Susceptor obložen TaC-om za opremu za epitaksiju

Kratki opis:

VET nudi specijalizirane tantal karbidne (TaC) premaze za različite komponente i nosače. VET-ov vodeći proces premazivanja omogućuje tantal karbidnim (TaC) premazima postizanje visoke čistoće, visoke temperaturne stabilnosti i visoke kemijske tolerancije, poboljšavajući kvalitetu proizvoda SIC/GAN kristala i EPI slojeva te produžujući vijek trajanja ključnih komponenti reaktora. Korištenje tantal karbidnog TaC premaza rješava problem rubova i poboljšava kvalitetu rasta kristala, a VET je revolucionarno riješio tehnologiju tantal karbidnog premazivanja (CVD), dostigavši međunarodnu naprednu razinu.

Pošaljite nam e-poštu Preuzmi kao PDF

Detalji proizvoda

Oznake proizvoda

TaC premazPodloga je tanki film napravljen odtantal karbidmaterijal koji se nanosi na površinu podloge epitaksijalne opreme.TaC premazima mnogo izvrsnih svojstava, što ga čini idealnim izborom.

TaC premaz je vrsta tantal karbidnog (TaC) premaza pripremljenog tehnologijom fizičkog taloženja iz pare, a ima sljedeće karakteristike:

1. Visoka tvrdoća: Tvrdoća TaC premaza je visoka, obično može doseći 2500-3000HV, što ga čini izvrsnim tvrdim premazom.

2. Otpornost na habanje: TaC premaz je vrlo otporan na habanje, što može učinkovito smanjiti habanje i oštećenje mehaničkih dijelova tijekom upotrebe.

3. Dobra otpornost na visoke temperature: TaC premaz također može održati svoje izvrsne performanse u uvjetima visokih temperatura.

4. Dobra kemijska stabilnost: TaC premaz ima dobru kemijsku stabilnost i može se oduprijeti mnogim kemijskim reakcijama, poput kiselina i baza.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fizička svojstva TaC premazivanje
密度/ Gustoća	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Specifična emisivnost	0,3
热膨胀系数 / Koeficijent toplinskog širenja	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Tvrdoća (HK)	2000. HK
电阻 / Otpor	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Toplinska stabilnost	<2500℃
石墨尺寸变化 / Promjene veličine grafita	-10~-20um
涂层厚度 / Debljina premaza	Tipična vrijednost ≥20um (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd je visokotehnološko poduzeće usmjereno na proizvodnju i prodaju vrhunskih naprednih materijala, materijala i tehnologije koji obuhvaćaju grafit, silicijev karbid, keramiku, površinsku obradu i tako dalje. Proizvodi se široko koriste u fotonaponskim sustavima, poluvodičima, novoj energiji, metalurgiji itd.

Naš tehnički tim dolazi iz vodećih domaćih istraživačkih institucija i može vam pružiti profesionalnija materijalna rješenja.

Srdačno vas pozdravljamo u posjeti našoj tvornici, pa ćemo dalje razgovarati!