TaC-gecoate susceptor voor epitaxieapparatuur

Korte beschrijving:

VET levert gespecialiseerde tantaalcarbide (TaC)-coatings voor diverse componenten en dragers. Het toonaangevende coatingproces van VET maakt het mogelijk dat tantaalcarbide (TaC)-coatings een hoge zuiverheid, hoge temperatuurstabiliteit en hoge chemische bestendigheid bereiken. Dit verbetert de productkwaliteit van SiC/GAN-kristallen en EPI-lagen en verlengt de levensduur van belangrijke reactorcomponenten. Het gebruik van tantaalcarbide TaC-coating lost randproblemen op en verbetert de kwaliteit van de kristalgroei. VET heeft een doorbraak bereikt in de tantaalcarbide-coatingtechnologie (CVD) en daarmee een internationaal geavanceerd niveau bereikt.

Stuur ons een e-mail. Downloaden als PDF

Productdetails

Productlabels

TaC-gecoatsubstraat is een dunne film gemaakt vantantaalcarbidemateriaal dat wordt aangebracht op het oppervlak van het substraat van epitaxiale apparatuur.TaC-coatingHet heeft veel uitstekende eigenschappen, waardoor het een ideale keuze is.

TaC-coating is een soort tantaalcarbide (TaC)-coating die wordt vervaardigd met behulp van fysische dampafzettingstechnologie en heeft de volgende kenmerken:

1. Hoge hardheid: De TaC-coating heeft een hoge hardheid, die doorgaans 2500-3000 HV kan bereiken, waardoor het een uitstekende harde coating is.

2. Slijtvastheid: De TaC-coating is zeer slijtvast, waardoor slijtage en schade aan mechanische onderdelen tijdens gebruik effectief worden verminderd.

3. Goede hoge temperatuurbestendigheid: De TaC-coating behoudt ook bij hoge temperaturen zijn uitstekende prestaties.

4. Goede chemische stabiliteit: De TaC-coating heeft een goede chemische stabiliteit en is bestand tegen veel chemische reacties, zoals met zuren en basen.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fysische eigenschappen van TaC coating
密度/ Dikte	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Specifieke emissiviteit	0,3
热膨胀系数 / Thermische uitzettingscoëfficiënt	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Hardheid (HK)	2000 HK
电阻 / Weerstand	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermische stabiliteit	<2500℃
石墨尺寸变化 / Grafietgrootteveranderingen	-10~-20 µm
涂层厚度 / Laagdikte	≥20 µm typische waarde (35 µm ± 10 µm)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. is een hightechbedrijf dat zich richt op de productie en verkoop van hoogwaardige, geavanceerde materialen. Het materiaalaanbod en de bijbehorende technologieën omvatten grafiet, siliciumcarbide, keramiek, oppervlaktebehandeling en meer. De producten worden veelvuldig gebruikt in de fotovoltaïsche sector, halfgeleiders, duurzame energie, metallurgie, enzovoort.

Ons technische team is afkomstig van vooraanstaande binnenlandse onderzoeksinstellingen en kan u professionelere materiaaloplossingen bieden.

Wij heten u van harte welkom in onze fabriek. Laten we de mogelijkheden bespreken!