Susceptor obložen TaC-om za opremu za epitaksiju

Kratak opis:

VET nudi specijalizirane tantal karbidne (TaC) premaze za različite komponente i nosače. VET-ov vodeći proces premazivanja omogućava tantal karbidnim (TaC) premazima da postignu visoku čistoću, stabilnost na visokim temperaturama i visoku hemijsku toleranciju, poboljšavajući kvalitet proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva, te produžavajući vijek trajanja ključnih komponenti reaktora. Upotreba tantal karbidnog TaC premaza rješava problem rubova i poboljšava kvalitet rasta kristala, a VET je postigao revolucionarno rješenje za tehnologiju tantal karbidnog premazivanja (CVD), dostigavši međunarodni napredni nivo.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

TaC premazPodloga je tanki film napravljen odtantal karbidmaterijal koji se nanosi na površinu podloge epitaksijalne opreme.TaC premazima mnogo odličnih svojstava, što ga čini idealnim izborom.

TaC premaz je vrsta tantal karbidnog (TaC) premaza pripremljenog tehnologijom fizičkog taloženja iz pare, a ima sljedeće karakteristike:

1. Visoka tvrdoća: Tvrdoća TaC premaza je visoka, obično može doseći 2500-3000HV, što ga čini odličnim tvrdim premazom.

2. Otpornost na habanje: TaC premaz je veoma otporan na habanje, što može efikasno smanjiti habanje i oštećenje mehaničkih dijelova tokom upotrebe.

3. Dobra otpornost na visoke temperature: TaC premaz također može održati svoje odlične performanse u okruženju s visokim temperaturama.

4. Dobra hemijska stabilnost: TaC premaz ima dobru hemijsku stabilnost i može se oduprijeti mnogim hemijskim reakcijama, kao što su kiseline i baze.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fizička svojstva TaC premaz
密度/ Gustoća	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Specifična emisivnost	0,3
热膨胀系数 Koeficijent termičkog širenja	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Tvrdoća (HK)	2000. godine u Hong Kongu
电阻 / Otpor	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Termička stabilnost	<2500℃
石墨尺寸变化 / Promjene veličine grafita	-10~-20um
涂层厚度 / Debljina premaza	Tipična vrijednost ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko preduzeće koje se fokusira na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, a materijali i tehnologija obuhvataju grafit, silicijum karbid, keramiku, površinsku obradu i tako dalje. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sistemima, poluprovodnicima, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Srdačno vas pozdravljamo da posjetite našu fabriku, hajde da dalje razgovaramo!