TaC-beschichteter Suszeptor für Epitaxie-Geräte

Kurze Beschreibung:

VET bietet spezielle Tantalkarbid-Beschichtungen (TaC) für verschiedene Komponenten und Träger an. Das führende Beschichtungsverfahren von VET ermöglicht Tantalkarbid-Beschichtungen (TaC) mit hoher Reinheit, hoher Temperaturbeständigkeit und hoher chemischer Beständigkeit. Dies verbessert die Produktqualität von SIC/GAN-Kristallen und EPI-Schichten und verlängert die Lebensdauer wichtiger Reaktorkomponenten. Die Verwendung von Tantalkarbid-TaC-Beschichtungen löst das Kantenproblem und verbessert die Qualität des Kristallwachstums. VET hat die Tantalkarbid-Beschichtungstechnologie (CVD) durchschlagend weiterentwickelt und damit ein international führendes Niveau erreicht.

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TaC-beschichtetDas Substrat ist ein dünner Film ausTantalkarbidMaterial, das auf die Oberfläche des Substrats einer Epitaxieanlage aufgetragen wird.TaC-Beschichtungverfügt über viele hervorragende Eigenschaften und ist daher eine ideale Wahl.

Bei der TaC-Beschichtung handelt es sich um eine Art Tantalkarbid-Beschichtung (TaC), die durch physikalische Gasphasenabscheidung hergestellt wird und die folgenden Eigenschaften aufweist:

1. Hohe Härte: Die Härte der TaC-Beschichtung ist hoch und kann normalerweise 2500–3000 HV erreichen. Es handelt sich um eine ausgezeichnete Hartbeschichtung.

2. Verschleißfestigkeit: Die TaC-Beschichtung ist sehr verschleißfest, wodurch der Verschleiß und die Beschädigung mechanischer Teile während des Gebrauchs wirksam reduziert werden können.

3. Gute Hochtemperaturbeständigkeit: Die TaC-Beschichtung behält auch in Umgebungen mit hohen Temperaturen ihre hervorragende Leistung.

4. Gute chemische Stabilität: Die TaC-Beschichtung weist eine gute chemische Stabilität auf und kann vielen chemischen Reaktionen wie Säuren und Basen widerstehen.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Physikalische Eigenschaften von TaC Beschichtung
密度/ Dichte	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Spezifischer Emissionsgrad	0,3
热膨胀系数 / Wärmeausdehnungskoeffizient	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Härte (HK)	2000 HK
电阻 / Widerstand	1×10^-5 Ohm*cm
热稳定性 / Thermische Stabilität	<2500℃
石墨尺寸变化 / Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
涂层厚度 / Schichtdicke	≥20 µm typischer Wert (35 µm±10 µm)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd. ist ein Hightech-Unternehmen, das sich auf die Produktion und den Vertrieb hochwertiger, fortschrittlicher Materialien konzentriert. Die Materialien und Technologien umfassen Graphit, Siliziumkarbid, Keramik, Oberflächenbehandlung usw. Die Produkte finden breite Anwendung in der Photovoltaik, Halbleiterindustrie, erneuerbaren Energien, Metallurgie usw.

Unser technisches Team kommt aus führenden inländischen Forschungseinrichtungen und kann Ihnen professionellere Materiallösungen bieten.

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