Susceptor phủ TaC cho thiết bị Epitaxy

Mô tả ngắn gọn:

VET cung cấp lớp phủ tantalum carbide (TaC) chuyên dụng cho nhiều thành phần và chất mang khác nhau. Quy trình phủ hàng đầu của VET cho phép lớp phủ tantalum carbide (TaC) đạt được độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt độ cao và khả năng chịu hóa chất cao, cải thiện chất lượng sản phẩm của tinh thể SIC/GAN và lớp EPI, đồng thời kéo dài tuổi thọ của các thành phần lò phản ứng chính. Việc sử dụng lớp phủ tantalum carbide TaC là để giải quyết vấn đề cạnh và cải thiện chất lượng phát triển tinh thể, và VET đã giải quyết đột phá công nghệ phủ tantalum carbide (CVD), đạt đến trình độ tiên tiến quốc tế.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

TaC phủchất nền là một lớp màng mỏng được làm bằngcacbua tantalivật liệu được áp dụng cho bề mặt của chất nền thiết bị epitaxial.Lớp phủ TaCcó nhiều đặc tính tuyệt vời, là sự lựa chọn lý tưởng.

Lớp phủ TaC là một loại lớp phủ tantalum carbide (TaC) được chế tạo bằng công nghệ lắng đọng hơi vật lý, có các đặc điểm sau:

1. Độ cứng cao: Độ cứng của lớp phủ TaC cao, thường có thể đạt tới 2500-3000HV, là lớp phủ cứng tuyệt vời.

2. Khả năng chống mài mòn: Lớp phủ TaC có khả năng chống mài mòn rất cao, có thể làm giảm hiệu quả sự mài mòn và hư hỏng của các bộ phận cơ khí trong quá trình sử dụng.

3. Khả năng chịu nhiệt độ cao tốt: Lớp phủ TaC cũng có thể duy trì hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao.

4. Độ ổn định hóa học tốt: Lớp phủ TaC có độ ổn định hóa học tốt và có thể chống lại nhiều phản ứng hóa học, chẳng hạn như axit và bazơ.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Tính chất vật lý của TaC lớp phủ

密度/ Tỉ trọng

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Độ phát xạ riêng

0,3

热膨胀系数 / Hệ số giãn nở nhiệt

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Độ cứng (HK)

2000 Hồng Kông

电阻 / Sức chống cự

1×10-5 Ôm*cm

热稳定性 / Độ ổn định nhiệt

<2500℃

石墨尺寸变化 / Thay đổi kích thước than chì

-10~-20um

涂层厚度 / Độ dày lớp phủ

Giá trị điển hình ≥20um (35um±10um)

 

Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng VET Ninh Ba là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào sản xuất và bán các vật liệu tiên tiến cao cấp, vật liệu và công nghệ bao gồm than chì, silicon carbide, gốm sứ, xử lý bề mặt, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.

Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến trên WhatsApp!