Токоприемник с покрытием TaC для эпитаксического оборудования

Изображение токоприемника с покрытием TaC для эпитаксического оборудования

Краткое описание:

VET поставляет специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Ведущий процесс нанесения покрытий VET позволяет покрытиям из карбида тантала (TaC) достигать высокой чистоты, высокой температурной стабильности и высокой химической стойкости, улучшая качество продукции кристаллов SIC/GAN и слоев EPI, а также продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия из карбида тантала TaC призвано решить проблему кромок и улучшить качество роста кристаллов, и VET совершил прорыв в технологии покрытия из карбида тантала (CVD), достигнув международного передового уровня.

Напишите нам письмо Загрузить как PDF

Подробности продукта

Теги продукта

с покрытием TaCПодложка представляет собой тонкую пленку, изготовленную изкарбид танталаматериал, который наносится на поверхность подложки эпитаксиального оборудования.покрытие TaCобладает множеством превосходных свойств, что делает его идеальным выбором.

Покрытие TaC представляет собой разновидность покрытия из карбида тантала (TaC), полученного методом физического осаждения из паровой фазы, оно имеет следующие характеристики:

1. Высокая твердость: твердость покрытия TaC высокая, обычно может достигать 2500-3000HV, это превосходное твердое покрытие.

2. Износостойкость: покрытие TaC очень износостойкое, что может эффективно снизить износ и повреждение механических деталей во время использования.

3. Хорошая стойкость к высоким температурам: покрытие TaC также может сохранять свои превосходные характеристики в условиях высоких температур.

4. Хорошая химическая стабильность: покрытие TaC обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять многим химическим реакциям, таким как воздействие кислот и щелочей.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Физические свойства ТаС покрытие
密度/ Плотность	14,3 (г/см³)
比辐射率 / Удельная излучательная способность	0.3
热膨胀系数 / Коэффициент теплового расширения	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Твёрдость (HK)	2000 гонконгских крон
电阻 / Сопротивление	1×10^-5 Ом*см
热稳定性 / Термическая стабильность	<2500℃
石墨尺寸变化 / Изменение размера графита	-10~-20мкм
涂层厚度 / Толщина покрытия	≥20 мкм типичное значение (35 мкм±10 мкм)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd — высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, материалов и технологий, охватывающих графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхности и т. д. Продукция широко используется в фотоэлектрической, полупроводниковой, новой энергетике, металлургии и т. д.

Наша техническая команда состоит из ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Приглашаем Вас посетить наш завод и обсудить детали!