Vật liệu phủ SiC cho RTP/RTA là thành phần chính được sử dụng trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn có tên là Xử lý nhiệt và ủ nhanh, chúng tôi sử dụng công nghệ được cấp bằng sáng chế của mình để tạo ra vật liệu phủ silicon carbide có độ tinh khiết cực cao, độ đồng đều lớp phủ tốt và tuổi thọ tuyệt vời, cũng như khả năng chống hóa chất và ổn định nhiệt cao.
Tính năng của sản phẩm của chúng tôi:
1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700℃.
2. Độ tinh khiết cao và đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | Giai đoạn β của FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2~10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Nhiệt dung | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700℃ |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Môđun Young | 430 Gpa 4pt uốn cong, 1300℃ |
| 导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Sự giãn nở vì nhiệt (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
VET Energy là nhà sản xuất thực sự các sản phẩm than chì và silicon carbide tùy chỉnh với nhiều lớp phủ khác nhau như lớp phủ SiC, lớp phủ TaC, lớp phủ carbon thủy tinh, lớp phủ carbon nhiệt phân, v.v., có thể cung cấp nhiều bộ phận tùy chỉnh khác nhau cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện.
Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các viện nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp cho bạn các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn.
Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn và đã tạo ra một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt chẽ hơn và ít bị bong tróc hơn.
Chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
