Pembawa Pelapis SiC Untuk RTP/RTA

Deskripsi Singkat:

VET Energy SiC Coating Carrier For RTP/RTA adalah produk berkinerja tinggi yang dirancang untuk memberikan kinerja yang konsisten dan andal dalam jangka waktu yang lama. Produk ini memiliki ketahanan panas dan keseragaman termal yang sangat baik, kemurnian tinggi, ketahanan erosi, menjadikannya solusi yang sempurna untuk aplikasi pemrosesan wafer.

Tempat Asal :Cina

Struktur Kristal :Fase FCCβ

Kepadatan :3,21 gram/cm3;

Kekerasan :2500 mobil Vickers;

Ukuran Butiran :Ukuran: 2~10μm;

Kemurnian Kimia:99,99995%;

Kapasitas Panas :640J kg-1 K-1;

Suhu Sublimasi :suhu 2700℃;

Kekuatan Felexural :415 Mpa (RT 4 Titik);

Modulus Young:430 Gpa (tekukan 4 poin, 1300℃);

Ekspansi Termal (CTE) :4,5 10-6K-1;

Konduktivitas Termal:300 (W/MK);

Kirim email ke kami Unduh sebagai PDF

Detail Produk

Label Produk

Pembawa Pelapis SiC untuk RTP/RTA merupakan komponen utama yang digunakan dalam proses produksi semikonduktor yang disebut Pemrosesan Termal & Anil Cepat, kami menggunakan teknologi yang telah kami patenkan untuk membuat pembawa silikon karbida dengan kemurnian yang sangat tinggi, keseragaman pelapisan yang baik, dan masa pakai yang sangat baik, serta memiliki ketahanan kimia dan sifat stabilitas termal yang tinggi.

Fitur produk kami:

1. Tahan terhadap oksidasi suhu tinggi hingga 1700℃.
2. Kemurnian tinggi dan keseragaman termal
3. Ketahanan korosi yang sangat baik: asam, alkali, garam dan reagen organik.
4. Kekerasan tinggi, permukaan padat, partikel halus.
5. Masa pakai lebih lama dan lebih tahan lama

Penyakit kardiovaskular SiC薄膜基本物理性能 Sifat fisik dasar CVD SiClapisan
性质 / Properti	典型数值 / Nilai Khas
晶体结构 / Struktur Kristal	Fase β FCC多晶,主要为（111）取向
密度 / Kepadatan	3,21 gram/cm³
硬度 / Kekerasan	2500 维氏硬度（beban 500g）
晶粒大小 / Ukuran Butiran	Ukuran 2~10 mikrometer
纯度 / Kemurnian Kimia	99,99995%
热容 / Kapasitas Panas	640 J kg^-1·K^-1
升华温度 / Suhu Sublimasi	2700℃
抗弯强度 / Kekuatan Lentur	415 MPa RT 4 titik
杨氏模量 / Modulus Young	430 Gpa 4pt tikungan, 1300℃
导热系数 / TermaakuDaya konduksi	Daya 300Wm^-1·K^-1
热膨胀系数 / Ekspansi Termal (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy adalah produsen nyata produk grafit dan silikon karbida yang disesuaikan dengan berbagai lapisan seperti lapisan SiC, lapisan TaC, lapisan karbon kaca, lapisan karbon pirolitik, dll., dapat memasok berbagai suku cadang yang disesuaikan untuk industri semikonduktor dan fotovoltaik.

Tim teknis kami berasal dari lembaga penelitian domestik terkemuka, dapat menyediakan solusi material yang lebih profesional untuk Anda.

Kami terus mengembangkan proses canggih untuk menyediakan material yang lebih canggih, dan telah menemukan teknologi eksklusif yang dipatenkan, yang dapat membuat ikatan antara lapisan dan substrat lebih kuat dan tidak mudah terkelupas.

Sangat menyambut Anda untuk mengunjungi pabrik kami, mari berdiskusi lebih lanjut!