Az RTP/RTA szilícium-karbid bevonathordozója kulcsfontosságú összetevő a félvezetőgyártási folyamatokban, az úgynevezett gyors hőkezelésben és lágyításban. Szabadalmaztatott technológiánkat használjuk a szilícium-karbid hordozó rendkívül nagy tisztaságú, jó bevonategyenletességgel és kiváló élettartammal, valamint magas kémiai ellenállósággal és hőstabilitással történő előállításához.
Termékeink jellemzői:
1. Magas hőmérsékletű oxidációs ellenállás akár 1700 ℃-ig.
2. Nagy tisztaság és termikus egyenletesség
3. Kiváló korrózióállóság: sav, lúg, só és szerves reagensek.
4. Nagy keménység, tömör felület, finom részecskék.
5. Hosszabb élettartam és tartósabb
| szív- és érrendszeri betegségek SiC薄膜基本物理性能 A CVD SiC alapvető fizikai tulajdonságaibevonat | |
| 性质 / Ingatlan | 典型数值 / Tipikus érték |
| 晶体结构 / Kristályszerkezet | FCC β fázis多晶，主要为（111）取向 |
| 密度 / Sűrűség | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Keménység | 2500 维氏硬度 (500 g-os töltet) |
| 晶粒大小 / Szemcseméret | 2~10 μm |
| 纯度 / Kémiai tisztaság | 99,99995% |
| 热容 / Hőkapacitás | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Szublimációs hőmérséklet | 2700 ℃ |
| 抗弯强度 / Hajlítószilárdság | 415 MPa RT 4-pontos |
| 杨氏模量 / Young modulusa | 430 Gpa 4pt hajlítás, 1300 ℃ |
| 导热系数 / ThermalVezetőképesség | 300 W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Hőtágulás (CTE) | 4,5 × 10-6K-1 |
A VET Energy a testreszabott grafit és szilícium-karbid termékek valódi gyártója, különböző bevonatokkal, például SiC bevonattal, TaC bevonattal, üvegkarbon bevonattal, pirolitikus szénbevonattal stb., és különféle testreszabott alkatrészeket szállít a félvezető és fotovoltaikus ipar számára.
Műszaki csapatunk a legjobb hazai kutatóintézetekből származik, és professzionálisabb anyagmegoldásokat tud nyújtani Önnek.
Folyamatosan fejlesztjük a fejlettebb eljárásokat, hogy fejlettebb anyagokat biztosítsunk, és kidolgoztunk egy exkluzív, szabadalmaztatott technológiát, amely szorosabbá és kevésbé hajlamosabbá teszi a bevonat és az aljzat közötti kötést.
Szeretettel várjuk gyárunkban, hogy megbeszélhessük a részleteket!
