Сусцептор з покриттям TaC для епітаксіального обладнання

Сусцептор з покриттям TaC для обладнання для епітаксії, представлене зображення

Короткий опис:

VET пропонує спеціалізовані покриття з карбіду танталу (TaC) для різних компонентів та носіїв. Провідний процес нанесення покриттів VET дозволяє покриттям з карбіду танталу (TaC) досягати високої чистоти, високої температурної стабільності та високої хімічної стійкості, покращуючи якість кристалів SIC/GAN та шарів EPI, а також подовжуючи термін служби ключових компонентів реактора. Використання покриття TaC з карбіду танталу вирішує проблему крайових дефектів та покращує якість росту кристалів, і VET здійснила прорив у вирішенні технології покриття карбідом танталу (CVD), досягнувши передового міжнародного рівня.

Надіслати нам електронного листа Завантажити як PDF

Деталі продукту

Теги продукту

покриття TaCпідкладка — це тонка плівка, виготовлена зкарбід танталуматеріал, який наноситься на поверхню підкладки епітаксіального обладнання.покриття TaCмає багато чудових властивостей, що робить його ідеальним вибором.

Покриття TaC – це різновид покриття з карбіду танталу (TaC), отриманого методом фізичного осадження з парової фази, яке має такі характеристики:

1. Висока твердість: твердість покриття TaC висока, зазвичай може досягати 2500-3000HV, що є чудовим твердим покриттям.

2. Зносостійкість: покриття TaC дуже зносостійке, що може ефективно зменшити знос та пошкодження механічних деталей під час використання.

3. Гарна стійкість до високих температур: покриття TaC також може зберігати свої чудові характеристики в умовах високих температур.

4. Добра хімічна стабільність: покриття TaC має добру хімічну стабільність і може протистояти багатьом хімічним реакціям, таким як кислоти та основи.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Фізичні властивості TaC покриття
密度/ Щільність	14,3 (г/см³)
比辐射率 / Питома випромінювальна здатність	0,3
热膨胀系数 / Коефіцієнт теплового розширення	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Твердість (HK)	2000 Гонконг
电阻 / Опір	1×10^-5 Ом*см
热稳定性 / Термічна стабільність	<2500℃
石墨尺寸变化 / Зміни розміру графіту	-10~-20 мкм
涂层厚度 / Товщина покриття	Типове значення ≥20 мкм (35 мкм ± 10 мкм)

Компанія «Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd» – це високотехнологічне підприємство, що спеціалізується на виробництві та продажу високоякісних передових матеріалів, зокрема графіту, карбіду кремнію, кераміки, обробки поверхонь тощо. Продукція широко використовується у фотоелектричній, напівпровідниковій, новій енергетиці, металургії тощо.

Наша технічна команда складається з провідних вітчизняних дослідницьких установ і може запропонувати вам більш професійні матеріальні рішення.

Щиро вітаємо вас відвідати наш завод, давайте обговоримо це далі!