Susceptor revestido com TaC para equipamentos de epitaxia

Susceptor revestido com TaC para equipamento de epitaxia (Imagem em destaque)

Descrição resumida:

A VET fornece revestimentos especializados de carbeto de tântalo (TaC) para diversos componentes e suportes. O processo de revestimento de ponta da VET permite que os revestimentos de carbeto de tântalo (TaC) alcancem alta pureza, alta estabilidade térmica e alta tolerância química, melhorando a qualidade dos cristais de SiC/GaN e das camadas EPI, além de prolongar a vida útil de componentes-chave do reator. O uso do revestimento de carbeto de tântalo (TaC) visa solucionar o problema de bordas e melhorar a qualidade do crescimento cristalino, e a VET desenvolveu uma tecnologia inovadora de revestimento de carbeto de tântalo (CVD), atingindo um nível avançado internacional.

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revestido com TaCsubstrato é uma película fina feita decarboneto de tântaloMaterial que é aplicado à superfície do substrato do equipamento epitaxial.Revestimento de TaCPossui muitas propriedades excelentes, o que a torna uma escolha ideal.

O revestimento de TaC é um tipo de revestimento de carboneto de tântalo (TaC) preparado por tecnologia de deposição física de vapor, e possui as seguintes características:

1. Alta dureza: A dureza do revestimento de TaC é alta, geralmente podendo atingir 2500-3000 HV, sendo um excelente revestimento duro.

2. Resistência ao desgaste: O revestimento de TaC é muito resistente ao desgaste, o que pode reduzir efetivamente o desgaste e os danos às peças mecânicas durante o uso.

3. Boa resistência a altas temperaturas: o revestimento de TaC mantém seu excelente desempenho mesmo em ambientes de alta temperatura.

4. Boa estabilidade química: O revestimento de TaC possui boa estabilidade química e pode resistir a muitas reações químicas, como ácidos e bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriedades físicas de TaC revestimento
密度/ Densidade	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emissividade específica	0,3
热膨胀系数 / Coeficiente de expansão térmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2000 HK
电阻 / Resistência	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Estabilidade térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 / Alterações no tamanho do grafite	-10~-20um
涂层厚度 / Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

A Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. é uma empresa de alta tecnologia focada na produção e venda de materiais avançados de ponta, abrangendo grafite, carbeto de silício, cerâmica, tratamento de superfície e outros. Os produtos são amplamente utilizados em setores como energia fotovoltaica, semicondutores, energias renováveis, metalurgia, entre outros.

Nossa equipe técnica é formada por profissionais das principais instituições de pesquisa nacionais, podendo oferecer soluções de materiais mais especializadas.

Será um prazer recebê-lo(a) em nossa fábrica. Vamos conversar mais sobre o assunto!