Сусцептор обложен TaC-ом за опрему за епитаксију

Кратак опис:

VET пружа специјализоване тантал карбидне (TaC) премазе за различите компоненте и носаче. VET-ов водећи процес премазивања омогућава тантал карбидним (TaC) премазима да постигну високу чистоћу, стабилност на високим температурама и високу хемијску толеранцију, побољшавајући квалитет производа SIC/GAN кристала и EPI слојева, и продужавајући век трајања кључних компоненти реактора. Употреба тантал карбидног TaC премаза решава проблем ивица и побољшава квалитет раста кристала, а VET је постигао пробој у технологији тантал карбидног премазивања (CVD), достигавши међународни напредни ниво.

Пошаљите нам имејл Преузми као PDF

Детаљи производа

Ознаке производа

TaC премазПодлога је танак филм направљен одтантал карбидматеријал, који се наноси на површину подлоге епитаксијалне опреме.TaC премазима много одличних својстава, што га чини идеалним избором.

TaC премаз је врста тантал карбидног (TaC) премаза припремљеног технологијом физичког таложења из паре, који има следеће карактеристике:

1. Висока тврдоћа: Тврдоћа TaC премаза је висока, обично може достићи 2500-3000HV, што је одличан тврди премаз.

2. Отпорност на хабање: TaC премаз је веома отпоран на хабање, што може ефикасно смањити хабање и оштећење механичких делова током употребе.

3. Добра отпорност на високе температуре: TaC премаз такође може одржати своје одличне перформансе у условима високе температуре.

4. Добра хемијска стабилност: TaC премаз има добру хемијску стабилност и може да одоли многим хемијским реакцијама, као што су киселине и базе.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Физичка својства ТаЦ премаз
密度/ Густина	14,3 (г/цм³)
比辐射率 / Специфична емисивност	0,3
热膨胀系数 Коефицијент термичког ширења	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Тврдоћа (HK)	2000. године у Хонгконгу
电阻 / Отпор	1×10^-5 Ом*цм
热稳定性 / Термичка стабилност	<2500℃
石墨尺寸变化 / Промене величине графита	-10~-20ум
涂层厚度 / Дебљина премаза	Типична вредност ≥20um (35um±10um)

Нингбо ВЕТ Енерџи Текнолоџи Ко., Лтд је високотехнолошко предузеће које се фокусира на производњу и продају врхунских напредних материјала, а материјали и технологије обухватају графит, силицијум карбид, керамику, површинску обраду и тако даље. Производи се широко користе у фотонапонској индустрији, полупроводницима, новој енергији, металургији итд.

Наш технички тим долази из водећих домаћих истраживачких институција и може вам пружити професионалнија материјална решења.

Срдачно вас поздрављамо да посетите нашу фабрику, хајде да даље разговарамо!