Susceptor powlekany TaC do urządzeń epitaksjalnych

Krótki opis:

Firma VET dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) do różnych komponentów i nośników. Wiodący proces powlekania VET umożliwia uzyskanie powłok z węglika tantalu (TaC) o wysokiej czystości, stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, co poprawia jakość kryształów SIC/GAN i warstw EPI oraz wydłuża żywotność kluczowych komponentów reaktora. Zastosowanie powłoki TaC z węglika tantalu ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów. Firma VET dokonała przełomu w technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowania.

Wyślij do nas e-mail Pobierz jako PDF

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Powłoka TaCPodłoże jest cienką warstwą wykonaną zwęglik tantalumateriał, który jest nakładany na powierzchnię podłoża urządzeń epitaksjalnych.Powłoka TaCma wiele doskonałych właściwości, dzięki czemu jest idealnym wyborem.

Powłoka TaC jest rodzajem powłoki z węglika tantalu (TaC) przygotowanej metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej. Posiada ona następujące właściwości:

1. Wysoka twardość: Twardość powłoki TaC jest wysoka, zwykle może osiągnąć 2500–3000 HV, jest to doskonała twarda powłoka.

2. Odporność na zużycie: powłoka TaC jest bardzo odporna na zużycie, co skutecznie zmniejsza zużycie i uszkodzenia części mechanicznych podczas użytkowania.

3. Dobra odporność na wysokie temperatury: powłoka TaC zachowuje swoje doskonałe właściwości również w środowisku o wysokiej temperaturze.

4. Dobra stabilność chemiczna: powłoka TaC charakteryzuje się dobrą stabilnością chemiczną i może być odporna na wiele reakcji chemicznych, takich jak reakcje z kwasami i zasadami.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Właściwości fizyczne TaC powłoka
密度/ Gęstość	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Emisyjność właściwa	0,3
热膨胀系数 / Współczynnik rozszerzalności cieplnej	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Twardość (HK)	2000 Hongkong
电阻 / Opór	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Stabilność termiczna	<2500℃
石墨尺寸变化 / Zmiany wielkości grafitu	-10~-20um
涂层厚度 / Grubość powłoki	≥20um typowa wartość (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd to przedsiębiorstwo high-tech, specjalizujące się w produkcji i sprzedaży zaawansowanych materiałów, w tym grafitu, węglika krzemu, ceramiki, obróbki powierzchni itp. Produkty te znajdują szerokie zastosowanie w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowych źródłach energii, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może dostarczyć Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!