Suceptor acoperit cu TaC pentru echipamente de epitaxie

Suceptor acoperit cu TaC pentru echipament de epitaxie Imagine prezentată

Scurtă descriere:

VET oferă acoperiri specializate din carbură de tantal (TaC) pentru diverse componente și suporturi. Procesul de acoperire de vârf al VET permite acoperirilor din carbură de tantal (TaC) să atingă o puritate ridicată, stabilitate ridicată la temperatură și toleranță chimică ridicată, îmbunătățind calitatea produselor cristale SIC/GAN și straturile EPI și prelungind durata de viață a componentelor cheie ale reactorului. Utilizarea acoperirii cu carbură de tantal (TaC) are ca scop rezolvarea problemei muchiilor și îmbunătățirea calității creșterii cristalelor, iar VET a reușit să rezolve inovațiile în tehnologia de acoperire cu carbură de tantal (CVD), atingând nivelul avansat internațional.

Trimiteți-ne un e-mail Descărcați ca PDF

Detalii produs

Etichete de produs

Acoperit cu TaCsubstratul este o peliculă subțire formată dincarbură de tantalmaterial care se aplică pe suprafața substratului echipamentului epitaxial.Acoperire TaCare multe proprietăți excelente, ceea ce îl face o alegere ideală.

Acoperirea TaC este un tip de acoperire din carbură de tantal (TaC) preparată prin tehnologia depunerii fizice în fază de vapori, având următoarele caracteristici:

1. Duritate ridicată: Duritatea stratului de acoperire TaC este mare, de obicei poate ajunge la 2500-3000HV, fiind un strat de acoperire dur excelent.

2. Rezistență la uzură: Acoperirea TaC este foarte rezistentă la uzură, ceea ce poate reduce eficient uzura și deteriorarea pieselor mecanice în timpul utilizării.

3. Rezistență bună la temperaturi ridicate: Acoperirea TaC își poate menține performanța excelentă și în medii cu temperaturi ridicate.

4. Stabilitate chimică bună: Acoperirea cu TaC are o stabilitate chimică bună și poate rezista la multe reacții chimice, cum ar fi acizi și baze.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Proprietățile fizice ale TaC acoperire
密度Densitate	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisivitate specifică	0,3
热膨胀系数 / Coeficient de dilatare termică	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Duritate (HK)	2000 Hong Kong
电阻 / Rezistență	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 Stabilitate termică	<2500℃
石墨尺寸变化 / Modificări ale dimensiunii grafitului	-10~-20um
涂层厚度 Grosimea stratului de acoperire	Valoare tipică ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd este o întreprindere de înaltă tehnologie axată pe producția și vânzarea de materiale avansate de înaltă calitate, materiale și tehnologii care acoperă grafit, carbură de siliciu, ceramică, tratament de suprafețe și așa mai departe. Produsele sunt utilizate pe scară largă în fotovoltaică, semiconductori, energie nouă, metalurgie etc.

Echipa noastră tehnică provine din instituții de cercetare autohtone de top și vă poate oferi soluții materiale mai profesionale.

Vă invităm călduros să vizitați fabrica noastră, haideți să discutăm mai departe!