Susceptor powlekany TaC do urządzeń epitaksjalnych

Krótki opis:

VET dostarcza specjalistyczne powłoki z węglika tantalu (TaC) dla różnych komponentów i nośników. Wiodący proces powlekania VET umożliwia powłokom z węglika tantalu (TaC) osiągnięcie wysokiej czystości, wysokiej stabilności temperaturowej i wysokiej tolerancji chemicznej, co poprawia jakość produktu kryształów SIC/GAN i warstw EPI oraz wydłuża żywotność kluczowych komponentów reaktora. Zastosowanie powłoki z węglika tantalu TaC ma na celu rozwiązanie problemu krawędzi i poprawę jakości wzrostu kryształów, a VET dokonał przełomu w rozwiązaniu technologii powlekania węglikiem tantalu (CVD), osiągając międzynarodowy poziom zaawansowany.


Szczegóły produktu

Tagi produktów

Powlekany TaCPodłoże jest cienką warstwą wykonaną zwęglik tantalumateriał, który jest nakładany na powierzchnię podłoża sprzętu epitaksjalnego.Powłoka TaCma wiele doskonałych właściwości, co czyni go idealnym wyborem.

Powłoka TaC jest rodzajem powłoki z węglika tantalu (TaC) przygotowanej metodą fizycznego osadzania z fazy gazowej. Posiada ona następujące właściwości:

1. Wysoka twardość: Twardość powłoki TaC jest wysoka, zwykle może osiągnąć 2500-3000 HV, jest to doskonała twarda powłoka.

2. Odporność na zużycie: powłoka TaC jest bardzo odporna na zużycie, co skutecznie zmniejsza zużycie i uszkodzenia części mechanicznych podczas użytkowania.

3. Dobra odporność na wysokie temperatury: powłoka TaC zachowuje swoje doskonałe właściwości również w środowisku o wysokiej temperaturze.

4. Dobra stabilność chemiczna: powłoka TaC charakteryzuje się dobrą stabilnością chemiczną i może być odporna na wiele reakcji chemicznych, takich jak reakcje z kwasami i zasadami.

6 (3)
6 (1)

碳化钽涂层物理特性物理特性

Właściwości fizyczne TaC powłoka

密度/ Gęstość

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Emisyjność właściwa

0,3

热膨胀系数 / Współczynnik rozszerzalności cieplnej

6.3 10-6/K

努氏硬度/ Twardość (HK)

2000 Hongkongu

电阻 / Opór

1×10-5 Om*cm

热稳定性 / Stabilność termiczna

<2500℃

石墨尺寸变化 / Zmiany wielkości grafitu

-10~-20um

涂层厚度 / Grubość powłoki

≥20um typowa wartość (35um±10um)

 

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd jest przedsiębiorstwem high-tech skupiającym się na produkcji i sprzedaży zaawansowanych materiałów high-end, materiałów i technologii obejmujących grafit, węglik krzemu, ceramikę, obróbkę powierzchni itd. Produkty są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowej energii, metalurgii itd.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i może zapewnić Państwu bardziej profesjonalne rozwiązania materiałowe.

Serdecznie zapraszamy do odwiedzenia naszej fabryki, porozmawiajmy!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Poprzedni:
  • Następny:

  • Czat online na WhatsAppie!