Suscepteur revêtu de TaC pour équipement d'épitaxie

Brève description :

VET fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports. Son procédé de revêtement de pointe lui permet d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des cristaux SIC/GAN et des couches EPI, et prolongeant la durée de vie des composants clés des réacteurs. L'utilisation du revêtement en carbure de tantale TaC permet de résoudre les problèmes de bords et d'améliorer la qualité de la croissance cristalline. VET a révolutionné la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant ainsi un niveau international avancé.

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Revêtement TaCle substrat est un film mince constitué decarbure de tantalematériau qui est appliqué sur la surface du substrat de l'équipement épitaxial.revêtement TaCpossède de nombreuses excellentes propriétés, ce qui en fait un choix idéal.

Le revêtement TaC est un type de revêtement en carbure de tantale (TaC) préparé par la technologie de dépôt physique en phase vapeur, il présente les caractéristiques suivantes :

1. Dureté élevée : la dureté du revêtement TaC est élevée, peut généralement atteindre 2500-3000HV, c'est un excellent revêtement dur.

2. Résistance à l'usure : le revêtement TaC est très résistant à l'usure, ce qui peut réduire efficacement l'usure et les dommages des pièces mécaniques pendant l'utilisation.

3. Bonne résistance aux hautes températures : le revêtement TaC peut également conserver ses excellentes performances dans un environnement à haute température.

4. Bonne stabilité chimique : le revêtement TaC a une bonne stabilité chimique et peut résister à de nombreuses réactions chimiques, telles que les acides et les bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propriétés physiques de TaC revêtement
密度/ Densité	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Émissivité spécifique	0,3
热膨胀系数 / Coefficient de dilatation thermique	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureté (HK)	2000 HK
电阻 / Résistance	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilité thermique	<2500℃
石墨尺寸变化 / Changements de taille du graphite	-10~-20 um
涂层厚度 / Épaisseur du revêtement	Valeur typique ≥20 um (35 um ± 10 um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd est une entreprise de haute technologie spécialisée dans la production et la vente de matériaux avancés haut de gamme, notamment le graphite, le carbure de silicium, la céramique et le traitement de surface. Ses produits sont largement utilisés dans les secteurs du photovoltaïque, des semi-conducteurs, des nouvelles énergies, de la métallurgie, etc.

Notre équipe technique est issue des meilleures institutions de recherche nationales et peut vous fournir des solutions matérielles plus professionnelles.

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