Кварцни чамац високе чистоће за обраду вафла

Кварцни чамац од вафлије кључни носач у производњи полупроводника, производњи фотонапонских ћелија и напредном истраживању и развоју материјала, дизајниран за стабилан пренос и позиционирање плочица у процесима на високим температурама. Овај производ је направљен од фузионог силицијума ултра високе чистоће (SiO2), са одличном отпорношћу на температуре, хемијском стабилношћу и карактеристикама ултра ниске контаминације метала, погодан за дифузионе пећи, оксидационе пећи, PECVD/LPCVD и другу опрему, широко се користи у премазивању плочица, јонској имплантацији, жарењу на високим температурама и другим основним процесима.

Главне предности кварцног чамца VET Energy:

• Материјал ултра високе чистоће
  Чистоћа ≥99,99%: Садржај нечистоћа (Na, K, Fe, итд.) <5ppm, избегавајући контаминацију плочице и гарантујући принос чипа.
  Ниске падавине и адсорпција: површина је супер полирана (Ra≤0,4μm) како би се смањила адхезија честица и остаци гаса.
• Стабилност на високим температурама
  Температурно ограничење: Дугорочна радна температура од 1100 ℃, краткорочни врхунац од 1300 ℃, без деформације, без кристалног таложења.
  Низак коефицијент термичког ширења (5,5x10-7/℃), одлична отпорност на термичке ударе, прилагодљивост брзом порасту и паду температуре (нпр. брзо жарење RTP-ом).
• Прецизан структурни дизајн
  Прецизност слота ±0,1 мм: подударање плочица од 2” до 12”, грешка уједначености размака <0,05 мм, осигуравајући да плочице немају померање.
  Висока носивост: Максимално оптерећење од 50 плочица (у смислу плочица од 12”) у једном чамцу, подржавајући стабилан пренос танких плочица (≥100um).
• Хемијска инертност
  Отпорност на корозију: Отпорна на киселине (осим HF), алкалије и корозију органским растварачима, компатибилна са CMP процесом чишћења.
  Одлична непропусност за гас: Брзина цурења <5x10-10 Па·м3/с, погодно за вакуум и заштитне гасне средине.
• Дуг век трајања и одржавање
  Очекивани век трајања ≥ 5000 циклуса (нормални радни услови), површина се може више пута чистити и користити, смањујући укупне трошкове.
  Модуларни дизајн: подржава делимичну замену (нпр. један зуб чамца), смањујући време застоја.

Нудимо и транспарентне и мат површине према захтевима купца:

Нингбо ВЕТ Енерџи Текнолоџи Цо., Лтд је високотехнолошко предузеће које се фокусира на производњу и продају врхунских напредних материјала, материјала и технологија укључујући графит, силицијум карбид, керамику, површинску обраду попут SiC премаза, TaC премаза, премаза од стакластог угљеника, пиролитичког угљеника итд., ови производи се широко користе у фотонапонској, полупроводничкој, новој енергији, металургији итд.

Наш технички тим долази из водећих домаћих истраживачких институција и развио је више патентираних технологија како би осигурао перформансе и квалитет производа, а такође може купцима пружити и професионална материјална решења.