Susceptor Bersalut TaC untuk Peralatan Epitaksi

Penerangan Ringkas:

VET menyediakan salutan tantalum karbida (TaC) khusus untuk pelbagai komponen dan pembawa. Proses salutan terkemuka VET membolehkan salutan tantalum karbida (TaC) mencapai ketulenan tinggi, kestabilan suhu tinggi dan toleransi kimia yang tinggi, meningkatkan kualiti produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI, dan memanjangkan hayat komponen reaktor utama. Penggunaan salutan tantalum karbida TaC adalah untuk menyelesaikan masalah pinggir dan meningkatkan kualiti pertumbuhan kristal, dan VET telah berjaya menyelesaikan teknologi salutan tantalum karbida (CVD), mencapai tahap lanjutan antarabangsa.

Hantar emel kepada kami Muat turun sebagai PDF

Butiran Produk

Tag Produk

Bersalut TaCsubstrat ialah filem nipis yang diperbuat daripadatantalum karbidabahan yang digunakan pada permukaan substrat peralatan epitaksi.Salutan TaCmempunyai banyak khasiat yang sangat baik, menjadikannya pilihan yang ideal.

Salutan TaC ialah sejenis salutan tantalum karbida (TaC) yang disediakan melalui teknologi pemendapan wap fizikal, ia mempunyai ciri-ciri berikut:

1. Kekerasan tinggi: Kekerasan salutan TaC adalah tinggi, biasanya boleh mencapai 2500-3000HV, merupakan salutan keras yang sangat baik.

2. Rintangan haus: Salutan TaC sangat tahan haus, yang boleh mengurangkan haus dan kerosakan bahagian mekanikal semasa penggunaan dengan berkesan.

3. Rintangan suhu tinggi yang baik: Salutan TaC juga boleh mengekalkan prestasi cemerlangnya di bawah persekitaran suhu tinggi.

4. Kestabilan kimia yang baik: Salutan TaC mempunyai kestabilan kimia yang baik dan boleh menahan banyak tindak balas kimia, seperti asid dan bes.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Sifat fizikal bagi TaC salutan
密度Ketumpatan	14.3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisiviti khusus	0.3
热膨胀系数 / Pekali pengembangan haba	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kekerasan (HK)	2000 HK
电阻 / Rintangan	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Kestabilan terma	<2500℃
石墨尺寸变化 / Perubahan saiz grafit	-10~-20um
涂层厚度 / Ketebalan salutan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd merupakan sebuah perusahaan berteknologi tinggi yang menumpukan pada pengeluaran dan penjualan bahan-bahan canggih yang berkualiti tinggi, bahan dan teknologinya meliputi grafit, silikon karbida, seramik, rawatan permukaan dan sebagainya. Produk-produk ini digunakan secara meluas dalam fotovoltaik, semikonduktor, tenaga baharu, metalurgi, dan sebagainya.

Pasukan teknikal kami datang dari institusi penyelidikan domestik terkemuka, boleh menyediakan penyelesaian bahan yang lebih profesional untuk anda.

Mesra mengalu-alukan anda untuk melawat kilang kami, mari kita berbincang lebih lanjut!