Susceptor recubierto de TaC para equipos de epitaxia

Breve descripción:

VET ofrece recubrimientos especializados de carburo de tantalio (TaC) para diversos componentes y soportes. El proceso de recubrimiento líder de VET permite que los recubrimientos de carburo de tantalio (TaC) alcancen alta pureza, estabilidad a altas temperaturas y alta tolerancia química, mejorando la calidad de los cristales SIC/GAN y las capas EPI, y prolongando la vida útil de los componentes clave del reactor. El uso del recubrimiento de carburo de tantalio TaC resuelve el problema de los bordes y mejora la calidad del crecimiento cristalino. VET ha logrado avances significativos en la tecnología de recubrimiento de carburo de tantalio (CVD), alcanzando un nivel avanzado a nivel internacional.

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Recubierto con TaCEl sustrato es una película delgada hecha decarburo de tantaliomaterial que se aplica a la superficie del sustrato del equipo epitaxial.Recubrimiento de TaCTiene muchas propiedades excelentes, lo que la convierte en una opción ideal.

El recubrimiento de TaC es un tipo de recubrimiento de carburo de tantalio (TaC) preparado mediante tecnología de deposición física de vapor, y tiene las siguientes características:

1. Alta dureza: La dureza del recubrimiento de TaC es alta, generalmente puede alcanzar 2500-3000 HV, es un excelente recubrimiento duro.

2. Resistencia al desgaste: El recubrimiento de TaC es muy resistente al desgaste, lo que puede reducir eficazmente el desgaste y los daños en las piezas mecánicas durante su uso.

3. Buena resistencia a altas temperaturas: El recubrimiento de TaC también puede mantener su excelente rendimiento en entornos de alta temperatura.

4. Buena estabilidad química: El recubrimiento de TaC tiene buena estabilidad química y puede resistir muchas reacciones químicas, como ácidos y bases.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Propiedades físicas de TaC revestimiento
密度/ Densidad	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisividad específica	0,3
热膨胀系数 Coeficiente de dilatación térmica	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Dureza (HK)	2000 HK
电阻 / Resistencia	1×10^-5 Ohmio*cm
热稳定性 / Estabilidad térmica	<2500℃
石墨尺寸变化 Cambios en el tamaño del grafito	-10~-20 µm
涂层厚度 / Espesor del recubrimiento	Valor típico ≥20 µm (35 µm ± 10 µm)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. es una empresa de alta tecnología especializada en la producción y venta de materiales avanzados de alta gama. Sus productos, que incluyen grafito, carburo de silicio, cerámica y tratamientos de superficies, se utilizan ampliamente en los sectores fotovoltaico, de semiconductores, de energías renovables y metalúrgico, entre otros.

Nuestro equipo técnico proviene de las mejores instituciones de investigación nacionales y puede brindarle soluciones de materiales más profesionales.

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