Носій покриття SiC для RTP/RTA є ключовим компонентом, що використовується в процесах виробництва напівпровідників, які називаються швидкою термічною обробкою та відпалом. Ми використовуємо нашу запатентовану технологію для створення носія з карбіду кремнію з надзвичайно високою чистотою, хорошою однорідністю покриття та чудовим терміном служби, а також високою хімічною стійкістю та термостабільністю.
Особливості нашої продукції:
1. Стійкість до окислення за високих температур до 1700℃.
2. Висока чистота та термічна однорідність
3. Відмінна корозійна стійкість: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
4. Висока твердість, щільна поверхня, дрібні частинки.
5. Довший термін служби та більша довговічність
| серцево-судинних захворювань SiC薄膜基本物理性能 Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття | |
| 性质 / Нерухомість | 典型数值 / Типове значення |
| 晶体结构 / Кристалічна структура | β-фаза ГЦК多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Щільність | 3,21 г/см³ |
| 硬度 / Твердість | 2500 维氏硬度 (завантаження 500 г) |
| 晶粒大小 / Розмір зерна | 2~10 мкм |
| 纯度 / Хімічна чистота | 99,99995% |
| 热容 / Теплоємність | 640 Дж·кг-1·К-1 |
| 升华温度 / Температура сублімації | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Міцність на згин | 415 МПа RT 4-точковий |
| 杨氏模量 / Модуль Юнга | 430 ГПа, вигин 4 пт, 1300℃ |
| 导热系数 / ТермалПровідність | 300 Вт·м-1·К-1 |
| 热膨胀系数 / Теплове розширення (КТР) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy є справжнім виробником виробів з графіту та карбіду кремнію на замовлення з різними покриттями, такими як покриття SiC, покриття TaC, скловуглецеве покриття, піролітичне вуглецеве покриття тощо, і може постачати різноманітні деталі на замовлення для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості.
Наша технічна команда складається з провідних вітчизняних дослідницьких установ і може запропонувати вам більш професійні матеріальні рішення.
Ми постійно розробляємо передові процеси для створення ще досконаліших матеріалів і розробили ексклюзивну запатентовану технологію, яка може зробити зчеплення між покриттям і основою міцнішим і менш схильним до відшаровування.
Щиро вітаємо вас відвідати наш завод, давайте обговоримо це далі!
