TaC dengtas susceptorius epitaksijos įrangai

Trumpas aprašymas:

VET teikia specializuotas tantalo karbido (TaC) dangas įvairiems komponentams ir nešikliams. Pirmaujantis VET dengimo procesas leidžia pasiekti didelį tantalo karbido (TaC) dangų grynumą, stabilumą aukštoje temperatūroje ir didelį cheminį atsparumą, pagerinant SIC/GAN kristalų ir EPI sluoksnių gaminių kokybę bei pailginant pagrindinių reaktoriaus komponentų tarnavimo laiką. Tantalo karbido TaC dangos naudojimas skirtas išspręsti briaunų problemą ir pagerinti kristalų augimo kokybę, o VET iš esmės išsprendė tantalo karbido dengimo technologijos (CVD) problemą, pasiekdama tarptautinį pažangų lygį.

Siųskite mums el. laišką Atsisiųsti kaip PDF

Produkto informacija

Produkto žymės

TaC dengtaSubstratas yra plona plėvelė, pagaminta ištantalo karbidasmedžiaga, kuri tepama ant epitaksinės įrangos pagrindo paviršiaus.TaC dangaturi daug puikių savybių, todėl tai idealus pasirinkimas.

TaC danga yra tantalo karbido (TaC) danga, paruošta fizikinio garų nusodinimo technologija, ji turi šias savybes:

1. Didelis kietumas: TaC dangos kietumas yra didelis, paprastai gali siekti 2500–3000 HV, tai puiki kieta danga.

2. Atsparumas dilimui: TaC danga yra labai atspari dilimui, todėl gali veiksmingai sumažinti mechaninių dalių nusidėvėjimą ir pažeidimus naudojimo metu.

3. Geras atsparumas aukštai temperatūrai: TaC danga taip pat gali išlaikyti puikias savybes esant aukštai temperatūrai.

4. Geras cheminis stabilumas: TaC danga pasižymi geru cheminiu stabilumu ir gali atsispirti daugeliui cheminių reakcijų, tokių kaip rūgštys ir bazės.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Fizinės savybės TaC danga
密度Tankis	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Savitasis spinduliavimo gebėjimas	0,3
热膨胀系数 / Šiluminio plėtimosi koeficientas	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Kietumas (HK)	2000 Honkongo kronų
电阻 / Pasipriešinimas	1×10^-5 Omas*cm
热稳定性 / Terminis stabilumas	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Grafito dydžio pokyčiai	-10~-20 µm
涂层厚度 / Dangos storis	≥20 µm tipinė vertė (35 µm ± 10 µm)

„Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd.“ yra aukštųjų technologijų įmonė, orientuota į aukštos klasės pažangių medžiagų, tokių kaip grafitas, silicio karbidas, keramika, paviršiaus apdorojimas ir kt., gamybą ir pardavimą. Produktai plačiai naudojami fotovoltinėse medžiagose, puslaidininkiuose, naujosios energijos, metalurgijos ir kt. srityse.

Mūsų techninė komanda yra iš geriausių šalies mokslinių tyrimų institucijų, gali pasiūlyti jums profesionalesnių medžiagų sprendimų.

Nuoširdžiai kviečiame apsilankyti mūsų gamykloje, aptarkime daugiau!