Сусцептор с покрытием из TaC для оборудования эпитаксии

Изображение подложки с покрытием из TaC для оборудования для эпитаксии.

Краткое описание:

Компания VET предоставляет специализированные покрытия из карбида тантала (TaC) для различных компонентов и носителей. Передовая технология нанесения покрытий VET позволяет получать покрытия из карбида тантала (TaC) высокой чистоты, высокой термостойкости и высокой химической стойкости, улучшая качество кристаллов SIC/GAN и слоев EPI, а также продлевая срок службы ключевых компонентов реактора. Использование покрытия из карбида тантала TaC решает проблему краев и улучшает качество роста кристаллов, и компания VET совершила прорыв в технологии нанесения покрытий из карбида тантала (CVD), достигнув передового международного уровня.

Отправьте нам электронное письмо Скачать в формате PDF

Подробная информация о товаре

Метки товаров

Покрытие TaCПодложка представляет собой тонкую пленку, изготовленную изкарбид танталаматериал, наносимый на поверхность подложки эпитаксиального оборудования.покрытие TaCОбладает множеством превосходных свойств, что делает его идеальным выбором.

Покрытие из карбида тантала (TaC) представляет собой покрытие из карбида тантала (TaC), получаемое методом физического осаждения из паровой фазы, и обладает следующими характеристиками:

1. Высокая твердость: твердость покрытия TaC высока, обычно достигает 2500-3000 HV, что делает его превосходным твердым покрытием.

2. Износостойкость: покрытие TaC обладает высокой износостойкостью, что позволяет эффективно снизить износ и повреждения механических деталей в процессе эксплуатации.

3. Хорошая термостойкость: покрытие TaC сохраняет свои превосходные характеристики даже в условиях высоких температур.

4. Хорошая химическая стабильность: покрытие из TaC обладает хорошей химической стабильностью и может противостоять многим химическим реакциям, таким как воздействие кислот и щелочей.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Физические свойства ТаС покрытие
密度/ Плотность	14,3 (г/см³)
比辐射率 / Удельная излучательная способность	0.3
热膨胀系数 Коэффициент теплового расширения	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Твердость (ГК)	2000 HK
电阻 / Сопротивление	1×10^-5 Ом*см
热稳定性 / Термическая стабильность	<2500℃
石墨尺寸变化 / Изменения размера графита	-10~-20 мкм
涂层厚度 / Толщина покрытия	Типичное значение ≥20 мкм (35 мкм±10 мкм)

Компания Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. — высокотехнологичное предприятие, специализирующееся на производстве и продаже высококачественных современных материалов, включая графит, карбид кремния, керамику, обработку поверхностей и многое другое. Продукция широко используется в фотовольтаике, полупроводниковой промышленности, возобновляемой энергетике, металлургии и других отраслях.

Наша техническая команда состоит из специалистов ведущих отечественных научно-исследовательских институтов и может предложить вам более профессиональные решения в области материалов.

Мы будем рады видеть вас на нашем заводе, давайте обсудим все подробности!