Susceptor Berlapis TaC untuk Peralatan Epitaksi

Deskripsi Singkat:

VET menyediakan pelapis tantalum karbida (TaC) khusus untuk berbagai komponen dan pembawa. Proses pelapisan terkemuka VET memungkinkan pelapis tantalum karbida (TaC) mencapai kemurnian tinggi, stabilitas suhu tinggi, dan toleransi kimia tinggi, meningkatkan kualitas produk kristal SIC/GAN dan lapisan EPI, serta memperpanjang masa pakai komponen reaktor utama. Penggunaan pelapis tantalum karbida TaC adalah untuk mengatasi masalah tepi dan meningkatkan kualitas pertumbuhan kristal, dan VET telah memecahkan terobosan teknologi pelapisan tantalum karbida (CVD), mencapai tingkat lanjutan internasional.

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

dilapisi TaCsubstrat adalah film tipis yang terbuat darikarbida tantalumbahan yang diaplikasikan pada permukaan substrat peralatan epitaksial.Pelapisan TaCmemiliki banyak sifat yang unggul, sehingga menjadikannya pilihan ideal.

Pelapisan TaC adalah jenis pelapisan tantalum karbida (TaC) yang disiapkan dengan teknologi deposisi uap fisik, memiliki karakteristik sebagai berikut:

1. Kekerasan tinggi: Kekerasan lapisan TaC tinggi, biasanya dapat mencapai 2500-3000HV, merupakan lapisan keras yang sangat baik.

2. Tahan aus: Lapisan TaC sangat tahan aus, yang secara efektif dapat mengurangi keausan dan kerusakan komponen mekanis selama penggunaan.

3. Tahan suhu tinggi yang baik: Lapisan TaC juga dapat mempertahankan kinerjanya yang sangat baik di lingkungan suhu tinggi.

4. Stabilitas kimia yang baik: Lapisan TaC memiliki stabilitas kimia yang baik dan dapat menahan banyak reaksi kimia, seperti asam dan basa.

碳化层物理特性 foto Sifat Fisika Bahasa Inggris lapisan
密度/ Kepadatan	14,3 gram/cm³
比辐射 foto / Emisivitas spesifik	0.3
热膨胀系数 / Koefisien ekspansi termal	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kekerasan (HK)	2000 HK
电阻 / Perlawanan	Ukuran 1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilitas termal	<2500℃
石墨尺寸变化 / Perubahan ukuran grafit	-10~-20um
涂层厚度 / Ketebalan lapisan	Nilai tipikal ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd adalah perusahaan teknologi tinggi yang berfokus pada produksi dan penjualan material canggih kelas atas, material dan teknologi yang meliputi grafit, silikon karbida, keramik, perawatan permukaan, dan sebagainya. Produk-produk tersebut banyak digunakan dalam fotovoltaik, semikonduktor, energi baru, metalurgi, dll.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!