mautu le fua ma isi uiga, e mafai ona maua ai se tulaga mautu mo le faagasologa o le PECVD, ina ia mautinoa le tutusa ma le lamolemole o le teuina o ata manifinifi.
O mea e feavea'i ai le kalafi mo le fa'agasologa o le PECVD e iai uiga nei:
▪ Mama maualuga: e matuā maualalo lava le mea e leaga ai, e ʻalofia ai le pisia o le ata tifaga ma faʻamautinoa ai le lelei o le ata tifaga.
▪ Maualuga le mafiafia: maualuga le mafiafia, malosi fa'amekanika maualuga, mafai ona tatalia le vevela maualuga ma le mamafa maualuga o le siosiomaga PECVD.
▪ Mausali lelei o le fua: suiga laiti o le fua i le vevela maualuga, ma mautinoa ai le mautu o le faagasologa.
▪ Lelei le fa'avevela: fa'aliliuina lelei le vevela e puipuia ai le so'ona vevela o le wafer.
▪ Tete'e malosi i le 'ele: mafai ona tete'e atu i le soloia e kasa 'ele eseese ma le plasma.
▪ Auaunaga fa'apitoa: e mafai ona fa'apitoaina mea e feavea'i ai karapiti o lapopo'a ma foliga eseese e tusa ai ma mana'oga o tagata fa'atau.
Mea fa'akalafi mai le SGL:
| Fa'ailoga masani: R6510 | |||
| Fa'asino Upu | Tulaga fa'ata'ita'i | Taua | Iunite |
| Tele masani o le saito | ISO 13320 | 10 | μm |
| Mafiafia tele | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | kalama/senitimi3 |
| Porosity tatala | DIN66133 | 10 | % |
| Tele o pu e feololo | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Fa'asusu | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Ma'a'a o Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Tete'e fa'apitoa o le eletise | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Malosiaga fa'apipi'i | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Malosi fa'apipi'i | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus a Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Fa'alauteleina o le vevela (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Fa'avevela (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ua mamanuina faapitoa mo le gaosiga o sela o le la e maualuga le lelei, e lagolagoina ai le faagasologa o le tele o le G12 wafer. O le mamanu sili ona lelei o le aveta'avale e fa'ateleina ai le gaosiga, ma mafai ai ona maualuga le fua faatatau o le seleselega ma fa'aitiitia ai tau o le gaosiga.
| Mea | Ituaiga | Avetaavale numera |
| Va'a PEVCD Grephite - O le fa'asologa 156 | 156-13 va'a grephite | 144 |
| 156-19 va'a grephite | 216 | |
| 156-21 va'a grephite | 240 | |
| 156-23 va'a karapite | 308 | |
| Va'a PEVCD Grephite - O le fa'asologa 125 | Va'a grephite 125-15 | 196 |
| 125-19 va'a grephite | 252 | |
| Va'a 125-21 graphite | 280 |
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